直拉硅单晶工艺简介

1、化料化料 在一定的功率（在规定的时间内从低到高慢慢提升，直到化料要求功率）在一定的功率（在规定的时间内从低到高慢慢提升，直到化料要求功率） 和一定的埚位下使硅料熔化和一定的埚位下使硅料熔化 在表面硅料全部熔化后，不可将坩埚的位置升的太高，须保证液面至导流在表面硅料全部熔化后，不可将坩埚的位置升的太高，须保证液面至导流 筒的距离有筒的距离有2- 3cm，防止石英坩埚底部硅料翻出时碰到导流筒，防止石英坩埚底部硅料翻出时碰到导流筒使使导流筒粘导流筒粘 硅。硅。 必须时刻注意观察炉内的情况，以防导流筒粘硅、必须时刻注意观察炉内的情况，以防导流筒粘硅、挂边、搭桥、挂边、搭桥、漏硅、石漏硅、石 英埚变形和

2、塌料时溅硅、跳硅，化完后的液面有杂质漂浮等一些异英埚变形和塌料时溅硅、跳硅，化完后的液面有杂质漂浮等一些异常常情况情况 的出现，应有效及时的处理并记录。的出现，应有效及时的处理并记录。 时刻注意加热电流、电压是否正常。时刻注意加热电流、电压是否正常。 - 中心位置 加热器温度最高点 中心位置 加热器温度最高点 直拉硅单晶工艺简介直拉硅单晶工艺简介 稳定稳定 设定引晶所需温度及坩埚转速并进行稳定设定引晶所需温度及坩埚转速并进行稳定 根据光环情况确定温度稳定情况根据光环情况确定温度稳定情况 反复几次试温找到最佳引颈温度并记录下来引颈功率等参数。反复几次试温找到最佳引颈温度并记录下来引颈功率等参数。

3、 直拉硅单晶工艺简介直拉硅单晶工艺简介 引晶引晶 籽晶与熔体接触后，等籽晶与熔体接触后，等1-2分钟有光环出现且棱线有逐渐变大趋势。其时温度分钟有光环出现且棱线有逐渐变大趋势。其时温度 适合缩颈。适合缩颈。 缩颈拉速最好控制在缩颈拉速最好控制在3-6mm/min之间，引颈直径控制在之间，引颈直径控制在3mm左右，不宜过粗，左右，不宜过粗， 过细，尽量保持平滑。过细，尽量保持平滑。 引晶开始时，应先引直径引晶开始时，应先引直径10mm左右较粗的晶体，长度为左右较粗的晶体，长度为30mm，可作为下次，可作为下次 熔接使用，这样避免籽晶的浪费。熔接使用，这样避免籽晶的浪费。 为确保缩颈质量，可根据实

4、际情况上升或下降温度设定点，以保证籽晶的直为确保缩颈质量，可根据实际情况上升或下降温度设定点，以保证籽晶的直 径控制在规定范围内。径控制在规定范围内。 直拉硅单晶工艺简介直拉硅单晶工艺简介 放肩放肩 目的：结晶直径扩大到指定尺寸目的：结晶直径扩大到指定尺寸 完成缩颈后，将拉速缓慢下降到一定的拉速（一般控制在完成缩颈后，将拉速缓慢下降到一定的拉速（一般控制在0.3-0.6mm/ min之间），同时温之间），同时温 度设定点下降一定数值，度设定点下降一定数值， 观察观察晶体生长情况。晶体生长情况。 控制放肩时的速度及角度，防止过快或过慢，放肩的角度应以平滑的控制放肩时的速度及角度，防止过快或过慢，

5、放肩的角度应以平滑的 角度放大。角度放大。 当放肩直径接近加工要求的直径时，须多次测量，如放肩速度过快，当放肩直径接近加工要求的直径时，须多次测量，如放肩速度过快， 在直径比预定直径小在直径比预定直径小10mm左右进入转肩状态。如放肩较慢，可在直径左右进入转肩状态。如放肩较慢，可在直径 比预定直径小比预定直径小5mm左右进入转肩状态。左右进入转肩状态。 直拉硅单晶工艺简介直拉硅单晶工艺简介 转肩转肩 目的：达到目标直径后提高拉速使之纵向生长目的：达到目标直径后提高拉速使之纵向生长 根据单晶炉性能，转肩可自动或手动，自动单晶炉将晶体生长控制程根据单晶炉性能，转肩可自动或手动，自动单晶炉将晶体生长

