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文档简介
1、刻蚀三级安全培训教材目录一、工艺流程二、车间危险因素分析三、消防安全知识四、安全色五、事故案例一、工艺流程一、工艺流程一、电池生产线工艺流程前清洗(制绒)扩散退火后清洗(刻边/去PSG)烧结测试分档PECVD SiNx 丝网印刷二、车间危险因素分析二、车间危险因素分析 化学品 高温 机械 电击 产品碎片危险因素危险因素化学品特性标志化学品特性标志车间主要危险化学品种类车间化学品种类车间化学品种类种类123456789液体化学品氢氧化钾氢氧化钠盐酸氢氟酸硝酸硫酸三氯氧磷无水乙醇双氧水KOHNaOHHClHFHNO3H2SO4POCl3C2H5O2H2O2 重金属银浆铝浆AGAL气体氮气氧气硅烷氨
2、气N2 O2 SiH4NH3安全处理化学品储存安全处理化学品储存 不应在工作地点超额超额存放化学品,要尽量存放于危险仓内;不可直接暴晒暴晒化学品,应存放于阴凉通风阴凉通风处;切勿把不相容不相容的物品一起存放。化学物质进入人体的途径化学物质进入人体的途径眼睛接触鼻、腔吸入注射及伤口渗入皮肤渗透吸入: 1.抢救前先做好自身的防护措施以确保自己的安全。如穿戴适当防护装束。 2.将患者移至新鲜空气处,立即拨打电话求救。 3.若呼吸困难或停止由受过训练的人员给予氧气或人工呼吸。 4.立即请医并告知医疗人员曾接触此物质。皮肤接触: 1. 尽快用柔软纸或棉花等擦去毒物,继之用3%碳酸氢钠液浸泡。然后水彻底冲
3、洗并脱掉受污染的衣物,包括污染鞋、衣。 2. 立即送医。应急措施应急措施眼睛接触眼睛接触: : 1.用大量清水缓慢沖洗至少15分钟以上,并不时撑开眼皮冲洗。2.隐形眼镜必先除去或用水冲出来。3.立即送医。 食入食入: : 1. 若神智清楚,用水漱口。2. 喝牛奶、蛋清和水,以稀释化学品。3. 勿催吐。4. 若呼吸困难由受过训练的人员给予氧气5.立即送医。安全防护标志安全防护标志劳保用品认知和穿戴标准劳保用品认知和穿戴标准全面型防毒面具防化服(C级)防酸碱手套防化靴防护面具防毒面具戴全面型防毒面具和防毒面具,需要把上下各2根松紧拉紧安全处理化学品个人习惯安全处理化学品个人习惯清洗工序清洗工序VM
4、B图图危险区域危险区域:清洗VMB(集中供液)危险因素危险因素:危险化学品泄漏危险类别危险类别:危险化学品预防措施:预防措施:不得倚靠化学品VMB,只有厂务人员或专业人员才允许打开柜门应急处理应急处理:如发现窗门内有泄漏,应立即联系设备或厂务处理。大量泄漏需紧急疏散人员到车间外通风处,立即联系厂务人员停止设备并进行泄漏处理。车间化学品危险区域车间化学品危险区域危险区域:危险区域:PECVD工序特气柜工序特气柜危险因素危险因素:厂务特气柜危险类别危险类别:易燃易爆预防措施:预防措施:不要在VMB附近逗留或倚 靠,更不允许私自打开柜子应急处理应急处理:发生SiH4泄漏时,及时疏散车间员工,设备人员
5、及时将按下设备电气急停按钮,如发生NH3泄露及时疏散产线员工厂务特气柜厂务特气柜化学品排废管路图化学品排废管路图危险区域:危险区域:化学品排废管路危险因素危险因素:化学品泄漏危险类别危险类别:危险化学品预防措施:预防措施:不得踩踏管路、坐在管路上,打扫地面卫生时要避免用拖把撞击管路,在管路上做好相应的危险标识。应急处理应急处理:如发现管路旁边有不明液体,不得擅自处理,立即联系设备人员,由设备人员处理。酸碱排风管道图酸碱排风管道图危险区域:酸碱使用区域危险区域:酸碱使用区域危险因素危险因素:携带酸碱化学品气体泄漏危险类别危险类别:危险化学品预防措施:预防措施:厂务排风异常停止时设备会报警,定期检
