IQC单晶棒检验标准-修改版_第1页
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文档简介

1、一、适用范围： 1. 适用于公司外购的用于切片的单晶硅棒。二、检验规格：类别检 验 项 目检 测 要 求检测工具缺陷判定包装包装箱无运输后的损坏，要求晶棒在包装容器内有泡沫塑料等进行阻隔防护，不能有晃动，外箱上需注明供应商、品名、重量、规格、生产批号和箱号。目 测MAJ出厂检验报告供应商需提供一份正式的出厂检验报告，内容包括：包装、晶向、长晶方式、晶棒编号及与之对应的外观、边宽直径、有效长度、重量、中心偏离及头尾样片的导电类型、电阻率、少子寿命和碳氧含量。外观外表面表面不能有脏污，圆棒晶向线10mm距离内不能有551（深）mm的崩缺，其它位置不能有552（深）mm的崩缺，端面凹陷须1mm；滚磨

2、棒不能有凹凸、崩缺和裂纹；未滚磨棒不能有断棱线和裂纹。目测/游标卡尺晶棒端面需标注头部和尾部目测晶向1003尺寸有效长度200800mm卷 尺滚磨棒直径6inch: 直径1500.5 mm或按购销合同游标卡尺8inch: 直径2000.5 mm或按购销合同边宽6inch: 1250.5 mm（仅适用于准方棒）8inch: 1560.5 mm（仅适用于准方棒）中心偏离0.5 mm（仅适用于准方棒）未滚磨棒直径6inch规格晶棒,直径153mm156mm或按购销合同游标卡尺8inch规格晶棒,直径203mm207mm或按购销合同电学参数导电类型硅料导电类型与产品购销 P型或按购销合同P/N型检测仪CRI电阻率单段需满足1.03.0或3.06.0cm或按购销合同电阻率检测仪少子寿命最小值10s（钝化）供应商出厂检验报告或少子寿命测试仪缺陷不能有位错（体缺陷或其它微缺陷视购销合同要求）目测/化学腐蚀碳含量10 1016atoms/cm3供应商出厂检验报告氧含量1.0 1018atoms/cm3抽样方案及判定要求（1）滚磨棒缺陷检验项和需钝化头尾片测试少子寿命的每批次抽取5PCS，Ac=0，Re=1，其余按以下方法抽样；（2）采用GB/T2828.1-2003单次级抽样水准（出厂检验报告检验项一批为一个批量数，包装箱检

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