6、控制程 序启动到序启动到“转肩转肩”状态即可。手动单晶炉将晶升速度开到状态即可。手动单晶炉将晶升速度开到2-3mm/min。 测量并观察晶体生长情况。测量并观察晶体生长情况。 转肩时根据实际情况可适当提高或降低拉速，同时也可降转肩时根据实际情况可适当提高或降低拉速，同时也可降 低或上升温低或上升温 度设定点。但拉速不宜调整太快或太高，否则可能会造成转肩掉棱。度设定点。但拉速不宜调整太快或太高，否则可能会造成转肩掉棱。 直拉硅单晶工艺简介直拉硅单晶工艺简介 等径等径 目的：保持设定的直径尺寸拉晶目的：保持设定的直径尺寸拉晶 转肩完成直径控制稳定后可进入等径状态，进入等径状态时，将转肩完成直径控制

7、稳定后可进入等径状态，进入等径状态时，将 CCD监控摄像头调节到最佳状态及检查埚跟随动等各参数无误后投监控摄像头调节到最佳状态及检查埚跟随动等各参数无误后投 入等径自动控制。入等径自动控制。 经常观察坩埚上升速度和晶升速度是否正确经常观察坩埚上升速度和晶升速度是否正确。埚升太快液面容易碰埚升太快液面容易碰 到导流筒，晶升太快晶体容易变形。到导流筒，晶升太快晶体容易变形。 拉晶过程中要求每隔拉晶过程中要求每隔15分钟对炉内巡视一次，确定有无异常，并每分钟对炉内巡视一次，确定有无异常，并每 一个小时做一次拉晶记录。一个小时做一次拉晶记录。 直拉硅单晶工艺简介直拉硅单晶工艺简介 收尾收尾 目的：防止

8、等径部分产生晶裂和位错导致晶体不合格目的：防止等径部分产生晶裂和位错导致晶体不合格 将单晶直径不断缩小将单晶直径不断缩小 进入收尾先温度控制拉晶后拉速控制拉晶进入收尾先温度控制拉晶后拉速控制拉晶 晶体收尾长度应不少于晶体直径的大小，且必须收尖。晶体收尾长度应不少于晶体直径的大小，且必须收尖。 直拉硅单晶工艺简介直拉硅单晶工艺简介 停炉停炉& &冷却冷却 晶体收尾结束时，使晶体上升或下降坩埚将晶体脱离液面晶体收尾结束时，使晶体上升或下降坩埚将晶体脱离液面2-3cm。 将晶体生长控制系统改为手动状态。将晶体生长控制系统改为手动状态。 关闭晶升、晶转、埚转；关闭加热电源。关闭晶升、晶转、埚转；关闭加

9、热电源。 直拉硅单晶工艺简介直拉硅单晶工艺简介 取晶棒取晶棒 打开进气氩气阀门将炉内压力回充到常压。打开进气氩气阀门将炉内压力回充到常压。 按控制面板上晶升快速上升键，使晶体上升至副室适当距离关闭按控制面板上晶升快速上升键，使晶体上升至副室适当距离关闭 隔离阀再打开炉体，缓慢向左移动副室至隔离阀再打开炉体，缓慢向左移动副室至90度。度。 下降晶体至盛放晶体专用车中，确认单晶完全放入小车内后，戴下降晶体至盛放晶体专用车中，确认单晶完全放入小车内后，戴 上手套，左手抓紧重锤，右手用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然上手套，左手抓紧重锤，右手用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然 后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，

10、放在指定场所，再将重锤升后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升 至副室内适当位置。将晶棒推置通风处冷却。至副室内适当位置。将晶棒推置通风处冷却。 单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号、晶棒编号、出炉时间单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号、晶棒编号、出炉时间 并贴好标识。并贴好标识。 直拉硅单晶工艺简介直拉硅单晶工艺简介 工艺参数 1、进入自动抽空，有2次进行抽真空。 2、检漏时间及极限压力 3、最大泄漏率 压力化/熔料 1、压力化 达到熔料时气氛状态 压力上限及压力下限 2、进入熔料所花时间 3、提醒熔料慢的时间 稳定化/熔接 引晶 1、进入自动引晶时，温度变化及初始拉 速