6、查酸碱排风监测传感器。应急处理应急处理:如有酸雾(冒黄烟),立即停止工作,按下设备急停按钮,紧急疏散到车间外通风处,立即联系厂务人员检修。 清洗间加化学品图清洗间加化学品图危险区域:危险区域:石英舟、石墨舟清洗间危险因素危险因素:槽内有氢氟酸(HF)、盐酸(HCL)危险类别危险类别:危险化学品预防措施:预防措施:严格按SOP操作,操作时必须正确穿戴防护用品,具有相关资质的人员才能操作。生产时禁止打开窗门应急处理应急处理:如不慎接触到槽内液体,立即用流动清水冲洗至少10分钟,感到不适立即就医。扩散炉气源柜图扩散炉气源柜图危险区域:危险区域:扩散炉三氯氧磷装置柜危险因素危险因素:有剧毒危险类别危险
7、类别:危险化学品预防措施:预防措施:严格按SOP操作,操作时必须正确穿戴防护用品,具有相关资质的人员才能操作。切记千万不能失手把源瓶掉到地上打碎应急处理应急处理:皮肤接触,立即脱去污染的衣着,用大量流动清水冲洗至少10分钟。吸入,迅速脱离现场至空气新鲜处。感到不适立即就医。MSDS (Material Safety Data Sheet)即化学品安全说明书化学品安全说明书,亦可译为化学品安全技术说明书或化学品安全数据说明书。是化学品生产商和进口商用来阐明化学品的理化特性(如PH值,闪点,易燃度,反应活性等)以及对使用者的健康(如致癌,致畸等)可能产生的危害的一份文件。什么是什么是MSDS?MS
8、DS共有十五部分组成共有十五部分组成:第一部分:化学品名称第一部分:化学品名称第二部分:成分第二部分:成分/组成信息组成信息第三部分:危险性概述第三部分:危险性概述 第四部分:急救措施第四部分:急救措施第五部分:消防措施第五部分:消防措施第六部分:泄漏应急处理第六部分:泄漏应急处理第七部分:操作处置与储存第七部分:操作处置与储存第八部分:接触控制第八部分:接触控制/个体防护个体防护第九部分:理化特性回目录第九部分:理化特性回目录 第十部分:稳定性和反应活性第十部分:稳定性和反应活性 第第第十一部分:毒理学资料第十一部分:毒理学资料 第十二部分:生态学资料第十二部分:生态学资料第十三部分:废弃处
9、置第十三部分:废弃处置 第十四部分:运输信息第十四部分:运输信息 第十五部分:法规信息第十五部分:法规信息 只要有化学品的区域就会张贴有相应的只要有化学品的区域就会张贴有相应的MSDS高温区域为以下工序高温区域为以下工序1. 扩散工序 8002. 退火工序 8003. PECVD工序 8004. 丝网工序 2005. 烧结设备 9006. 包装机 200高温伤害高温伤害危险因素危险因素:上料腔内刚从炉管出来的硅片,石英舟,打开的炉门等危险类别危险类别:高温烫伤预防措施:预防措施:正常生产时,上料腔的安全门严禁打开,如需开门请专业人士佩戴高温手套进行处理。应急处理应急处理:如不慎烫伤,伤处立即用
