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文档简介

.,1,廠務系統概述,莊士正,.,2,整廠系統,.,3,1.廠務系統功能,.,4,1.1水系統在製程中的功能,.,5,1.2氣體系統在製程中的功能,.,6,1.3化學系統在製程中的功能,.,7,1.4真空系統在製程中的功能,.,8,1.5排氣/排水系統在製程中的功能,.,9,2.廠務系統使用材質,.,10,2.1水系統使用材質,.,11,2.2氣體系統使用材質-(除特氣外機台端都可能用Teflon軟管),.,12,2.3化學系統使用材質,.,13,2.4真空系統使用材質,.,14,PumpLine製程高真空,SUS316BA/EP,GEX一般排氣,鍍鋅螺旋風管,2.5排氣系統使用材質,Solvent有機排氣,SUS304全焊式不銹鋼風管,Acid/Ak酸鹼排氣,不銹鋼TeflonCoating風管(Tefpass),.,15,2.6排水系統使用材質,Drain一般排水,PVC/PVCSCH80,Solvent有機排氣水,SUS304不銹鋼管,Acid/Ak酸鹼排氣水,PVCSCH80/PVDF/PTFE/PFA,.,16,3.廠務系統流程,.,17,3.1製程冷卻水系統簡略流程,.,18,3.2冰水系統簡略流程,.,19,3.3純水系統簡略流程,.,20,3.4自來水/回收水系統簡略流程,.,21,3.5CDA/GN2/PN2系統簡略流程,.,22,3.6其他大宗氣體/特氣系統簡略流程,.,23,3.7高真空/排氣系統簡略流程,.,24,3.8真空系統簡略流程,.,25,3.9化學系統簡略流程,.,26,3.10廢水收集系統
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