11、和时间。 2、进入缩颈时的拉速，细颈直径上、下 限及长度 3、设定细颈的安全直径值 放肩 1、进入放肩阶段时，温度的变化 2、进入下步工序时直径大小 1、自动放肩时，拉速、晶转、埚转及氩气 大小和炉内压力情况 2、温度变化根据肩部和长度来变化 转肩 进入自动转肩时拉速、时间及温度减少值 等径 1、等径时，晶转、埚转、氩气流量、炉内压及 平均拉速值。 2、等径时，埚跟比随剩余重量变化而变化。 收尾 1、自动收尾时，晶升变化根据收率表来变化 还是根据指数表变化。 2、收尾时，启时拉速是当时的平均拉速还是 设定个拉速。 收尾斜率表，内设定了收尾时的晶升、埚转 、晶转、氩气流量及炉内压力。 2、温度变

12、化根据长度 停炉 1、停炉时晶升数据、坩埚下降位置。 2、冷却时功率下降的幅度。 3、冷却时的氩气流量及氩气流量时间 4、进行热检漏的时间及泄漏率 主要内容主要内容 1.1.等径过程中晶棒掉入石英埚等径过程中晶棒掉入石英埚 2.2.晶体扭曲处理晶体扭曲处理 3.3.运行中出现运行中出现“打火打火” 4.4.液晃液晃 5.5.晶晃晶晃 6.6.漏料漏料 7.7.断电处理断电处理 8.8.断水处理断水处理 9.9.整个炉区断水断电处理整个炉区断水断电处理 10.10.注意事项注意事项 异常处理异常处理 掉棒掉棒 异常处理异常处理 产生原因产生原因 一、籽晶断一、籽晶断 1 1、籽晶熔接、籽晶熔接

13、2 2、籽晶氧化、籽晶氧化 3 3、籽晶夹具、籽晶夹具 二、籽晶绳二、籽晶绳 1 1、籽晶绳氧化、籽晶绳氧化 2 2、籽晶绳毛刺、籽晶绳毛刺 该情况可能会直接导致石英埚破裂引发漏硅事件。该情况可能会直接导致石英埚破裂引发漏硅事件。 该情况发现应注意以下几点该情况发现应注意以下几点: : 一、晶棒过长，停炉处理一、晶棒过长，停炉处理 1、立即停止埚转,将控制面板转为手动。 2、关闭加热电源.保持真空泵运转。 3、尽量开大氩气流量，尽量开小碟阀开度。保持炉内压力尽量高，氩气 流通量尽量大.使炉内温度迅速下降。 二、长度小于二、长度小于300mm300mm长，视情况而定，可以选择回熔。长，视情况而定

14、，可以选择回熔。 1、停止埚转，观察炉内情况 2、进入回熔工艺 异常处理异常处理 异常处理异常处理 3.3.运行中出现运行中出现“打火打火” 异常处理异常处理 一、熔料时，出现打火一、熔料时，出现打火 产生的原因：产生的原因：1、掉料、掉料 2、热场未装好、热场未装好 3、热场未清理干净，电阻不过、热场未清理干净，电阻不过 二、运行中出现打火二、运行中出现打火 产生的原因产生的原因 1、漏料、漏料 2、石墨坩埚与加热器之间有接触、石墨坩埚与加热器之间有接触 3、石墨部件出现断裂，接触面不紧密、石墨部件出现断裂，接触面不紧密 1、加热器电阻偏低，导致电流变大、加热器电阻偏低，导致电流变大 2、石

15、墨纯度不够，灰分杂质多、石墨纯度不够，灰分杂质多 3、人为原因，热场未装好。、人为原因，热场未装好。 异常处理异常处理 异常处理异常处理 如何去判断原因如何去判断原因 化料时出现打火化料时出现打火 运行中出现打火运行中出现打火 1、首先观察电流波动情况、首先观察电流波动情况 2、听炉内是否有异常声音、听炉内是否有异常声音 3、通过调整埚位，来判断是否漏料或是托盘与底部距离太近、通过调整埚位，来判断是否漏料或是托盘与底部距离太近 导致。导致。 4、排除漏料后可、排除漏料后可 晶体扭曲处理晶体扭曲处理 晶体扭曲的根本原因只有一个，那就是横向温梯不均匀晶体扭曲的根本原因只有一个，那就是横向温梯不均匀

