压电测量技术PPT学习教案

1、会计学1 压电测量技术压电测量技术 9.1 压电式传感器的工作原理压电式传感器的工作原理 正压电效应：正压电效应：有些材料，当沿着一定方向对其施力而使它变有些材料，当沿着一定方向对其施力而使它变 形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号 相反的电荷；当外力去除后，又重新恢复为不带电的状态。当相反的电荷；当外力去除后，又重新恢复为不带电的状态。当 作用力的方向改变时，电荷的极性随之改变。作用力的方向改变时，电荷的极性随之改变。 逆压电效应：逆压电效应：在这些材料的极化方向施加电场，它们就会产在这些材料的极化方向施加电场，它们就会

2、产 生变形，这种现象称为生变形，这种现象称为“逆压电效应逆压电效应”，或称为，或称为“电致伸缩效电致伸缩效 应应”。 压电材料：压电材料：具有压电效应的材料称为压电材料。具有压电效应的材料称为压电材料。 第2页/共74页第1页/共74页 压电常数压电常数 压电材料的性能常用压电常数来表征。压电材料的性能常用压电常数来表征。 以晶体为例，设有一用晶体制成的压电元件受到力以晶体为例，设有一用晶体制成的压电元件受到力F F作用，作用， 在其相应表面上产生表面电荷在其相应表面上产生表面电荷Q Q，力，力F F与电荷与电荷Q Q之间存在如下关之间存在如下关 系系 ： FdQ d 压电常压电常 数数 F

3、+ 第3页/共74页第2页/共74页 不同的受力方向及不同表面上电荷积累是不同的。不同的受力方向及不同表面上电荷积累是不同的。用单位面用单位面 积上的力和电荷来表征压电效应时，得到：积上的力和电荷来表征压电效应时，得到： jij j i dP j方向受力时在方向受力时在i方方 向上电荷积累的表面向上电荷积累的表面 密度密度(即沿即沿i方向的极方向的极 化强度化强度)； 沿方向沿方向j j施加外力施加外力 时，单位面积上时，单位面积上 感受的应力；感受的应力； 压电常数压电常数( j方向受方向受 应力，在应力，在i方向产生电方向产生电 荷时的压电常数荷时的压电常数)。 第4页/共74页第3页/共

4、74页 压电常数压电常数dij有两个下脚注有两个下脚注 : 第第1个下脚注：表示晶体的极化方向，即产生电荷的个下脚注：表示晶体的极化方向，即产生电荷的 表面垂直于表面垂直于x轴轴(y轴或轴或z轴轴)，记作，记作i=1（或（或2或或3）。）。 第第2个下脚注：个下脚注：j=1或或2、3、4、5、6，分别表示在沿，分别表示在沿x 轴、轴、y轴、轴、z轴方向作用的正应力和在垂直于轴方向作用的正应力和在垂直于x轴、轴、y轴、轴、 z轴的平面内作用的剪切力。轴的平面内作用的剪切力。 jij j i dP 第5页/共74页第4页/共74页 晶体在任意受力状态下所产生的表面电荷密度可由晶体在任意受力状态下所

5、产生的表面电荷密度可由 下列方程组决定：下列方程组决定： 6365354343332321313 6265254243232221212 6165154143132121111 ddddddP ddddddP ddddddP P1、P2、P3： ：分别为在垂直于 分别为在垂直于x轴、轴、y轴和轴和z轴的表面上产生的总轴的表面上产生的总 的电荷密度；的电荷密度； 1、 2 、 3：表示晶体分别沿表示晶体分别沿x轴、轴、y轴、轴、z轴方向所受的外力轴方向所受的外力 分量产生的拉或压应力；分量产生的拉或压应力； 4、 5、 6：为剪切应力分量。为剪切应力分量。 第6页/共74页第5页/共74页 晶体

6、（压电材料）的压电特性可以用它的压电常数晶体（压电材料）的压电特性可以用它的压电常数 矩阵表示如下：矩阵表示如下： 363534333231 262524232221 161514131211 dddddd dddddd dddddd 第7页/共74页第6页/共74页 石英晶体的压电常数矩阵：石英晶体的压电常数矩阵： 000000 20000 000 1114 141111 dd ddd 第8页/共74页第7页/共74页 khkh Ed（k=1、2、3；、；、2、3、4、5、6） 沿沿h方向的应变。方向的应变。 沿沿k方向施加的电场。方向施加的电场。 h k E 石英晶体的逆压电效应可用下列形

7、式表示：石英晶体的逆压电效应可用下列形式表示： 3 2 1 11 14 14 11 11 6 5 4 3 2 1 020 00 00 000 00 00 E E E d d d d d 第9页/共74页第8页/共74页 结论：结论： 1 1）有正压电效应的压电晶体，必有相应的逆压电效有正压电效应的压电晶体，必有相应的逆压电效 应。应。晶体中，哪个方向上有正压电效应，则此晶体中，哪个方向上有正压电效应，则此 方向上必定存在逆压电效应。方向上必定存在逆压电效应。 2 2）逆压电效应的压电常数与正压电效应的压电常数）逆压电效应的压电常数与正压电效应的压电常数 相等，且一一对应。一般有：相等，且一一对