10、清水清洗,并在烫伤处涂抹甲紫溶液,如严重立即就医。机械伤害机械伤害 我们电池车间是自动化程度非常高的车间,从第一道工序到最后一道结束全部是自动化设备,而自动化设备给我带来很多便捷,但是也带来了安全隐患。RENA上料台(下料台上料台(下料台)危险因素危险因素:滚轮传动,滚轮间有间隙危险类别危险类别:机械运动夹伤预防措施:预防措施:设备运行中严禁将手臂、身体压到滚轮上或伸入滚轮间隙中应急处理应急处理:如被夹到手,立即求助按下设备急停,通知设备人员处理。必要时就医FORTIX升降机升降机危险因素危险因素:快速运动碰伤危险类别危险类别:机械夹伤,撞伤预防措施:预防措施:设备运行中禁止打开安全门,更不得
11、将身体或手臂、头部伸入内部应急处理应急处理:如不慎被设备撞伤,应求助立即按下设备急停,通知设备人员,必要时就医FORTIX左右移动电机左右移动电机危险因素危险因素:快速运动碰伤危险类别危险类别:机械夹伤,撞伤预防措施:预防措施:设备运行中禁止打开安全门,更不得将身体或手臂、头部伸入内部应急处理应急处理:如不慎被设备撞伤,应求助立即按下设备急停,通知设备人员,必要时就医FORTIX上下料花篮传动带夹伤上下料花篮传动带夹伤危险因素危险因素:快速运动夹伤危险类别危险类别:机械夹伤、卷伤预防措施:预防措施:严格按上下花篮SOP操作,设备运行中禁止将手臂搭在设备上,不得倚靠或坐设备上应急处理应急处理:如
12、不慎被夹伤,应求助立即按下设备急停,通知设备人员,必要时就医丝印工序丝印工序危险因素危险因素:机械臂前后运动危险类别危险类别:撞伤预防措施:预防措施:设备运行中严禁将手臂、头部伸入至机械臂工作范围内。如需操作,必须将设备开关打至手动状态。禁止两人同时操作同一机台应急处理应急处理:如被撞伤,立即求助按下设备急停,通知设备人员处理。必要时就医。BACCINI loadBACCINI load机械臂机械臂危险因素危险因素:台面快速旋转运动危险类别危险类别:撞伤、夹伤预防措施:预防措施:设备运行中严禁将身体任何部位伸入旋转台面工作范围内。如需操作,必须将设备开关打至手动状态。禁止两人同时操作同一机台应
13、急处理应急处理:如被撞伤,立即求助按下设备急停,通知设备人员处理。必要时就医。BACCINI BACCINI 旋转印刷台面旋转印刷台面危险因素危险因素: 180水平翻转危险类别危险类别:撞伤、夹伤预防措施:预防措施:设备运行中严禁将手部伸入翻转器工作范围内。如需操作,必须将设备开关打至手动状态。禁止两人同时操作同一机台应急处理应急处理:如被撞伤或夹伤,立即求助按下设备急停,通知设备人员处理。必要时就医。BACCINI BACCINI 翻转器翻转器危险因素危险因素:下料皮带与烧结炉带间有间隙危险类别危险类别:夹伤预防措施:预防措施:不得将手部伸入连接缝隙处应急处理应急处理:如被夹伤,立即求助按下
14、设备急停,通知设备人员处理。必要时就医。BACCINI BACCINI 下料(与烧结炉上料处)下料(与烧结炉上料处)机械手上下运动机械手上下运动危险因素:被机械手压伤危险因素:被机械手压伤危险类别危险类别:机械运动预防措施:在机械手运动时不有将物体(预防措施:在机械手运动时不有将物体(eg.小车)或人在机器内部小车)或人在机器内部应急处理应急处理:在操作机械手的时候有人或物体在下面及时按下handing stop厂务、设备配电柜厂务、设备配电柜危险因素危险因素:内部有电危险类别危险类别:触电预防措施:预防措施:不得倚靠电柜,只有设备人员或专业人员才允许打开电柜应急处理应急处理:如发生触电不可直
