E84 握手流程(中文版)

1、E84 握手流程(中文版)弊番号OUR No.神鋼電機株式会社SHINKO ELECTRIC CO.,LTD.JAPAN2021/01/201 背景?目的 (4)2 E84E23之不同點 (4)3 限制 (4)4 機器構成 (4)5 用語說明 (5)6 控制信號之種類 (6)7 Interlock Timeout (8)8 通信程序 (9)8.1 裝載移載 (9)8.2 卸載移載 (11)9 異常檢測 (12)9.1 移載動作開始前之異常 (12)9.2 移載動作中之異常 (13)9.3 異常移載動作後之異常 (14)9.4 GO信號?OFF變化 (15)9.5 異常之復舊 (15)10 注意

2、事項 (15)11 Connector及各信號之分配 (16)12 電路圖?Sensor Unit尺寸 (18)1背景?目的半導體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之擴大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導入以AGV/OHT為代表之自動搬送系統（AMHS）的趨勢。AMHS中、製造裝置與OHV（台車）藉由使用Photo I/O之通信、來取得Load/Unload 之同步。此Photo I/O通信係藉由SEMI規格來定義、製造裝置及OHV需進行遵守此規格的通信控制。SEMI規格中、雖定義E23作為上述Photo I/O通信規格、但於99年以E23為基本而重新定義了功能強化之E84、此E84規格有成為主流的

3、趨勢。本書係記述E84規格之概要。又，本書之對象係定為進行與AMHS裝置及半導體製造裝置間之介面相關的設計/管理。2E84E23之不同點追加/變更於E84之項目如下。?連續Handoff Sequence?同時Handoff Sequence?追加HO_AVBL信號、ES信號?Timer之規定?改訂Connector pin之分配3限制本書僅記述導入於OHT系統之E84規格。因此、以下項目與該系統不相關故予以割愛。?連續Handoff/同時Handoff Sequence?使用於連續Handoff之Timer4機器構成圖4.1顯示本規格之E84 I/O Interface的適用例。図4.1E8

4、4 I/O介面例5用語説明表5.1顯示本書使用之用語。表5.1用語説明6控制信號之種類使用於E84通信之各信號的種類如表6.1所示。關於通信方向：A=Active裝置、P=Passive裝置。表6.1信號之名稱及功用7Interlock TimeoutActive裝置側之Timer（TA=Timer of Active equipment）及Passive裝置側之Timer（TP=Timer of Passive equipment）如表7.1及表7.2所示。各Timer、係以檢測裝載/卸載時Interlock之異常為目的。表7.1 Active裝置所監視之Timer表7.2 Passive裝

5、置所監視之Timer8通信程序8.1裝載移載裝載移載時Photo I/O之Timing Chart如圖8.1所示、Active裝置與Passive裝置間之通信內容如表8.1所示。8.2卸載移載卸載移載時Photo I/O之Timing Chart如圖8.2所示、Active 裝置與Passive裝置間之通信內容如表8.2所示。9異常檢測以下舉例說明OHT系統在Handoff中發生異常之模式。9.1移載動作開始前之異常1) OHV雖已到達對象Port、但不開始進行移載而立即通過。原因：裝置尚未完成移載準備（Manual Mode等）或在異常狀態。信號變化：一直處於HO_AVBL=OFF或ES=O

6、FF之狀態（亦可能兩者皆OFF）。2)已到達對象Port、雖短暫待機但未開始進行移載即通過。原因：裝置尚未完成移載準備等。或在READY=ON前HO_AVBL=OFF。信號變化：TA1或TA2發生Timeout後、使OHV側之信號全部OFF。（以下之Timing Chart中、為在TA2 Timeout時。）9.2移載動作中之異常1)在Gripper升降中或開閉中OHV變成異常狀態、而中止移載動作。a)OHV檢測到異常。原因：在OHV發生了某種異常（偏離Teaching位置/搖晃檢知/在荷ON?OFF變化等）。信號變化：使OHV側之信號全部OFF之後、使HO_AVBL=OFF或ES=OFF。b

7、)裝置檢測到異常。原因：裝置因某種異常而要求緊急停止（按下EMO /在荷Sensor不一致等）。信號變化：HO_AVBL=OFF或ES=OFF。原因：Loadport之在荷狀態與動作狀態不一致。（卸載移載雖已結束但L_REQ並未OFF。）9.3移載動作後之異常1) 結束裝載/卸載移載後、短暫停留後重新開始移動。原因：裝置側未確認到OHV之移載結束通知。或確認過遲。（COMPT=ON之後、超過指定時間亦未READY=OFF。）9.4GO信號?OFF變化1) 突然異常結束。原因：Device破損、Sensor光遮斷、外部光之干涉等。信號變化：GO信號產生ON?OFF變化、通信中之所有信號皆被Res

8、et。其後即不再進行通信。GO信號係用來確認光信號被正確地被接收的信號。光信號受信時ON光路遮斷時(非受信時) OFF9.5異常之復舊以下說明OHT系統之復舊方法。收集OHV之Event Log以探尋異常原因。（最好從發生現狀及Log來判斷。）找出異常模式後再進行復舊作業。OHV之復舊如以下所示。a)自ST停止後到等待READY=ON期間裝置若將HO_AVBL=OFF時、OHV即結束E84程序並自動進行復舊後再開始移動。TA3 Timeout發生後亦進行同樣之處理。（移載中若OFF時、即進行與b相同之處理。）b)當移載動作中裝置將ES=OFF時、OHV即立刻停止並顯示異常Code後、即等待人工

9、復舊作業。（將OHV Ret並進行再入線。）c)若以上述操作仍無法復舊時、由於有可能是Hard/Soft之問題因此須進行OHV及周邊機器之調查。裝置之異常復舊方法、由於依各裝置系統其Process時間、缺陷模式以及復舊程序均不同、因此本書不加以規定。10 注意事項為維持雙向通信、須注意以下各點。使OHV側?裝置側之兩Device的投光部經常相對向。確保光路避免外部光產生干涉。11 Connector 及各信號之分配Passive裝置側Connector之型式、係遵循ISO4902採用DB-25Socket（母）型式。1）電氣信號之規格2) Interlock 信號之分配Active裝置?Passive裝置間之Interlock 信號之分配如圖11.1所示。又、各Connector之規格如圖11.2及圖11.3所示。圖11.1 信號Bit分配1 NC (Not Connected)未使用2 Reserved依裝置之不同有可能被使用之Pin。E84 PI/O中則未使用。12 電路圖?Sensor Unit尺寸光I/O裝置之電路圖如圖1