8、应。一般有：逆压电效应中压逆压电效应中压 电常数矩阵是正压电效应中压电常数矩阵的转电常数矩阵是正压电效应中压电常数矩阵的转 置矩阵。置矩阵。 第10页/共74页第9页/共74页 压电常数压电常数dij的物理意义的物理意义 在在“短路条件短路条件”下，单位应力所产生的电荷密度。下，单位应力所产生的电荷密度。 “短路条件短路条件”是指压电元件的表面电荷从一开始是指压电元件的表面电荷从一开始 发生就被引开，因而在晶体变形上不存在发生就被引开，因而在晶体变形上不存在“二次效二次效 应应”的理想条件。压电常数的理想条件。压电常数dij有时也称为压电应变常有时也称为压电应变常 数。数。 第11页/共74页

9、第10页/共74页 （1）压电常数）压电常数g：它表示在不计它表示在不计“二次效应二次效应”的条件下，每单的条件下，每单 位位应力应力在晶体内部产生的电势梯度，因此有时也称为压电电压在晶体内部产生的电势梯度，因此有时也称为压电电压 常数，数值上等于压电常数常数，数值上等于压电常数d除以晶体的绝对介电常数，即除以晶体的绝对介电常数，即： 0 r d g （2）压电常数）压电常数h：它表示在不计它表示在不计“二次效应二次效应”条件下，每单位条件下，每单位 机械应变机械应变在晶体内部产生的电势梯度。因而在晶体内部产生的电势梯度。因而h常数应关系到压常数应关系到压 电晶体材料的机械性能参数，数值上等于

10、压电常数电晶体材料的机械性能参数，数值上等于压电常数g和晶体的和晶体的 杨氏模量杨氏模量E的乘积：的乘积： gEh 第12页/共74页第11页/共74页 9.2 压电材料压电材料 选择压电材料的要求：选择压电材料的要求： 转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数；转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数； 机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高，机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高， 机械刚度大，以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率；机械刚度大，以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率； 电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期减弱电性能：希望具

11、有高的电阻率和大的介电常数，以期减弱 外部分布电容的影响并获得良好的低频特性；外部分布电容的影响并获得良好的低频特性； 温度和湿度稳定性要好，具有较高的居里点，以期得到较温度和湿度稳定性要好，具有较高的居里点，以期得到较 宽的工作温度范围；宽的工作温度范围； 时间稳定性时间稳定性 : : 压电特性不随时间变化。压电特性不随时间变化。 压电晶体分类：压电晶体分类： 单晶体：石英晶体等单晶体：石英晶体等 多晶体：压电陶瓷等多晶体：压电陶瓷等 第13页/共74页第12页/共74页 石英晶体 石英晶体有石英晶体有天然的石英天然的石英和和人工石英单晶体人工石英单晶体两种。两种。 结构：石英晶体属六方晶体

12、，有结构：石英晶体属六方晶体，有 右旋石英晶体和左旋石英晶体之右旋石英晶体和左旋石英晶体之 分，其理想外形共包括三十个晶分，其理想外形共包括三十个晶 面，分成五组。以面，分成五组。以 m、R、r、s 和和x表示。六个表示。六个m面也称柱面，六面也称柱面，六 个个R面也称大棱面，六个面面也称大棱面，六个面r也称也称 为小棱面，还有六个为小棱面，还有六个s面和六个面和六个x 面。面。 第14页/共74页第13页/共74页 x轴：轴：与与z轴垂直的平面上，并通过相对两棱的直线轴垂直的平面上，并通过相对两棱的直线(有三个有三个)， 又称为又称为电轴电轴。 y轴：轴：与与x轴、轴、z轴垂直的是轴垂直的是

13、y轴，又称为轴，又称为机械轴机械轴； z轴：轴：晶体对称轴，又称为晶体对称轴，又称为光轴光轴； x切割：切割：截得的压电元件之两个端面与截得的压电元件之两个端面与x轴相垂直；轴相垂直； y切割：切割：截得的压电元件中的两个端面与截得的压电元件中的两个端面与y轴相垂直。轴相垂直。 第15页/共74页第14页/共74页 压电晶体的三种压电效应压电晶体的三种压电效应 a) a) 纵向压电效应纵向压电效应: :沿电轴沿电轴X-X方向的力作用下产生电荷方向的力作用下产生电荷 的压电效应的压电效应. . xx FdQ dFQ 11 第16页/共74页第15页/共74页 压电晶体的三种压电效应压电晶体的三种