16、, ,一般一般 由以下原因引起由以下原因引起: : 1. 1. 液面温度偏低，拉速过快液面温度偏低，拉速过快 2.2.阻尼套松动或损坏阻尼套松动或损坏, ,重锤左右摆动重锤左右摆动 3.3.热场不合适或坩埚轴水平未调好热场不合适或坩埚轴水平未调好 由第一点导致的扭曲我们可以通过升温、控制拉速就可将由第一点导致的扭曲我们可以通过升温、控制拉速就可将 晶棒缓慢调整好晶棒缓慢调整好. .另外引晶时适当放高埚位另外引晶时适当放高埚位, ,拉速设定适当放慢拉速设定适当放慢 及时补温等都能有效防止这种扭曲现象及时补温等都能有效防止这种扭曲现象. .但是由于第二但是由于第二三点导三点导 致的就一定要调整设备

17、或热场才能解决致的就一定要调整设备或热场才能解决. . 异常处理异常处理 异常处理异常处理 液晃液晃 1、石英坩埚变形 2、石墨坩埚破裂 3、石墨托杆上硅粒 4、丝杆上有杂物 5、托杆磁流体 6、埚转电机 晶晃晶晃 异常处理异常处理 漏料漏料 1、 异常处理异常处理 停电 一、单炉停电 1、单炉整体断电UPS 供电 2、单炉整体断电UPS不供电 3、单炉局部断电电源柜断电 4、单炉局部断电控制柜断电 二、集中停电 1、短暂停电，水正常 2、集中短停电短停水 3、集中短停电长停水 4、集中长时间停电备用水供 5、集中长时间停电停水 现象：1、报警灯闪烁与报警声。 2、加热器电源关闭。 3、操作界

18、面显示正常 4、电源恢复后，报警停止。 单炉整体断电单炉整体断电UPS供电 处理方法：1、操作界面上的晶升，埚降。使晶棒脱离。 2、关闭氩气。保压 3、通知当班电工检修，若是总开关跳闸通知配电房 人员送闸，恢复供电。操作工恢复单晶炉的正常 操作。 4、无法短时间(30分钟）恢复供电，通知操作工停炉。 5、待液面结晶30分钟后，将坩埚升至最高位。 现象：1、操作柜与电源柜没电。 单炉整体断电单炉整体断电UPS不供电 插线板接入220V市电 操作柜插头插入线板 将操作柜的电源插头拔出 屏幕显示正常， 但只可以操作氩气 屏幕显示“手动紧急备份” 同时报警 应急里的按钮进行操作应急里的按钮进行操作 处

19、理方法：1、操作应急处的晶升，埚降。使晶棒脱离。 2、关闭界面上氩气。保压。 3、通知当班电工检修，若是总开关跳闸通知配电房 人员送闸，恢复供电。操作工恢复单晶炉的正常 操作。 4、无法短时间(30分钟）恢复供电，通知操作工停炉。 5、待液面结晶30分钟后，将坩埚升至最高位。 一、电源柜断电 现象：加热器没有功率（其他如氩气、埚转、晶转等正常） 处理方法： 1、将电源柜上控 调为内控 3、调节功率旋钮 4、根据功率表，调节功率 1、通知当班电工检修。 2、若内控也无法启动加热器迅速通知当班 电工检修。若短时间无法修复，告知操作工 停炉。 2、启动运行按钮 单台炉局部断电单台炉局部断电 现象：有

20、功率但操作柜没电。 处理方法： 1、查看功率及参数是否都正常。如 都正常先维持住，并通知维修人员迅 速查明原因解决。 2、若无加热功率，迅速转为内控。 （见上图）将功率给定到先前功率。 稳住炉温以免结晶。并通知维修人员 迅速查明原因解决。 插线板接入220V市电 操作柜插头插入线板 将操作柜的电源插头拔出 二、控制柜断电 送电 送电送电 接触式继电器 工作原理：配电房 电源柜 UPS 操作柜 接触式继电器作用：当UPS出现故 障时，继电器自动切换成市电供操 作柜。 集中短停电未停水集中短停电未停水 现象：停电5分钟后恢复，未出现水压低报警 处理方法：1、立即关闭抽空阀门。 2、降低埚位使晶棒与

21、硅液脱离。 3、电源恢复时，立即开真空泵，待半分钟后开 抽空阀门，将氩气流量恢复正常。 4、打开加热器，将功率升至熔料功率。 现象：停电5分钟后恢复，出现水压低报警立即恢复正常 处理方法： 1、立即关闭抽空阀门。 2、降低埚位使晶棒与硅液脱离。 3、电源恢复时，立即开真空泵，待半分钟 后开抽空阀门，将氩气流量恢复正常。 4、复位电源柜上复位按钮后，继续开始加热。 集中短停电短停水 处理方法：1、零时指挥小组（以值班主任为主）先查 看是否停水。 2、联系配电房停电情况，同时联系纯水站 供水是否正常。 3、冷却水和备用水也无法迅速提供，则通 知各操作工停炉。将晶棒脱离液面，迅 速撤离现场。 集中短

