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1、会计学1洁净室环境控制与检测方法洁净室环境控制与检测方法2007-5-82第1页/共31页2007-5-83第2页/共31页2007-5-84第3页/共31页2007-5-85第4页/共31页2007-5-86第5页/共31页2007-5-87第6页/共31页2007-5-88洁净级别洁净级别尘粒最大允许数尘粒最大允许数/立方米立方米 微生物最大允许数微生物最大允许数 0.5um 5um 浮游菌浮游菌/立立方米方米 沉降菌沉降菌/皿皿 1003,50005110000350,000 2,00010031000003,500,000 20,0005001030000010,500,000 60,

2、000100015第7页/共31页2007-5-89第8页/共31页2007-5-810第9页/共31页2007-5-811第10页/共31页2007-5-812第11页/共31页2007-5-813第12页/共31页2007-5-814第13页/共31页第14页/共31页2007-5-816第15页/共31页2007-5-817第16页/共31页2007-5-818第17页/共31页2007-5-819第18页/共31页2007-5-820第19页/共31页2007-5-821第20页/共31页2007-5-822第21页/共31页2007-5-823面积面积/m2 洁净度级别洁净度级别 1

3、00 10000 10000010 2至至322104222082240164210040103第22页/共31页2007-5-824洁净度级别洁净度级别所所90mm需培养皿数需培养皿数（以沉降（以沉降0.5小时计）小时计）100141000021000002第23页/共31页2007-5-825第24页/共31页2007-5-826空气洁净度级别 悬浮粒子 浮游菌面积采样点数面积采样点数1004682344682348m2以上每增加2m2增加1个采样点100009141923419334723419m2以上每增加5m2增加1个悬浮粒子采样点47m2以上每增加14m2增加1个浮游菌采样点10000030456023412018024023460m2以上每增加15m2增加1个悬浮粒子采样点240m2以上每增加60m2增加1个浮游菌采样点第25页/共31页2007-5-827第26页/共31页2007-5-828第27页/共31页2007

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