14、压电效应 b) b) 横向压电效应横向压电效应: :沿机械轴沿机械轴Y-YY-Y方向的力作用下产生电方向的力作用下产生电 荷的压电效应荷的压电效应. . y FdQ 12 第17页/共74页第16页/共74页 压电晶体的三种压电效应压电晶体的三种压电效应 c) c) 切向压电效应切向压电效应 第18页/共74页第17页/共74页 石英是具有良好压电效应的一种压电晶体。在石英是具有良好压电效应的一种压电晶体。在2020 200200范围内压电常数的温度变化率约是范围内压电常数的温度变化率约是-0.016%/-0.016%/， 在温度较低时，压电常数的变化很小。在温度较低时，压电常数的变化很小。

15、居里点：居里点：573 573 石英晶体的石英晶体的相对介电常数较小相对介电常数较小，温度稳定性很好。，温度稳定性很好。 机械强度很高，性能稳定，机械强度很高，性能稳定，没有热释电效应没有热释电效应（由于温（由于温 度变化导致电荷释放），绝缘性能相当好。度变化导致电荷释放），绝缘性能相当好。 第19页/共74页第18页/共74页 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它由无数细微的单晶压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它由无数细微的单晶 组成。组成。 1 1）极化前）极化前 它具有类似铁畴材料磁畴结构的它具有类似铁畴材料磁畴结构的“电畴电畴”结构。结构。 特点：特点：“电电 畴畴”是分子

16、自发的极化区域，各单晶的自发极化方向完全是任是分子自发的极化区域，各单晶的自发极化方向完全是任 意排列的，虽然每个单晶具有强压电性质，但是组成多晶后，意排列的，虽然每个单晶具有强压电性质，但是组成多晶后， 各单晶的压电效应却互相抵消了。各单晶的压电效应却互相抵消了。 原始的压电陶瓷是一个非压电体，它不具有压电性质。原始的压电陶瓷是一个非压电体，它不具有压电性质。 第20页/共74页第19页/共74页 2 2）极化后）极化后 极化处理：极化处理：在一定温度下，对压电陶瓷施加强电场，在一定温度下，对压电陶瓷施加强电场， 使电畴的自发极化方向按外加电场的方向取向。使电畴的自发极化方向按外加电场的方向

17、取向。 压电陶瓷 1 电场撤消，电畴的自发极化在按原外加电场方向取向，陶 瓷内极化强度不再为零。 第21页/共74页第20页/共74页 机械效应转变为电效应，即由机械能转变为电能的现象，称为机械效应转变为电效应，即由机械能转变为电能的现象，称为 压电陶瓷的正压电效应。压电陶瓷的正压电效应。极化方向定义为极化方向定义为z z轴。压电陶瓷稳定轴。压电陶瓷稳定 性较石英晶体差。性较石英晶体差。 2 在陶瓷片极化的两端就出现束缚正负电荷。在陶瓷片的电在陶瓷片极化的两端就出现束缚正负电荷。在陶瓷片的电 极表面上很快吸附了一层来自外界的自由电荷。极表面上很快吸附了一层来自外界的自由电荷。 3自由电荷与陶瓷

18、片内的束缚电荷符号相反而数值相等，起自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数值相等，起 屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外作用屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外作用,陶瓷片内不表现极性陶瓷片内不表现极性 4陶瓷片上加一个与极化方向平行的力陶瓷片上加一个与极化方向平行的力,陶瓷片产生压缩变形陶瓷片产生压缩变形 5片内的正负束缚电荷之间的距离变小，电畴发生偏转，极片内的正负束缚电荷之间的距离变小，电畴发生偏转，极 化强度变小，原来吸附在极板上的自由电荷，有一部分被释化强度变小，原来吸附在极板上的自由电荷，有一部分被释 放放 6 压力撤消，恢复原状，片内的正负电荷之间的距离变大，压力撤消，恢复原状，片内的正

19、负电荷之间的距离变大， 极化强度也变大，电极上又吸附一部分自由电荷极化强度也变大，电极上又吸附一部分自由电荷 第22页/共74页第21页/共74页 压电陶瓷的种类压电陶瓷的种类 : 钛酸钡压电陶瓷钛酸钡压电陶瓷 锆钛酸铅系压电陶瓷，即锆钛酸铅系压电陶瓷，即PZT系压电陶瓷系压电陶瓷 铌镁酸铅压电陶瓷（铌镁酸铅压电陶瓷（PMN) 铌酸盐系压电陶瓷铌酸盐系压电陶瓷 需要指出需要指出: 通常压电陶瓷如钛酸钡和锆钛酸铅都有明通常压电陶瓷如钛酸钡和锆钛酸铅都有明 显的显的热释电效应热释电效应。 第23页/共74页第22页/共74页 第24页/共74页第23页/共74页 在压电式传感器中，压电元件常用两片

20、或两片以上在压电式传感器中，压电元件常用两片或两片以上 组合在一起。由于存在极性，因此有两种连接方法。组合在一起。由于存在极性，因此有两种连接方法。 1）并联法）并联法 Q=2Q ; U=Ua ; C= 2 Ca 压电元件的结构形式压电元件的结构形式 第25页/共74页第24页/共74页 2)串联法串联法 Q=Q ; U=2Ua ; C= 2 a C 比较：比较：并联接法输出电荷大，本身电容大（因而接上并联接法输出电荷大，本身电容大（因而接上 负载后时间常数大），宜用于以电荷作为输出量的场负载后时间常数大），宜用于以电荷作为输出量的场 合，相对来说允许被测对象变化频率稍低。串联接法合，相对来说

