静电气的概念与相应对策(ppt 34页).ppt

,教育内容1.什么是静电气？2.带电的种类和MECHANISM3.带电例4.ESDMODEL5.半导体基本内压和用语别电阻植6.静电气对策基本思想7.Shieldingbag基本构造8.静电气管理必须计策器9.静电气计策的过去和今天10.静电气管理Manual11.静电气管理处理Flow12.温,湿度和静电气关系13.电烙铁电阻测定14.静电气和COULOMB15.导电MAT的构造16.导电MAT的作用17.接地方法18.等离子的原理19.等离子的管理方法20.理想的作业工程,2005.03.16,静电气的概念和相应对策,MSCOP2部,1/33,物体储蓄正(+)或者负(-)电荷的状态叫做“帯电”状态.物体静止时的电状态叫做“静電気”.电有正电(+)和负电(-)2种.所有的物体都是由原子构成的.,正（）带电状态,原子的构造,电子受到光,热等外部力量后,从原子核脱出成为自由移动的自由电子.,1.什么是静电气？,中性状态.,静电气发生,负（-）带电状态,2/33,2.带电的种类及MECHANISM,(1)带电的种类;接触带电（FILM、纸）分离带电（脱作业服时,取掉LEVEL时）摩擦带电（带电物的接近）,(2)带电的MECHANISM,3/33,3.帯电列,POLYESTER,空气,ACRY,硝子,NYLON,雲母,锡,绢,ALUMINIUM,纸,POLYURETHANE,VINYL,TEFLON,木棉,铜,硬质橡胶,NICKEL铜,银,硫黄,NEON,URETHANE,4/33,随着物质的不同,带电电荷的符号不同.,4.ESDMODEL,了解一下因ESD放电导致电子部品的热化及破坏.,第一,因人体的接触制品被充电或放电.,第二,制品本身起KIEPEXITE作用，而充电或放电的情况.,搬运过程或自动移送过程中容易发生摩擦起电的物质（PLASTIC种类）带电，会对电子部品的低电阻PIN等表面迅速放电而导致损伤的情况.,第三，被电界充电的部品充电量变的情况.,在带电物和部品之间的静电感应状态下，因带电物的突然性位置变化及静电感应急激变化而对绝缘及氧化层产生影响导致ShortCircuit的情况。,第二，第三之例如右图，电子部品的金属（ICPIN）接近带电物时会发生静电感应.离带电物近的部分感应与带电五反极性的电荷，而离带电物远的部分会感应与带电物相同极性的电荷；在这个状态下一侧的PIN与基板接触时，与带电物同极性的电荷流入到接地而引起放电。然后，带电物远离（举起）时，与带电物反极性的电荷会引起放电的现象发生；因这种现象破坏的情况也有。,ESDElectrostaticDischarge,静电防电,5/33,Surge导致LD破坏的Mechanism,6/33,Conductive(导电层):10*6/sqStaticDissipative(静电层):10*710*10/sqAnti-static(带电防止层):10*1110*13/sq,半导体存在着承受外部冲击的耐电压.了解一下半导体别耐电压.,5.半导体静电内压和用语别电阻,(1)半导体别静电内压,(2)用语别电阻,静电气30V也可能破坏部品.,7/33,6.静电气对策基本发状,第一种接地：静电气对策.第三种接地：电子机器，计测器,8/33,对静电敏感的电子部品或基板的搬运和保管时使用的ShieldingBag一般如下图3层构成的.那三层是：金属Coating层,Polyester层,Polyethylene层.金属层(表面电阻约10-2/Sq)把发生的静电感应反应在100micro-sec以内，防止被保管部品受到破坏；绝缘层构成的Polyester层不仅防止因静电气的直接放电受到的破坏，而且经常防止Bag最下面一层Polyethylene层的Anti-Static物质是化学合成物引起的Bag内部摩擦产生的静电气.,7.ShieldingBag的构造,静电层,Anti-Static层,9/33,8.