22、停电长停水 现象： 处理方法： 集中长停电备用水供 集中长停电长停水 处理方法：1、零时指挥小组（以值班主任为主）先查 看是否停水。 2、联系配电房停电情况，同时联系纯水站 供水是否正常。 3、若停电超过15分钟，冷却水和备用水也 无法迅速提供，则通知各操作工迅速撤离 现场。 停水 一、集中停水 1、短暂集中停水恢复供水，无任何异常 2、短暂集中停水恢复供水，压力过大多炉水管爆裂 3、长时间集中停水 二、单炉停水 1、单炉爆管 2、单炉局部超温 短暂集中停水恢复供水，无任何异常 现象： 正常异常 水压监控 一、水压低报警，它在屏幕上是不会显示。 二、面板上看到冷却水处灯由绿 黄 红。 三、操作

23、界面中“系统维护“里面可以看到“水流量正常” 这一栏为红点。 四、恢复后，一切正常。 处理方法： 1、迅速到加热电源柜上按复位键，取消报警，将功率给定 到先前使用的功率。 2、若无法恢复，立即通知维修人员检修.可能是水压低 ,操 作如下。 电源柜上复位钮电源柜上水流量指示灯 电源柜 进水压力为 0.3 出水压力为 0.2 现象： 处理方法：1、先按电源柜的复位键，将功率给定到先前 值，维持炉温。 2、将水管插回再拧紧抱箍即可。个别情况有水 嘴断裂的现象，引流。不要让水冲电气设具 备。若电气设备进水了，只有停炉处理。 (发现爆水管，不要慌张，不要急着将阀门关闭)。 短暂集中停水恢复供水，压力过大

24、多炉水管爆裂 现象：1、大面积出现水压低报警 2、信息反馈为水站故障，不能供水。 处理方法：1、零时指挥小组（以值班主任为主）先查看是 否停水。 2、联系纯水供水、备用水是否正常。 3、若长时间停水，则停炉处理，将晶棒脱离液 面，撤离现场（超过10分钟严禁再送水）。 集中长时间停水 单炉爆管 现象： 处理方法：1、不要关水，将水管插回，拧紧抱箍或及时更 换水管。若是电源柜里面爆管只有停炉处理。 单台炉停水 处理方法： 1.发现该情况应及时确认炉温偏高情况.是否能排除水温探测器 的故障. 2.若炉温明显偏高,应迅速抖动该路水管或顺着水管一路弯曲水 管让其瞬间断流冲开堵塞物.直至水温正常. 3.若

25、情况没有改善,可割断出水管排水并判断是否炉体或进水管 堵塞. 4.有条件可将进水与出水管反接冲开堵塞物.如果是电极温度偏 高应立即停止加热处理. 5.若长时间无法修复也应停止加热.快速提升晶体或籽晶，使晶 体或籽晶脱离液面150mm.保持氩气的流入。 单炉局部超温 现象：出现超温报警 断电处理断电处理: : 1.1.若炉子工作时，加热电源停电。若炉子工作时，加热电源停电。 保持真空泵运转及氩气流量。保持真空泵运转及氩气流量。 降低埚位到熔料埚位。降低埚位到熔料埚位。 关闭埚转。关闭埚转。 加热电源部分恢复时，若时间较短（液面未结晶或液面已小加热电源部分恢复时，若时间较短（液面未结晶或液面已小

26、块的结晶），按加热功率开，将功率升至熔料功率。块的结晶），按加热功率开，将功率升至熔料功率。 启动埚转，设定为启动埚转，设定为2 2转转/ /分。分。 熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦 发生硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。发生硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。 待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开 始引晶。始引晶。 异常处理异常处理 加热电源恢复时，若停电时间较长（液面结晶已经大加热电源恢复时，若停电时间较长（液面结晶已经大 于于1010分钟或液面完