21、允许被测对象变化频率稍低。串联接法 输出电压大，本身电容小，宜用于以电压作为输出量输出电压大，本身电容小，宜用于以电压作为输出量 的场合，要求后续电路有较大的输入阻抗。的场合，要求后续电路有较大的输入阻抗。 第26页/共74页第25页/共74页 9.3 压电式传感器的等效电路压电式传感器的等效电路 9.3.1 压电元件的等效电路压电元件的等效电路 压电元件压电元件是压电式传感器的是压电式传感器的敏感元件敏感元件。 当它受到外力作用时，就会在垂直于电轴或垂直当它受到外力作用时，就会在垂直于电轴或垂直 于极化方向的表面上产生电荷，在一个表面上聚集正于极化方向的表面上产生电荷，在一个表面上聚集正 电

22、荷，在另一个表面上聚集等量的负电荷。电荷，在另一个表面上聚集等量的负电荷。 可以把可以把压电式传感器压电式传感器看作一个看作一个静电电容器静电电容器。 第27页/共74页第26页/共74页 电容量电容量: t s t s C r a 0 S电容器极板面积；电容器极板面积； t压电元件厚度压电元件厚度 压电材料的介电常数；压电材料的介电常数； 0真空的介电常数；真空的介电常数； r压电材料的相对介电常数，压电材料的相对介电常数， 随材料不同而变。随材料不同而变。 Ca压电元件的内部电容。压电元件的内部电容。 1.等效电路等效电路 1）电荷源）电荷源 可等效成为一个可等效成为一个电荷电荷 源源和一

23、个和一个电容电容的等效电的等效电 路。路。 第28页/共74页第27页/共74页 电容器上的电压电容器上的电压Ua（开路电压）、电荷（开路电压）、电荷Q与电容与电容 Ca之间存在着以下关系：之间存在着以下关系： a a C Q U 2)电压源电压源 可以等效为一个可以等效为一个电压源电压源 和一个和一个串联电容串联电容表示的表示的 电压等效电路。电压等效电路。 第29页/共74页第28页/共74页 9.3.2 压电传感器的等效电路压电传感器的等效电路 1）测量系统）测量系统 框图框图 第30页/共74页第29页/共74页 2）完整的等效电路）完整的等效电路 Ra为传感器的绝缘电阻；为传感器的绝

24、缘电阻； Ri为前置放大器的输入电阻；为前置放大器的输入电阻； Ca为传感器内部电容为传感器内部电容 Cc为电缆电容；为电缆电容； Ci为前置放大器输入电容为前置放大器输入电容。 第31页/共74页第30页/共74页 灵敏度有两种灵敏度有两种: 电压灵敏度电压灵敏度Ku:单位力的电压单位力的电压; Ku=U/F 电荷灵敏度电荷灵敏度Kq:单位力的电荷单位力的电荷; Kq=Q/F 两种灵敏度的关系两种灵敏度的关系: 3）压电传感器的灵敏度）压电传感器的灵敏度 a C K K Q U 第32页/共74页第31页/共74页 9.4 9.4 测量电路测量电路 1.引言引言 压电器件是一个有源电容器：高

25、内阻、小功率（信号弱）压电器件是一个有源电容器：高内阻、小功率（信号弱） 放大放大 阻抗变换阻抗变换 第33页/共74页第32页/共74页 前置放大器作用前置放大器作用 将传感器的输出高阻抗变换成低阻抗输出将传感器的输出高阻抗变换成低阻抗输出; 起放大传感器微弱信号的作用。起放大传感器微弱信号的作用。 传感器的输出可以是电压信号传感器的输出可以是电压信号(把传感器看作电压把传感器看作电压 发生器发生器)；也可以是电荷信号；也可以是电荷信号(把传感器看作电荷发生把传感器看作电荷发生 器器) 传感器的输出信号应先由低噪声电缆输入高输入传感器的输出信号应先由低噪声电缆输入高输入 阻抗的阻抗的前置放大

26、器前置放大器。 第34页/共74页第33页/共74页 主要区别：主要区别： 使用使用电压放大器电压放大器时，整个测量系统对电缆电容的变化非时，整个测量系统对电缆电容的变化非 常敏感，尤其电缆长度变化更为明显常敏感，尤其电缆长度变化更为明显; 使用使用电荷放大器电荷放大器时，电时，电 缆长度变化的影响可忽略不计。缆长度变化的影响可忽略不计。 前置放大器有两种：前置放大器有两种： 电压放大器电压放大器: : 输出电压与输入电压（传感器的输出电输出电压与输入电压（传感器的输出电 压）成比例，这种电压前置放大器一般称为阻抗变换压）成比例，这种电压前置放大器一般称为阻抗变换 器；器； 电荷放大器电荷放大

