PCB电镀沉铜药水控制工艺（全面）

1、平板现行工艺参数及其控制范围、监测频次缸名/容积控制项目控制范围调整值分析频率酸性除油7号温度2530281次/8hH2SO41050 ml /L30 ml/L3次/周FR1050ml/L30 ml/L3次/周浸硫酸450LH2SO460100ml/L80 ml/L1次/周镀铜缸1318H2SO410012020/L110 ml/L3次/周硫酸铜5水6080g/L70 g/L2次/周Cl-40-70ppm55 ppm2次/周赫氏槽片3次/周温度20208241次/班退镀缸56缸HNO3250280g/L260 g/L2次/周平板现行开缸及补充、换缸要求缸号缸名及容积配缸步骤(按顺序)补充、换缸

2、要求操作条件与要求7酸性除油450L加入1/2体积DI水,加入硫酸(50%)35 L,再加入除油剂FR 15L,加DI水至合适液位。化学室分析补加8000500 m2更换温度282颜色开缸无色,之后淡蓝色10浸硫酸缸450L加入1/2体积DI水,加入50%硫酸 90 L；加入DI水至合适液位1.5L100 m2 5000500 m2更换温度室温颜色开缸无色,之后淡蓝色13、14、15、16、17、18镀铜缸 (共有6个大铜缸,两个集液槽总体积13000L)加入1/2体积DI水,小心加入50% H2SO4 372020,加入CuSO45H2O 910 kg,加DI水至合适液位。冷却后分析调整Cl

3、-含量,调整氯离子含量达到5070ppm；加入40 L酸铜添加剂,循环充分后做赫氏槽片,根据试验效果添加酸铜补充剂和酸铜添加剂进度调整,(按5:1比例),化学室分析并试产。化学成分由化学室分析调整。酸铜补充剂,酸铜添加剂均采用自动添加,一般为每100AH添加8- 10ml,特殊情况下由工艺确定。温度20208过滤10m滤芯,每月更换打气打气充分液位低于阳极袋口2-2.5cm颜色深蓝色42退镀缸300L有退镀母液先加入退镀母液,然后加入HNO3(浓),按加硝酸量的13补水,保证循环正常;化学室分析并调整硝酸至合适浓度。新配退镀缸需加硝酸12020加水40L1020201000 m2温度室温颜色深

4、蓝色平板药缸工艺操作规范药缸名称 槽积(L)温度范围调整值测量频次循环过滤打气槽寿命酸性除油45025-30281次/天有无8000 m2 浸硫酸缸450室温1次/天无无镀铜13000L22-25241次/班 有适当退镀300L室温1次/周有无工艺通知图电工艺参数及其控制范围、监测频次缸名/容积控制项目控制范围调整值分析 方法分析频率酸性除油900L温度25-3028员工实测1次/8hH2SO45-8%6%化学分析1次/天FR5-8%6%化学分析1次/天微蚀480L温度25-3028员工实测1次/8hNPS20200 g40 g/L化学分析1次/天H2SO440-60ml/L50 ml/L化学

5、分析1次/天浸硫酸480LH2SO460-100 ml/L 80 ml /L化学分析2次/周镀铜缸22400LH2SO4100-12020l /L110 ml /L化学分析2次/周CuSO45H2O60-80 g /L70 g/L化学分析2次/周Cl-40-70ppm55ppm化学分析2次/周赫氏槽片化学室2次/周温度2020823员工实测1次/8h预浸氟硼酸480L氟硼酸25-45 g/L35 g/L化学分析2次/周镀锡铅42020氟硼酸100-160 g/L130 g/L化学分析2次/周氟硼酸铅812 g/L10 g/L化学分析2次/周氟硼酸亚锡122020/L16 g/L化学分析2次/周

