真空镀膜技术的物理PPT学习教案

1、会计学1 真空镀膜技术的物理真空镀膜技术的物理 第1页/共70页 第2页/共70页 第3页/共70页 第4页/共70页 第5页/共70页 第6页/共70页 第7页/共70页 zyx zyx dcdcdc kT cccm kT m N dN 2 exp 2 222 3 2 dcc kT mc kT m N dN 2 2 3 2 2 exp 2 4 第8页/共70页 cnz 2 2 S-1 m kT c 8 20，1atm，air =4.63109 s-1 z 第9页/共70页 iii cnz 2 )( 4 1 s-1 m eU ci 2 i cU 第10页/共70页 ee cnz 2 4 1 e

2、 e m eU c 2 e c 第11页/共70页 p kT nz c 22 22 1 K i i i i n m m 1 211 1 ) 2 (1 1 第12页/共70页 2 41 22 p kT nz c i i i 24 44 22 p kT nz c e e e 第13页/共70页 )exp()( 0 x N N xP )exp()( 0i i i x N N xP )exp()( 0e e e x N N xP 第14页/共70页 mkT p cn 24 1 m kT c n V 24 1 mM ddpcos 1 第15页/共70页 cos 2 r ds d 第16页/共70页 第1

3、7页/共70页 第18页/共70页 第19页/共70页 第20页/共70页 第21页/共70页 第22页/共70页 第23页/共70页 第24页/共70页 第25页/共70页 第26页/共70页 第27页/共70页 第28页/共70页 第29页/共70页 第30页/共70页 第31页/共70页 第32页/共70页 第33页/共70页 第34页/共70页 第35页/共70页 第36页/共70页 第37页/共70页 第38页/共70页 fssf EEEw fs E f E s E 第39页/共70页 第40页/共70页 第41页/共70页 第42页/共70页 第43页/共70页 第44页/共70页

4、 第45页/共70页 分类 Classification 条件 Condition 附着碰撞 Attachment collision e + A A 慢电子 激发碰撞 Excitation collision e + A A* + e 激发电位 E voltage Ue 电离碰撞 Ionization collision e + A A+ + 2e 电离电位 I voltage Ui 复合碰撞 Recombination collision e + A+ A A + A+ 2A 空间复合Recombination in space 表面复合 Recombination on surface 第46页/共70页 第47页/共70页 第48页/共70页 第49页/共70页 第50页/共70页 第51页/共70页 第52页/共70页 )(PdfU s 第53页/共70页 第54页/共70页 第55页/共70页 第56页/共70页 第57页/共70页 第58页/共70页 第59页/共70页 第60页/共70页 第61页/共70页 第62页/共70页 第63页/共70页 第64页/共70