27、器: : 输出电压与输入电荷成比例。输出电压与输入电荷成比例。 第35页/共74页第34页/共74页 9.4.1 电压放大器电压放大器 电容器电容器放放电特性：电特性： 电容器两端的电压将按指电容器两端的电压将按指 数规律变化，放电的快慢决定数规律变化，放电的快慢决定 于测量回路的时间常数于测量回路的时间常数 ， 越大，放电越慢；反之，放电越大，放电越慢；反之，放电 就越快。就越快。 第36页/共74页第35页/共74页 可见可见：只有在：只有在测量回路开路测量回路开路情况，也就是传感器情况，也就是传感器 本身的绝缘电阻本身的绝缘电阻Ra无限大的情况，才能使传感器的输无限大的情况，才能使传感器

28、的输 出电压（或电荷）保持不变出电压（或电荷）保持不变; 如果传感器本身的如果传感器本身的绝缘电阻绝缘电阻不是足够大，电荷就不是足够大，电荷就 会通过这个电阻很快漏掉。会通过这个电阻很快漏掉。 传感器与测量仪器连接应考虑传感器与测量仪器连接应考虑: 电缆电容电缆电容; 前置放大器的输入电容和输入电阻前置放大器的输入电容和输入电阻; 第37页/共74页第36页/共74页 等效电阻等效电阻R ： ia ia RR RR R 等效电容等效电容C： ica CCCC Ra:传感器的绝缘电阻；传感器的绝缘电阻； Ri:前置放大器的输入电阻；前置放大器的输入电阻； Ca:传感器内部电容传感器内部电容; C

29、c:电缆电容；电缆电容； Ci:前置放大器输入电容前置放大器输入电容。 第38页/共74页第37页/共74页 前置放大器的输入电压前置放大器的输入电压 为为 sr U RC R IU sr j1 设作用在压电元件上的力为设作用在压电元件上的力为F，其幅值为，其幅值为Fm，频，频 率为率为 。即。即 在力在力F的作用下，产生的电荷的作用下，产生的电荷Q为为 Q=dF 第39页/共74页第38页/共74页 tCosdF t Q i m d d 写成复数形式写成复数形式 FdI j RC R FdU sr j1 j 前置放大器的输入电压的幅值前置放大器的输入电压的幅值Uim 22 )()(1 ica

30、 m im CCCR RdF U 第40页/共74页第39页/共74页 输入电压与作用力之间的相位差用输入电压与作用力之间的相位差用 为为 RCCC ica )(arctan 2 理想情况下，传感器的绝缘电阻理想情况下，传感器的绝缘电阻Ra和前置放大器和前置放大器 的输入电阻的输入电阻Ri都为无限大，即等效电阻都为无限大，即等效电阻R为无限大的为无限大的 情况，电荷没有泄漏（即传感器的开路电压）情况，电荷没有泄漏（即传感器的开路电压） 。 前置放大器输入电压的幅值前置放大器输入电压的幅值Uam ica am CCC dF U 它与输入电压它与输入电压Uim之幅值之幅值 比比 22 )()(1

31、)( ica ica am im CCCR CCCR U U 第41页/共74页第40页/共74页 令令 1 )( 1 1 ica CCCR 为测量回路的时间常数为测量回路的时间常数 )( ica CCCR 即有：即有： 22 1 1 1 1 1 1 am im U U )arctan( 2 arctan 2 1 第42页/共74页第41页/共74页 电压幅值比和相角与频率比的关系电压幅值比和相角与频率比的关系 当作用在压电元件上的力是当作用在压电元件上的力是静态力静态力（ =0）时，前置放）时，前置放 大器的输入电压等于零。大器的输入电压等于零。 当当 1时，作用力的变化频率与测量回路的时间

32、常数的时，作用力的变化频率与测量回路的时间常数的 乘积乘积远大于远大于1时，前置放大器的输入电压时，前置放大器的输入电压Uim随频率的变化不大。随频率的变化不大。 当当 3时，可近似看作输入电压与作用力的频率无关。时，可近似看作输入电压与作用力的频率无关。 第43页/共74页第42页/共74页 说明：说明： 在测量回路的时间常数一定的情况下，压电式传在测量回路的时间常数一定的情况下，压电式传 感器的高频响应是相当好的。感器的高频响应是相当好的。 但应当指出但应当指出:不能靠增加测量回路的电容量来不能靠增加测量回路的电容量来 提高时间常数提高时间常数(传感器的电压灵敏度是与电容成反比传感器的电压

