WI-TE-033-电池扩散炉设备开关机操作规程-A1

1、江苏永能光伏科技有限公司江苏永能光伏科技有限公司扩散炉设备开关机操作规程编号：WI-TE-033版本：A 制定单位：技术部核准审核制表次 版次 页容 内 更 变期 日 订 修立口量质立口 产生池电 実 P 代 亠f肖 理 营 管 n 立口.一茅， J甘H人 部 咅政 术 皿行技 分口 页 次123456789o1213411561718版次A1A1nnonnnnnonon页次92021232729303233436版次编号：WI-TE-033文件名称：扩散炉设备开关机操作规程版次:A1 生效日期：2010/08/02 页次：1/4编号:WI-TE-033文件名称：扩散炉设备开关机操作规程版次:

2、A1生效日期：2010/08/02页次：1/4编号:WI-TE-033文件名称：扩散炉设备开关机操作规程版次:A1生效日期：2010/08/02页次:2/41 目的确保扩散设备安全、高效、稳定的运行。2 范围适用于 E-2000 HT300-4 Centrotherm扩散炉。3 权责3.1 电池部工艺单位3.1.1 负责负责制定、修改本操作规程。3.2 其他单位3.2.1扩散炉设备操作及维护人员执行。4 定义无5 参考文件无6 作业流程图无7 作业内容7.1 开机确认编号:WI-TE-033文件名称：扩散炉设备开关机操作规程版次:A1生效日期:2010/08/02页次:3/47.1.1检查确认

3、外围进气CDA调压阀打开，压力显示数值4-6 bar 。7.1.2 检查确认外围进气N2调压阀打开，压力显示数值2-3 bar。7.1.3 检查确认外围进气02调压阀打开，压力显示数值2-3 bar。7.1.4检查确认外围冷却循环水阀门已打开。7.1.5检查确认外围排风已开启。7.2 开机操作：7.2.1 打开设备总电源开关Mai n Switch 。7.2.2打开电源柜内所有开关，除V1-V3 -S1。7.2.3打开气源柜内N2,O2开关。7.2.4 打开在 Loading box 下的CMI开关。7.2.5打开西门子工控机CASAR电源开关，一个接一个至少相隔10秒钟。7.2.6 打开电源

4、柜内加热开管V1-V3 -S1。7.2.7 启动CMI监控系统。双击屏幕上“扩散炉监控系统”图标，输入用户名称及密码，登陆监控系统软件，初始密码为lin ya ng 。7.2.8 CMI监控系统有权限限制，不可越权使用计算机。生产人员使用operator用户名登陆，禁止使用其它用户名等登陆。7.2.9 电脑 XP开机密码 6065。7.2.10 设置温度 600 度：Manual TPaddle All Setpoint=600C,注意：不要设置Actset ， Tube会自动升温。7.2.11手动关门，检查门应关闭正确。7.2.12 打开开关门机构CDA气阀，调节到 4-6bar。7.2.1

5、3用夹子连接废液瓶，排毒桶。7.2.14 当温度升至 600 C时，按 Standby。7.2.15 打开源瓶阀门。确认源瓶上的进气出气阀门已打开，各接口连接正常。先开出气阀，再开进气阀。7.3 关机操作7.3.1 将每个炉管设定： Manual TPaddle All Setpoi nt=600C。7.3.2当温度达到600度时，取开连接夹子，移走废液瓶，排毒桶。编号:WI-TE-033文件名称：扩散炉设备开关机操作规程版次:A1生效日期：2010/08/02页次:4/4733关闭开关门机构CDA气阀，调节到 0 bar 。734手动将门拉开至中间位置。7.3.5 将每个炉管设定：Manua

6、l- TPaddle All Setpoi nt=20C。7.3.6关闭源瓶阀门。先关进气阀，再关出气阀。7.3.7当所有温度降至 100C时，关闭气源柜内 N2,O2开关。7.3.8 从CMI的Service 上按Shutdown-Yes，当面版中所有炉管显示灯都熄灯时,关掉所有炉管控制系统开关即西门子工控机CASAR电源开关7.3.9 关闭CMI应用软件一一关闭XP系统一一关 CMI电脑下面的开关。7.3.10关闭西门子工控机电源开关。7.3.11关闭电控柜内所有空开。7.3.12 关闭设备总电源开关Main Switch 。7.3.13关闭设备外围供水、供气阀门。7.4 注意事项7.4.1 开机关机操作责任人的确定：a）设备相关人员是开关机的主要责任人，由生产人员及工艺人员配合共同完成。b）开关