睿晶石墨舟清洗操作规程

1、1目 的规范和指导PECVD工序石墨舟清洗作业。2 适用范围适用于本公司PECVD工序的石墨舟清洗操作指导。3职责3.1工艺工程师编制作业指导书，并培训和指导操作员工进行操作。3.2生产部操作员工按照作业指导书的要求进行操作。4作业流程 4.1 穿戴防护装备 装备包括：防护服、防护面具、防酸手套、防护鞋；未佩戴防护用具人员不可以进行任何加液操作流程。 4.2清点化学品数量 准备好HF酸用量16L（每个槽4L装4瓶），搬运至机台旁边：清洗工艺 类型序号名称工艺时间在使用石墨舟1酸洗HF：浓度10%浸泡8-12h，鼓泡长开；2水洗水位高于石墨舟3-5cm水洗15min ，换水2次，前4次鼓泡10m

2、in换水一次，后2次鼓泡5min换水一次；3烘干1304h4.3放入石墨舟 确认配液槽已经用纯水清洗干净；将石墨舟上所有螺母松动，两人分别搬起石墨舟的一端，将需要清洗的石墨舟放入已经清洗干净的槽中（图3）；轻放在槽底，左右移动至合适位置，每个槽可放置两个石墨舟。 4.5关闭侧面移门 确认好，关闭机器的侧面移门，防止酸雾外溢（图8），自动清洗石墨舟。 图84.6确认清洗时间自动清洗：根据工艺要求输入清洗时间，酸洗8-12小时喷淋10分钟水洗鼓泡10分钟溢流水洗10分钟，循环3次后溢流水洗10分钟。手动清洗按照4.4中第3项中所述清洗时间。5 操作流程 5.1 先补水约20cm高，然后每槽添加16

3、L（4瓶）氢氟酸。酸槽水位以淹没石墨舟为准。若酸槽中水位较低，则需补水;加酸或 补水后让其鼓泡2分钟使溶液混合均匀；5.2 在石墨舟清洗记录表上记录即将要清洗的已经完全冷却的石墨舟舟号，并将其缓慢放在托架上，要轻拿轻放，避免撞裂石墨舟；5.3 总反应时间8小时左右后，查看舟清洗状况，若舟表面仍有明显的氮化硅附着，则继续洗，若舟表面干净，把氢氟酸溶液换到副槽后进行下一步水洗；5.4检查水槽水位，使水槽补满水，水洗总共15分钟，换水2次，第一次，鼓泡5分钟换水一次，共2次，水洗完后，两人用抬舟工具把舟从槽体安全抬出，再用风枪吹至石墨舟表面无水珠后开始烘干；4.7搬出石墨舟 戴好防酸手套，两人分别搬

4、起石墨舟的一端，将已经清洗完全的石墨舟从槽体中搬出；使用气枪将石墨舟表面水汽吹干。4.8烘干将已吹干石墨舟搬运至烘干机空置层，注意轻挪勿碰撞；在温控表上设定温度为130度。在计时器上设定烘干时间为4小时；待烘干充分后关闭加热开关进行冷却，待30分钟后确认已冷却，打开柜门，将舟取出，放置于小车上，关闭烘干机电源； 4.9预处理 对干燥的石墨舟选择“PECVD饱和”工艺进行饱和，饱和完成后投入产线使用；5清洗换液制度5.1产线石墨舟使用过程中4-8天的清洗周期，镀膜不良偏多情况由班长确认后清洗；5.2一次配液需清洗两个石墨舟，新配清洗液使用一次后，打入副槽，以备下次使用。药液更换：药液清洗56-64个石墨舟即可进行一次整个槽体药液更换，每次清洗每个槽补加16L（4桶）HF酸。6 .注意事项6.1 配置酸液时，作业员应佩戴相应的安全防护用品，否则可能导致人体皮肤裸露部位遭到化学品侵蚀灼伤；6.2 配置酸液时，应先使酸槽中有一定水位的纯水后再加酸，若先向贮槽内加HF酸液，再注入纯水，则会贮槽溶液局部发热产生沸爆现象，液滴直接飞溅至人体皮肤裸露部位，导致化学品灼伤。其次引起槽体局部受热不均而发生变形、破裂导致化学品泄漏，危及人身及设备安全；6.3 石墨舟酸洗槽上方的风机排工