33、灵敏度是与电容成反比)。 2 2 33 )( )( 1 ica m im U CCC R d F U K 增加测量回路的电容量必然会使传感器的灵敏度增加测量回路的电容量必然会使传感器的灵敏度 下降。下降。 第44页/共74页第43页/共74页 可行的办法可行的办法:提高测量回路的电阻。提高测量回路的电阻。 传感器本身的绝缘电阻一般很大，测量回路的电传感器本身的绝缘电阻一般很大，测量回路的电 阻主要取决于前置放大器的输入电阻。阻主要取决于前置放大器的输入电阻。 放大器的输入电阻越大，测量回路的时间常数就放大器的输入电阻越大，测量回路的时间常数就 越大，传感器的低频响应也就越好。越大，传感器的低频

34、响应也就越好。 提高提高前置前置放大器输入电阻放大器输入电阻采取的方法：采取的方法：采用场效应管。采用场效应管。 压电式传感器在与阻抗变换器配合使用时，连接压电式传感器在与阻抗变换器配合使用时，连接 电缆不能太长。电缆长，电缆电容电缆不能太长。电缆长，电缆电容Cc就大，电缆电容就大，电缆电容 增大必然使传感器的电压灵敏度降低。增大必然使传感器的电压灵敏度降低。 解决电缆问题的方法解决电缆问题的方法: 将超小型放大器装入传感器之中，组成一体化传感器将超小型放大器装入传感器之中，组成一体化传感器。 第45页/共74页第44页/共74页 第46页/共74页第45页/共74页 9.4.2 电荷放大器电

35、荷放大器 电荷放大器能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电荷放大器能将高内阻的电荷源转换为低内阻的 电压源，且输出电源正比于输入电荷。电压源，且输出电源正比于输入电荷。 一般电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其一般电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其 输入阻抗高达输入阻抗高达10101012， 而输出阻抗小于而输出阻抗小于100。 使用电荷放大器优点使用电荷放大器优点：在一定条件下，传感器的：在一定条件下，传感器的 灵敏度与电缆长度无关。灵敏度与电缆长度无关。 工作原理工作原理 电荷放大器是一个具电荷放大器是一个具 有深度电容负反馈的高增有深度电容负反馈的高增 益放大器。益放大器。 K:放大器

36、的开环增益放大器的开环增益 第47页/共74页第46页/共74页 电荷放大器的输入级采用了场效应晶体管，因此放电荷放大器的输入级采用了场效应晶体管，因此放 大器的输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，电大器的输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，电 荷荷Q只对反馈电容只对反馈电容Cf充电，充电电压接近等于放大器的充电，充电电压接近等于放大器的 输出电压输出电压: f csc C Q UU f Usc放大器输出电压；放大器输出电压； Ucf反馈电容两端的电压。反馈电容两端的电压。 电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电 容有关，而与放大器的放大系

37、数的变化或电缆电容等容有关，而与放大器的放大系数的变化或电缆电容等 均无关系均无关系 。 第48页/共74页第47页/共74页 只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷 量量Q变化成线性关系的输出电压。反馈电容变化成线性关系的输出电压。反馈电容Cf小，输小，输 出就大，因此要达到一定的输出灵敏度要求，必须选出就大，因此要达到一定的输出灵敏度要求，必须选 择适当容量的反馈电容。择适当容量的反馈电容。 电荷放大器电荷放大器输出输出电压公式电压公式: 由由“虚地虚地”原理可知，原理可知， 反馈电容反馈电容Cf折合到放大器输折合到放大器输 入端的有效电容入端

38、的有效电容Cf为为 ff CKC)1 ( 第49页/共74页第48页/共74页 压电元件产生的电荷压电元件产生的电荷 Q不仅对反馈电容充电，同不仅对反馈电容充电，同 时也对其它所有电容充电。时也对其它所有电容充电。 放大器的输出电压放大器的输出电压 fica sc CKCCC KQ U )1 ( 可见可见：输出电压是与电缆电容有关的。只有在放大：输出电压是与电缆电容有关的。只有在放大 器的开环增益器的开环增益K足够高，并满足以下条件：足够高，并满足以下条件： )()1 ( icaf CCCCK 放大器的输出电压为放大器的输出电压为 f sc C Q U 一般在反馈电容的两端并联一个大电阻一般在

39、反馈电容的两端并联一个大电阻Rf(约约108 1010 )，其功能是提供直流反馈，减小零漂，使电荷，其功能是提供直流反馈，减小零漂，使电荷 放大器工作稳定。放大器工作稳定。 第50页/共74页第49页/共74页 fica sc CKCCC KQ U )1 ( 第51页/共74页第50页/共74页 第52页/共74页第51页/共74页 9.5 压电式传感器压电式传感器 压电元件直接成为力压电元件直接成为力电转换元件是很自然的。电转换元件是很自然的。 关键是选择合适的压电材料、变形方式、机械上串关键是选择合适的压电材料、变形方式、机械上串 联或并联的晶片数、晶片的几何尺寸和合理的传力联或并联的晶片