27、全结晶），快速提升晶体或籽晶，分钟或液面完全结晶），快速提升晶体或籽晶， 使晶体或籽晶脱离液面使晶体或籽晶脱离液面150mm150mm。 在熔体结晶在熔体结晶1515分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导 流筒至少流筒至少100mm100mm。 停炉，保持真空泵运转及尽量开大氩气流量停炉，保持真空泵运转及尽量开大氩气流量. .充分冷充分冷 却后拆炉。却后拆炉。 断电处理断电处理 异常处理异常处理 2. 2. 若炉子工作时，加热电源、控制电源同时断电。若炉子工作时，加热电源、控制电源同时断电。 立即关闭抽空阀门。立即关闭抽空阀门。 降低埚位使晶棒与硅液脱离。若无降低

28、埚位使晶棒与硅液脱离。若无UPSUPS电源需手动摇手柄降电源需手动摇手柄降 低埚位同时关闭氩气。低埚位同时关闭氩气。 电源恢复时，立即开真空泵，待半分钟后开抽空阀门，将电源恢复时，立即开真空泵，待半分钟后开抽空阀门，将 氩气流量恢复正常。氩气流量恢复正常。 若时间较短（液面未结晶或液面已小块结晶），按加热功若时间较短（液面未结晶或液面已小块结晶），按加热功 率开，将功率升至熔料功率。率开，将功率升至熔料功率。 断电处理断电处理 异常处理异常处理 启动埚转，设定为启动埚转，设定为2 2转转/ /分。若晶体或籽晶与液面结晶在一起，分。若晶体或籽晶与液面结晶在一起，则则 要要等晶体或籽晶与液面结晶面

29、熔化并脱离后方可启动。等晶体或籽晶与液面结晶面熔化并脱离后方可启动。 熔化熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生发生 硅硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。液面下降，立即停炉并上报管理人员。 待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引引 晶晶。 若停电时间较长（液面结晶已经大于若停电时间较长（液面结晶已经大于1010分钟或完全结晶），分钟或完全结晶），快速快速 提升提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm150mm。 在熔体

30、结晶在熔体结晶1515分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒至少至少 100mm100mm。 停炉，充分冷却后拆炉。停炉，充分冷却后拆炉。 断电处理断电处理 异常处理异常处理 断水处理断水处理: : 单晶炉发生停水或水压报警时会自动切断加热电源单晶炉发生停水或水压报警时会自动切断加热电源. .需先需先 确认水压表是否偏低，水管和炉筒温度是否明显升高。确认水压表是否偏低，水管和炉筒温度是否明显升高。 加热电源断开后需快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱加热电源断开后需快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱 离液面离液面150mm150mm。 切换单晶炉控制面板使其

31、处于手动状态。切换单晶炉控制面板使其处于手动状态。 降低埚位到熔料埚位。降低埚位到熔料埚位。 关闭埚转。关闭埚转。 异常处理异常处理 断水处理断水处理 停水后水压恢复停水后水压恢复 冷却水恢复供应时，监控水压，有异常立即报告管理人员。冷却水恢复供应时，监控水压，有异常立即报告管理人员。 水压恢复时，炉内无严重氧化现象，熔体未结晶或已结晶但水压恢复时，炉内无严重氧化现象，熔体未结晶或已结晶但 液面结晶面较小，按加热功率开，调节功率到熔料功率。液面结晶面较小，按加热功率开，调节功率到熔料功率。 启动埚转，设定为启动埚转，设定为2 2转转/ /分。分。 熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无严重氧化现象

32、，注意熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无严重氧化现象，注意 硅料液面熔化情况，一旦发生严重氧化现象、硅液面下降，硅料液面熔化情况，一旦发生严重氧化现象、硅液面下降， 立即停炉并上报管理人员。立即停炉并上报管理人员。 待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开 始引晶。始引晶。 异常处理异常处理 断水处理断水处理 停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于1010分钟分钟 时只有停炉。时只有停炉。 在熔体结晶在熔体结晶1515分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起 导

33、流筒至少导流筒至少100mm100mm。 停炉，充分冷却后拆炉停炉，充分冷却后拆炉 异常处理异常处理 断水处理断水处理 炉体单路水管断水炉体单路水管断水: : 炉体单路水管断水会引发该部分炉体水温偏高报警炉体单路水管断水会引发该部分炉体水温偏高报警. . 发现该情况应及时确认炉体偏高情况发现该情况应及时确认炉体偏高情况. .是否能排除水温探测器的故是否能排除水温探测器的故 障障. . 若炉体明显偏高若炉体明显偏高, ,应迅速抖动该路水管或顺着水管一路弯曲水管让应迅速抖动该路水管或顺着水管一路弯曲水管让 其瞬间断流冲开堵塞物其瞬间断流冲开堵塞物. .直至水温正常直至水温正常. . 若情况没有改善