静电气管理必须计测器,(1)测DEVICE等放电电荷量的CoulombMeter(2)测人体的带电电位的人体电位计(3)测Work-Bench及带电状态的Work-BenchMonitor(4)调查等离子的制电效果，离子Balance特性的大气离子Monitor(CPM),10/33,9.静电气计测的过去和今天,11/33,10.静电气管理菜单,12/33,静电气测定表面电位电荷量,判定,满足管理规格时,1.管理规格测定值耐电压时:ESDSystem再整备2.使用半导体耐电压测定值时:生产品检定.,OK,NG,管理规格表面单位;30V以下电荷量:1nC以下,11.静电气管理处理Flow,13/33,作业者的带电防止对策,人体也算是导体，所以接地会防止静电。但是一般作业者在一定的场所步行，作业等使他们继续带电，还因为静电感应所带电。用以下方法可以防止带电。着用带点防止作业鞋(导电鞋)来防止人体带的静电气.(但,导电鞋底在干净的状态下才起作用)作业者基本上在一定的位置作业时,利用静电环直接接地.此时，为了防止漏电造成的触电，加安全电阻(1M)接地.因作业服等衣服带电时，着用实施带电防止处理加工的带电防止作业服等。,14/33,人体静电气漏及CHECK方法,制电鞋(导电鞋)CHECKER,WristStrap(静电环)CHECKER,15/33,W/S(1毫欧姆电阻内装）,人体静电气流,人体静电气流,制电鞋,制电鞋,电阻内装,接地,12.温，湿度和静电气关系,温，湿度是静电气的非常重要要素之一.再说，如果正确管理温，湿度就会大量抑制静电气发生。大气的相对湿度是60%以上的话，物体的导电性会提高，之所以基本上不会残留静电气；但是30%以下时，静电气会多量残留.,16/33,13.烙铁电阻CHECK方法,(1)接地电阻,(2)绝缘电阻,17/33,14.静电气和电荷量(Coulomb),静电气用另一种话来说是静止的电荷量.静止状态的电荷不是静止，而是相互之间的力在作用使电荷成静止状态；这种力叫做静电气力.表明静电气力的人是Coulomb，该法则叫做Coulomb法则.,(1)Coulomb法则,18/33,(2)静电荷量(静电用量),两个电极板之间放有电体，加电压的话，因分极作用电极会存储静电气.存储的静电荷量是Q=CVC(C:静电用量,V:电位差),供应电压,因充电显现的电压,静电用量,绝缘体,在下面认识一下测Coulomb的方法.测静电破坏的原因放电电荷量时使用CoulombMeter.,14.静电气和电荷量(Coulomb),(2)静电用量(Coulomb)的测定,19/33,電荷量CHECK器,20/33,15.导电Mat的构造,了解一下我们常说的导电Mat的构造.,2层构造(Static-Dissipative&Conductive)对静电气敏感的Device及人体和Mat间的电位差一直维持0Volt静电气危险开始保护。,21/33,完全去掉物体上的静电荷，多用于半导体制造，电子部品制造等。作用大体上有把产生的静电气迅速转到GROUND、再也不让产生静电气,大致分为以上两种.,16.导电Mat的作用,22/33,17.接地方法,23/33,导电Mat接地电阻,Mega，OhmCHECK方法,24/33,18.等离子的原理,根据依高电压的KAOROA放电发生离子.这种离子对带电物作用，把电荷中化.,(1)原理,(2)使用场所:接地或者加湿困难的带电物(塑胶类等).,(3)代表性的等离子种类Pulse方式：有加+的高电压电极针和加-的高电压电极针.产生+,各自的离子.定期清扫是非常重要的.离子产生量多.制电速度快.AC方式：在一个的电极针上加交流高电压的方式.生成+,各自的离子针是同一的。离子产生量少.制电速度慢.,25/33,19.等离子的管理方法,设置了等离子后，觉得静电气对策很完全是一个误算。之前也说明过，等离子是产生强制电荷，所以没有去定期充分的管理的话反而会生成静电气.,26/33,等离子CHECK器使用法,27/33,静电气CHECK器使用方法,28/33,表面电位计(静电气CHECK机)测定范围,29/33,30/33,