40、数、晶片的几何尺寸和合理的传力 结构。结构。 压电元件的压电元件的变形方式变形方式以利用以利用纵向压电效应纵向压电效应的的 TE方式为最简便。方式为最简便。 压电材料的选择决定压电材料的选择决定:所测力的量值大小、对测所测力的量值大小、对测 量误差提出的要求、工作环境温度等各种因素。量误差提出的要求、工作环境温度等各种因素。 第53页/共74页第52页/共74页 晶片数目晶片数目:通常使用通常使用机械串联而电气并联机械串联而电气并联的两片。的两片。 晶片机械串联的数目增加会导致传感器抗侧向干扰晶片机械串联的数目增加会导致传感器抗侧向干扰 能力的降低能力的降低; 晶片晶片机械上并联的片数增加会导

41、致传感器加工精度机械上并联的片数增加会导致传感器加工精度 过高过高 。 第54页/共74页第53页/共74页 晶体片为晶体片为X切割石英晶片，尺寸为切割石英晶片，尺寸为 81mm ， 上盖为传力元件，其变形壁的厚度为上盖为传力元件，其变形壁的厚度为 0.10.5mm,由测力范围（由测力范围（Fmax=500Kg） 决定。绝缘套用来决定。绝缘套用来绝缘和定位。绝缘和定位。基座内外底基座内外底 面对其中心线的垂直度、上盖及晶片、电极面对其中心线的垂直度、上盖及晶片、电极 的上下底面的平行度与表面光洁度都有极严格的要求。否则会使横向灵敏的上下底面的平行度与表面光洁度都有极严格的要求。否则会使横向灵敏

42、 度增加或使片子因应力集中而过早破坏。度增加或使片子因应力集中而过早破坏。 提高绝缘阻抗，传感器装配前要经过多次净化（包括超声波清洗），然后提高绝缘阻抗，传感器装配前要经过多次净化（包括超声波清洗），然后 在超净工作环境下进行装配，加盖之后用电子束封焊。在超净工作环境下进行装配，加盖之后用电子束封焊。 接触面不可能绝对平坦，需要施加预紧力，保证全面均匀接触。接触面不可能绝对平坦，需要施加预紧力，保证全面均匀接触。 1.压电式压力传感器压电式压力传感器 YDS781型单向压电式测型单向压电式测 力传感器的结构图。力传感器的结构图。 第55页/共74页第54页/共74页 2.压电式压力传感器压电式

43、压力传感器 1）结构特点：）结构特点： 2）温度补偿方法：）温度补偿方法： 3）加速度补偿原理）加速度补偿原理 (膜片式膜片式) 第56页/共74页第55页/共74页 第57页/共74页第56页/共74页 补偿方法补偿方法 采用温度补偿金属块，选用采用温度补偿金属块，选用 温度系数与膜片及壳体相反温度系数与膜片及壳体相反 的金属块。的金属块。 第58页/共74页第57页/共74页 第59页/共74页第58页/共74页 3.压电式加速度传感器压电式加速度传感器 引言：引言： 加速度测量方法及传感器分类：绝对式、相对式加速度测量方法及传感器分类：绝对式、相对式 (惯性式惯性式) 惯性式惯性式: 牵

44、连运动牵连运动 相对运动相对运动 1)结构原理结构原理 (压缩式压电加速度传感器压缩式压电加速度传感器) 第60页/共74页第59页/共74页 2）结构特点）结构特点 基座：加厚基座或选用刚度较大的材料；基座：加厚基座或选用刚度较大的材料； 质量块质量块m：具有一定的重量，以便提高传感器的灵敏：具有一定的重量，以便提高传感器的灵敏 度；度； 引线：直接焊接在晶体表面的金属片上，一般采用镀引线：直接焊接在晶体表面的金属片上，一般采用镀 银电板；银电板； 预加载荷：由硬弹簧、螺栓、螺母对质量块预加载荷。预加载荷：由硬弹簧、螺栓、螺母对质量块预加载荷。 第61页/共74页第60页/共74页 3）传递

45、函数）传递函数 有有：)( )( )()( 2 2 2 2 tky dt tdy c dt tyd dt txd m m k n （1） 引入引入： mk c 2 第62页/共74页第61页/共74页 被测加速度为被测加速度为 )( )( 2 2 ta dt txd 则式（则式（1）可写成：）可写成： aty dt tdy dt tyd nn )( )( 2 )( 2 2 2 2 2 11 () 1 ()2 n nn H j j 2222 2 )(4)(1 11 )( nn n a A 第63页/共74页第62页/共74页 2 )(1 2 )( n n a arctg 结论结论：上限频率取决于

46、传感器的机械特性；：上限频率取决于传感器的机械特性； 下限频率取决于测量电路的时间常数下限频率取决于测量电路的时间常数。 2222 2 )(4)(1 1 )( nn an A 第64页/共74页第63页/共74页 产生的原因产生的原因 （1） 压电材料性能的不均匀、压电压电材料性能的不均匀、压电 片表面粗糙或两个表面不平行、压片表面粗糙或两个表面不平行、压 电片表面有杂质或接触不良；电片表面有杂质或接触不良； （2） 晶体片切割或极化方向有偏差；晶体片切割或极化方向有偏差； （3） 传感器基座上下两端互相不平传感器基座上下两端互相不平 行；行； （4） 基座平面与主轴方向互不垂直，基座平面与主