6、温度2020826员工实测1次/8h退镀缸 HNO32020280 g/L250 g/L化学分析1次/周图电开缸及补充、换缸要求缸号缸名及容积配缸步骤(按顺序)补充、换缸要求操作条件与要求14/15酸性除油900L加入1/2体积DI水,加入硫酸(50%)140 L,再加入除油剂FR 54 L,加DI水至合适液位。化学室分析补加8000500 m2更换温度305颜色开缸无色,之后淡蓝色18微蚀480L留母液50L左右,加入1/2体积DI水,加入50%硫酸60L；再加入2020g NPS,最后加入DI水至合适液位每周更换温度28322浸硫酸缸480L加入1/2体积DI水,加入50%硫酸100 L

7、,加入DI水至合适液位6.5L500 m2 8000500 m2更换温度室温颜色开缸无色,之后淡蓝色24-39镀铜缸 (22400)加入1/2体积DI水,小心加入50% H2SO4 6400 L,加入CuSO45H2O 1560 kg,加DI水至合适液位。冷却后分析调整Cl-含量,加入67 L酸铜添加剂,循环充分后做赫氏槽片,根据试验效果添加酸铜补充剂和酸铜添加剂进度调整,(按5:1比例),化学室分析并试产。化学成分由化学室分析调整。酸铜补充剂,酸铜添加剂均采用自动添加,一般为每1000Ah添加 8-10 ml,特殊情况下由工艺确定。温度20205过滤10m滤芯,每月更换打气打气充分液位低于阳

8、极袋口2-2.5cm颜色深蓝色13预浸氟硼酸缸加入1/2体积DI水,加入氟硼酸 36L搅拌均匀；再加入DI水至合适液位每20202补充1L、特殊情况由工艺人员酌定1012镀锡铅缸加入1/2体积DI水、加入氟硼酸980 L、 氟硼酸锡182 L、氟硼酸铅63 L、加入硼酸84 kg (用60DI水预先溶解)加锡添加剂B 126 L、 锡添加剂A 84 L加入DI水至合适液位,拖缸处理30分钟,电流密度1.5A/dm2 。定期补充硼酸(遇特殊情况由有关工艺人员酌定)57退镀缸400L有退镀母液先加入退镀母液,然后加入HNO3(浓),按加硝酸量的13补水,保证循环正常;化学室分析并调整硝酸至合适浓度

9、。新配退镀缸需加水60L,加硝酸 180L,开启循环,调整循环缸液位,保证循环正常,化学室分析硝酸浓度并调整铜离子浓度.20201000m2温度室温图电药缸工艺操作规范药缸名称槽积(L)循环过滤打气槽寿命酸性除油900有无8000 m2微蚀480有有每周更换或铜含量超过35g/l换缸浸硫酸缸480无无8000 m2镀铜22400有有工艺要求浸氟硼酸缸480无无10000 m2镀锡铅缸4200有无工艺要求退镀400有无工艺要求4.2.3沉铜线各药水缸工艺控制要求:(罗门哈斯药水体系)序号药缸名称参考时间(min)控制项目规格范围调整值1溶胀340L6-9澎松剂MLB211NaOH温度10%-13

10、%-16%30g/L-40g/L70-8013%35g/L752凹蚀430L9-12KMnO4K2MnO4NaOH温度再生电流40-60g/L25g/L40-50g/L70-80100-150A50g/L45g/L753预中和340L0.5-1.0H2O2 (30%) H2SO4(50%)温度5-15mL/L10-2020/L室温10mL/L15mL/L4中和340L2-3中和剂3316H2SO4H2O2(30%)温度40-50ml/L10-30mL/L10ml-2020/L2020545ml/L2020/L15ml/L225除油340L5-7除油剂3325温度8%-10%-12%60-701

11、0%676微蚀370L1-2H2SO4NPS Cu2+ 微蚀速率温度15-25mL/L30-70g/LCu2+1.12Cu2+1.134Pd强度:55-75%3-12g/L2g/L42-45240g/L65%4g/L4310沉铜770L15-18铜NaOH甲醛EDTA比重沉铜厚度温度1.7-2.3g/L9.5-11.5g/L3-5g/L25-35g/LS.G1.120.25-0.625m30-362.0g/L10.5g/L4g/L30g/LS.G1.120.4m324.2.4沉铜生产线药水补充用量缸号化学药品补充份量(每一百平米补充量)溶胀缸澎松剂MLB211NaOH1L300g/L的溶液1