34、若情况没有改善, ,可割断出水管排水并判断是否炉体或进水管堵塞可割断出水管排水并判断是否炉体或进水管堵塞. . 有条件可将进水与出水管反接冲开堵塞物有条件可将进水与出水管反接冲开堵塞物. .如果是电极温度偏高应如果是电极温度偏高应 立即停止加热处理立即停止加热处理. . 若长时间无法修复也应停止加热若长时间无法修复也应停止加热. .快速提升晶体或籽晶，使晶体或快速提升晶体或籽晶，使晶体或 籽晶脱离液面籽晶脱离液面150mm.150mm.保持氩气的流入保持氩气的流入. . 在熔体结晶在熔体结晶1515分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒至少分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒至少 100mm

35、100mm。 停炉，充分冷却后拆炉。停炉，充分冷却后拆炉。 异常处理异常处理 断水处理断水处理 要点要点: : 单晶炉因缺水某些部分温度升高，温度升高厉害只有停单晶炉因缺水某些部分温度升高，温度升高厉害只有停 炉，千万不能突然通水，水遇高温后立即汽化，体积突然炉，千万不能突然通水，水遇高温后立即汽化，体积突然 膨胀，可能出现爆炸事故。单晶炉加热时间不长，温升不膨胀，可能出现爆炸事故。单晶炉加热时间不长，温升不 高时，可以快速大量通水，待炉温正常后，再调整水压。高时，可以快速大量通水，待炉温正常后，再调整水压。 异常处理异常处理 石英坩埚裂开或漏硅处理石英坩埚裂开或漏硅处理 石英坩埚在不正确的装

36、料或本身质量问题或使用时间过长都可能会石英坩埚在不正确的装料或本身质量问题或使用时间过长都可能会 出现漏硅现象出现漏硅现象. . 观察炉内硅液面有明显下降，炉压有明显回升现象或碟阀开度有明观察炉内硅液面有明显下降，炉压有明显回升现象或碟阀开度有明 显增加现象，即可能漏硅。显增加现象，即可能漏硅。 立即关闭加热功率立即关闭加热功率. . 快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm150mm。 将控制面板转为手动状态。将控制面板转为手动状态。 关闭埚转。关闭埚转。 尽量开大氩气流量尽量开大氩气流量, ,增加炉内压力增加炉内压力. .保持炉内氩气的流通

37、保持炉内氩气的流通. . 在熔体结晶在熔体结晶1515分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流 筒至少筒至少100mm100mm。 停炉，充分冷却后拆炉。停炉，充分冷却后拆炉。 异常处理异常处理 石墨坩埚裂开处理石墨坩埚裂开处理 石墨坩埚在使用炉次过多或使用不当的情况下会在运行过程中自身石墨坩埚在使用炉次过多或使用不当的情况下会在运行过程中自身 裂开。裂开。 石墨坩埚裂开发现不及时会导致严重的漏硅事件石墨坩埚裂开发现不及时会导致严重的漏硅事件. .石墨坩埚裂开主石墨坩埚裂开主 要现象为埚转打开后，液面晃动异常严重，观察电流有跳动现象，要现象为

38、埚转打开后，液面晃动异常严重，观察电流有跳动现象， 即可能石墨埚破裂。即可能石墨埚破裂。 立即关闭加热功率。立即关闭加热功率。 调节单晶炉控制面板使其处于手动状态。调节单晶炉控制面板使其处于手动状态。 关闭埚转。关闭埚转。 快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm150mm。 在熔体结晶在熔体结晶1515分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流 筒至少筒至少100mm100mm。 停炉，充分冷却后拆炉。停炉，充分冷却后拆炉。 异常处理异常处理 整个炉区断水断电处理整个炉区断水断电处理 整个炉区

39、断水断电一般为配电房供电系统出现故障整个炉区断水断电一般为配电房供电系统出现故障. .此此 时现场人员最主要的是不能慌时现场人员最主要的是不能慌. .依照应急预案听从指挥依照应急预案听从指挥. .派派 专人监视水电恢复情况专人监视水电恢复情况, ,一旦恢复及时通知指挥人员一旦恢复及时通知指挥人员. .工艺工艺 操作人员有针对性的监视所看炉子的运行情况操作人员有针对性的监视所看炉子的运行情况. .发现异常发现异常 及时处理及时处理. . 快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm150mm。 无无UPSUPS则需手动将埚位摇下则需手动将埚位摇下.