47、轴方向互不垂直， 基座平面不平；基座平面不平； （5） 质量块或压紧螺母加工精度不质量块或压紧螺母加工精度不 紧；紧； （6） 传感器装配质量不好，结构不传感器装配质量不好，结构不 对称。对称。 第65页/共74页第64页/共74页 ： 9.6 9.6 引起压电式传感器测量误差的因素引起压电式传感器测量误差的因素 9.6.1 环境温度的影响环境温度的影响 周围环境温度的变化对压电材料的压电常数和介电常周围环境温度的变化对压电材料的压电常数和介电常 数的影响最大，它将造成传感器灵敏度发生变化。数的影响最大，它将造成传感器灵敏度发生变化。 1）石英晶体）石英晶体 石英晶体对温度并不敏感，在常温范围

48、甚至温度高至石英晶体对温度并不敏感，在常温范围甚至温度高至 200，石英的压电常数和介电常数几乎不变，在，石英的压电常数和介电常数几乎不变，在200 400范围内变化也不大。范围内变化也不大。 2）压电陶瓷）压电陶瓷 人工极化的压电陶瓷受温度的影响比石英要大得多，人工极化的压电陶瓷受温度的影响比石英要大得多， 压电常数和介电常数随温度变化的趋势大体上如图所示。压电常数和介电常数随温度变化的趋势大体上如图所示。 第66页/共74页第65页/共74页 为了提高压电陶瓷的温度稳定性和长时间温度稳为了提高压电陶瓷的温度稳定性和长时间温度稳 定性，一般应进行定性，一般应进行人工老化处理人工老化处理。 人

49、工老化处理人工老化处理: 将压电陶瓷置于温度箱内反复加将压电陶瓷置于温度箱内反复加 温和降温，连续做一个星期，加温和降温的周期为二温和降温，连续做一个星期，加温和降温的周期为二 小时。小时。 第67页/共74页第66页/共74页 压电陶瓷经人工老化后处理后，虽然在正常使用压电陶瓷经人工老化后处理后，虽然在正常使用 稳定环境中性能比较稳定，但在高温环境中使用时，稳定环境中性能比较稳定，但在高温环境中使用时， 压电常数和介电常数仍会发生变化。压电常数和介电常数仍会发生变化。 普通的压电式传感器的工作温度总是有限的，这普通的压电式传感器的工作温度总是有限的，这 主要是受压电材料、电子线路元件和电缆耐

50、温限制。主要是受压电材料、电子线路元件和电缆耐温限制。 压电材料的电阻率是随着温度的增加按指数规律压电材料的电阻率是随着温度的增加按指数规律 减小的。减小的。 传感器的连接电缆也是一个至关重要的部件。普传感器的连接电缆也是一个至关重要的部件。普 通电缆是不能耐通电缆是不能耐700以上高温的。以上高温的。 电缆两端必须气密焊封，以防止潮气侵入到无机电缆两端必须气密焊封，以防止潮气侵入到无机 绝缘材料中使绝缘电阻减低。绝缘材料中使绝缘电阻减低。 第68页/共74页第67页/共74页 9.6.2 环境湿度的影响环境湿度的影响 环境湿度对压电式传感器性能影响很大。如传感环境湿度对压电式传感器性能影响很

51、大。如传感 器长期在高湿环境下工作，传感器的绝缘电阻（泄漏器长期在高湿环境下工作，传感器的绝缘电阻（泄漏 电阻）将会减小，以致使传感器的低频响应变坏。电阻）将会减小，以致使传感器的低频响应变坏。 要选用绝缘性能良好的绝缘材料，如聚氯乙烯、要选用绝缘性能良好的绝缘材料，如聚氯乙烯、 聚苯乙烯、陶瓷等聚苯乙烯、陶瓷等。 零件表面的光洁度要高零件表面的光洁度要高。 对一些长期在潮湿环境或水下工作的传感器，应对一些长期在潮湿环境或水下工作的传感器，应 采取防潮密封措施，在容易漏气或进水的输出引线接采取防潮密封措施，在容易漏气或进水的输出引线接 头处用特殊材料加以密封。头处用特殊材料加以密封。 第69页/共74页第68页/共74页 9.6.3 电缆噪声电缆噪声 压电式传感器的信号电缆一般采用小型同轴导压电式传感器的信号电缆一般采用小型同轴导 线，这种电缆很柔软，具有良好的挠性。线，这种电缆很柔软，具有良好的挠性。 电缆噪声完全是由电缆自身产生的。普通的同轴电电缆噪声完全是由电缆自身产生的。普通的同轴电 缆是由聚乙烯或聚四氟乙烯作绝缘保护层的多股绞线缆是由聚乙烯或聚四氟乙烯作绝缘保护层的多股绞线 组成。组成。 为了减少这种噪声，除选用特制的低噪声电缆。为了减少这种噪声，