12、L凹蚀缸KMnO4NaOH1 Kg300g/L的溶液2 L中和缸H2SO4(50%)H2O2 (30%)中和剂33164 L1.5 L除油缸除油剂33251.5 L微蚀缸H2SO4(50%)NPS5 L5 Kg预浸缸预浸盐4042.5 Kg活化缸预浸盐404配成50g/L(2020的水溶液,补充液位活化剂44400 mL沉铜缸NaOH300g/L的溶液10 L甲醛7 L沉铜液880A5 L沉铜液880E3.5 L 4.2.5沉铜线各缸药水分析频次缸名控制项目范围分析频率沉铜缸NaOH8.511.5 g/L1次/4H甲醛3.05.0 g/L1次/4H880A(Cu2+)1.72.3 g/L1次/

13、4H880E(EDTA)2535 g/L1次/4H温度30362次/班活化Pd的强度5575 %1次/天比重1.1351.1671次/班Cu2+2 g/L1次/班预浸比重1.121次/班Cu2+1.5 g/L1次/班微蚀H2SO415-25mL/L1次/班NPS30-70mg/L1次/班Cu2+25 g/L1次/天微蚀速率0.51.5m1次/天除油除油剂33258%-10%-12%1次/天中和中和剂331640-50ml/L1次/天H2SO410-30mL/L1次/天H2O2 (30%)10ml-2020/L1次/天溶胀澎松剂MLB21110%-16%1次/天NaOH30g/L-40g/L1次

14、/天凹蚀KMnO440-60g/L1次/天K2MnO42020除油调整21#1) 放入半缸DI水,2) 加入34L除油剂CC3325,搅拌均匀；3) 加DI水至溢流位4) 开启循环过滤及加热至工作温度。(67)5000微蚀17#1) 放入半缸DI水；2) 加入50%的硫酸2020；3) 加入NPS 18.5 Kg,4) 加D I水至溢流位。5) 开启过滤、打气及加热至工作温度。(28)每周2次或Cu2+25g/L酸洗141) 放入半缸DI水,2) 加入12.5L硫酸搅拌均匀。3) 加DI水至溢流位1周预浸12#1) 放入3/4缸DI水；2) 加入80kg 预浸剂CP404,搅拌至完全溶解。,3

15、) 注入DI水至工作液位,开动过滤泵。1到2年或Cu2+1.5g/L活化11#1) 放入3/4缸DI水；2) 加入85kg 预浸剂CP404,搅拌,并加热至42-44,直至所有预浸剂溶解；3) 开启过滤,并补充液位；4) 加入6.8L CAT44,并搅拌均匀。1到2年或Cu2+2g/L化学沉铜3-4#或5-6#1) 放入2/3缸DI水,开启打气；2) 加入38LC/P880E,开启打气,等待2-5分钟；3) 加入7.7L C/P880A,打气5分钟；4) 加入19L C/P880C,打气5分钟；5) 加入25.7L NaOH(300g/L) ；6) 加入9.5L HCHO搅拌均匀；7) 加入D

16、I水至工作水位8) 循环过滤、搅拌均匀加热至温度控制范围。每周倒槽说明:1) 除微蚀、预浸、浸酸外,其他各缸开缸后化学分析并根据分析结果进行调整,但凹蚀缸KMnO4减 K2MNO4浓度40g/l时不作额外补充。4. 2.7药水颜色及循环过滤要求缸名过滤/循环要求药水颜色及特征膨胀缸10棉芯,每周更换浅黄色,生产时不能有分层或混浊现象凹蚀缸强烈搅拌深紫红色中和10棉芯,每周更换开缸时无色,然后渐变为篮色,使用较久时呈绿色除油10棉芯,每周更换开缸时无色,然后渐变蓝色微蚀缸开缸时无色,然后渐变为蓝色活化缸5棉芯,每周更换黑色,不能有混浊现象。Pd浓度偏低时颜色会偏浅沉铜缸10u滤芯每周更换,循环:

17、要求4-6个循环/小时天蓝色,反应时表面有一层小气泡,若反应过于激烈为异常各水洗缸凹蚀后一级水洗为紫色；除油后一级水洗为浅蓝色,微蚀后一级水洗也为浅蓝色并清澈,二级水洗应无色；活化后一级水洗乳白色,其他每个水洗缸都应无色。4.2.8沉铜自动添加药水准备及自动添加频次设置1)自动添加药水备料(满量生产)沉铜液880A每天需备料12桶沉铜液880E每天需备料10L甲醛每天需备料15L氢氧化钠每天需配制含300g/L的溶液100L,每桶(50L)配制时先加半桶DI水,加入NaOH 15搅拌均匀,补充DI水,再搅拌均匀,待冷却后使用。自动添加桶液位低于1/4时必须及时补充药剂4.2.1 各个药水控制范

18、围缸名控制项目范围分析方法分析频率责任人退膜缸氢氧化钠退膜温度482直接测量1次/班操作者浓度%34%化学分析1次/班化学室蚀刻缸pH8.0-8.8化学分析1次/班化学室Cl-170-2020/l化学分析1次/班化学室比重显示1.190.01目测2次/班操作者蚀刻温度48-52直接测量1次/班操作者退锡缸HNO3含量160-22020l化学分析3次/周化学室比重1.30 -1.40比重计测量1次/班操作者退锡温度35-38直接测量1次/班操作者4.2.2生产线开缸方法缸名体积开缸方法退膜缸650L加清水至缸液位23体积,将25 Kg氢氧化钠分次倒入配料桶,加水搅拌溶解后倒入缸中。补充清水至合适

19、液位。加入1002020l消泡剂。开机循环,将药水泵入退膜缸中,并开启加热使升温至47以上方可使用。做板量15002020块板换缸。蚀刻缸800L泵入蚀刻母液650750L,分析各控制成份含量,并依情况用水、稀氨水、 蚀刻液进行调整,开机循环并开启加热使升温至48-52方可使用。退铅锡缸1000L加入退锡母液800L900L分析硝酸含量,测量比重,并依情况加退铅锡剂、硝酸至合适液位开机循环并开启加热使升到35-40。4.2.3 自动加药系统控制(说明蚀刻自动添加原理及添加量) 蚀刻段:比重达到设定值(例如:1.193)时,开始自动添加蚀刻子液PH值低于设定值时,开始自动添加氨水PH值高于设定值

20、时,开始自动添加氯化铵自动添加药水流量、添加频次每周由工艺确认、调整,每周对比重值、PH值设定、校准,由工艺负责。 4.2.4 生产控制项目 缸名项目退 膜蚀 刻退 锡退膜段水洗段上压下压压力(psi)2530202052530202052530温度设定474836控制47245,5235,38速度(m/min) 2.0m 2.3m/min0.5OZ2.50.22.2m 2.7m/min1.0OZ1.60.22.0OZ1.00.2烘干段温度555备注:A.电镀后经补黑油的板件,干膜较难退下,可根据实际情况,适当降低退膜速度。B. 孤立线路易夹膜的板件应适当降低退膜速度。C. 对于有平板加厚要求的板件,可根据实际情况适当降低蚀刻速度,一般比相应控制范围降低0.2-0.4m/min。 5.0蚀刻液配制 5.1配制比例:配制50L标准碱性蚀刻液配方药品名称级别配制氨水工业级18%(标准)25L氯化铵工业级12.5硝酸钾工业级250300g磷酸二氢钠工业级250300g碳酸氢铵工业级250300g硫脲1 g4.