40、. 关注备用水水压及炉体温度情况关注备用水水压及炉体温度情况. . 依照断水依照断水断电处理方法处理断电处理方法处理. . 保证晶体与液面分离保证晶体与液面分离. . 晶体与液面未分离晶体与液面未分离 异常处理异常处理 注意事项注意事项 在装完料抽空检漏时，真空泵开启，应先开真空泵电源，在装完料抽空检漏时，真空泵开启，应先开真空泵电源， 再开球阀；关闭时，应先关球阀，再关真空泵电源。切再开球阀；关闭时，应先关球阀，再关真空泵电源。切 记不要将顺序记反，避免回气污染原料。记不要将顺序记反，避免回气污染原料。 进行晶升埚升快速时应当时刻注意炉内情况，避免液面进行晶升埚升快速时应当时刻注意炉内情况，

41、避免液面 碰到导流筒、重锤熔化等事故。碰到导流筒、重锤熔化等事故。 加热时若出现打火现象（电流突然变大，电压减小）计加热时若出现打火现象（电流突然变大，电压减小）计 算机会加热器异常报警，此时请将加热功率降到最小，算机会加热器异常报警，此时请将加热功率降到最小， 后关闭加热。然后重新升功率并注意观察。若出现两次后关闭加热。然后重新升功率并注意观察。若出现两次 以上打火，请停止加热。拆炉检查。以上打火，请停止加热。拆炉检查。 大清炉台时应当检查石墨件是否有破损或裂纹现象，若大清炉台时应当检查石墨件是否有破损或裂纹现象，若 有应当及时更换。有应当及时更换。 异常处理异常处理 注意事项注意事项 装好

42、石墨坩埚后，开起埚转，看有无转动偏心、碰其它石装好石墨坩埚后，开起埚转，看有无转动偏心、碰其它石 墨器件等情况，若有应及时调整以防对拉晶造成影响墨器件等情况，若有应及时调整以防对拉晶造成影响. . 在取晶棒时，细籽晶处应当用钳子剪断，严禁敲打籽晶，在取晶棒时，细籽晶处应当用钳子剪断，严禁敲打籽晶， 避免因籽晶受力产生微裂痕导致断裂的事故发生避免因籽晶受力产生微裂痕导致断裂的事故发生 . . 取棒时晶棒升到副室后，将翻板阀关闭、副室下边的防护取棒时晶棒升到副室后，将翻板阀关闭、副室下边的防护 钢板移到晶棒正下方，副室移动一定要缓慢钢板移到晶棒正下方，副室移动一定要缓慢, ,以防晶棒在以防晶棒在

43、副室内碰撞导致籽晶断裂。待晶棒稳定后再取出，晶棒下副室内碰撞导致籽晶断裂。待晶棒稳定后再取出，晶棒下 方严禁站人，避免人员伤亡等。方严禁站人，避免人员伤亡等。 在化料过程中应注意观察炉内情况，若料有所下降，应及在化料过程中应注意观察炉内情况，若料有所下降，应及 早打开埚转，并根据炉内的料位及时调整埚位，以防止石早打开埚转，并根据炉内的料位及时调整埚位，以防止石 英坩埚长时间高温导致变形情况发生。英坩埚长时间高温导致变形情况发生。 异常处理异常处理 注意事项注意事项 在收尾过程当中应当密切关注炉内情况，防止因料少温度在收尾过程当中应当密切关注炉内情况，防止因料少温度 低造成结晶粘住晶棒，钢丝绳断裂的事故发生。低造成结晶粘住晶棒，钢丝绳断裂的事故发生。 单晶炉膛漏水会使单晶氧化，严重影响单晶质量。漏水和单晶炉膛漏水会使单晶氧化，严重影响单晶质量。漏水和 漏真空现象有些相似，一般情况泵抽不到需要的真空度，漏真空现象有些相似，一般情况泵抽不到需要的真空度， 有时漏水也能抽到需要的真空度，但加热熔硅时真空度会有时漏水也能抽到需要的真空度，但加热熔硅时真空度会 突然下降。漏水的明显特征是单晶产生氧化，单晶颜色发突然下降。漏水的明显特