15、接接触触电人员,应立即关闭电柜开关断开电源,人员发生休克需立即进行人工呼吸,并就医电击伤害电击伤害危险因素危险因素:清理碎片时碎屑飞溅危险类别危险类别:飞溅物割伤预防措施:预防措施:正确使用吸尘器禁止对准自己或他人,工作时正确穿戴防护面罩应急处理应急处理:如不慎被硅片碎屑割伤,用急用医药箱紧急处理,严重的应就医设备清扫碎片设备清扫碎片产品碎片伤害产品碎片伤害FORTIX设备台面设备台面危险因素危险因素:清理碎片时碎屑飞溅危险类别危险类别:飞溅物预防措施:预防措施:正确使用气枪,气枪吹扫方向禁止对准自己或他人,吹扫时正确穿戴防护面罩应急处理应急处理:如不慎被硅片碎屑割伤,用急用医药箱紧急处理,严
16、重的应就医三、消防安全知识三、消防安全知识p 火灾一般分为A、B、C、D 、 E五类1、A类火灾:指固体物质火灾。这种物质往往具有有机物性质,一般在燃烧时能产生灼热的余烬。如木材、棉、毛、麻、纸张火灾等。 扑灭A类火灾,一般可采用水冷却法,但对于忌水的物质,如布、纸等应尽量减少水渍所造成的损失。对珍贵图书、档案应使用二氧化碳、卤代烷、干粉灭火剂灭火。2、B类火灾:指液体火灾和可熔化的固体火灾 如汽油、煤油、原油、甲醇、乙醇、沥青、石蜡火灾等。 要扑灭B类火灾,首先应切断可燃液体的来源,同将 燃烧区容器内可燃液体排至安全地区,并用水冷却燃烧区可燃液体的容器壁,减慢蒸发速度;及时使用大剂量泡沫灭火
17、剂、干粉灭火剂将液体火灾扑灭。 3、C类火灾:指气体火灾。 如煤气、天然气、甲烷、乙烷、丙烷、氢气火灾等。 扑灭C类火灾,首先应关闭可燃气阀门,防止可燃气发生 爆炸,然后选用干粉、卤代烷、二氧化碳灭火器灭火。4、D类火灾:指金属火灾。 指钾、钠、镁、钛、锆、锂、铝镁合金火灾等 因某些金属如镁、铝燃烧时温度非常高,水及其他普通 灭火剂无效,钠和钾的火灾切忌用水扑救,水与钠、钾起 反应放出大量热和氢,会促进火灾猛烈发展。应用特殊的 灭火剂,如干砂等。类火灾:把手押板压力表喷嘴及握柄保险插销皮管钢瓶本体铭牌灭火器的使用灭火器的使用1.提起灭火器2.拉开安全插销3.握住皮管,朝向火苗5.朝向火源根部喷
18、6.左右移动扫射7.熄灭后保持监控确定熄灭4.按下押板灭火器的使用灭火器的使用危险化学品事故的应急处理危险化学品事故的应急处理一、建立警戒区域一、建立警戒区域 事故发生后,应根据化学品泄漏的扩散情况或火焰辐射热所涉及到的范围建立警戒区,并在通往事故现场的主要干道上实行管制。应注意以下几点: 警戒区域的边界应设警示标志并有专人警戒。除消防及应急处理人员,其他人员禁止进入警戒区。泄漏溢出的化学品为易燃品时,区域内应严禁火种。迅速将警戒区内与事故应急处理无关的人员撤离,以减少不必要的人员伤亡。注意事项:如事故物质有毒时,需要佩戴个体防护用品;应向上风方向转移;明确专人引导和护送疏散人员到安全区;不要
19、在低洼处滞留。要查清是否有人留在污染区与着火区。三、现场急救三、现场急救在事故现场,化学品对人体可能造成的伤害为:中毒、窒息、化学灼伤、烧伤、冻伤等。必须对受伤员人进行紧急救护,减少伤害。对受到化学伤害的人员进行急救时,几项首先要做的紧急处理是:置神志不清的病员于侧位,防止气道梗阻,呼吸困难时给予氧气吸入;呼吸停止时立即进行人工呼吸;心脏停止者立即进行胸外心脏挤压 。四、溢出或泄漏处理四、溢出或泄漏处理1 1)泄漏源控制)泄漏源控制通过关闭有关阀门、停止作业或通过采取改变工艺流程、物料走副线、局部停车、打循环、减负荷运行等方法。容器发生泄漏后,应采取措施修补和堵塞裂口,制止化学品的进一步泄漏,
20、对整个应急处理是非常关键的。2 2)泄漏物处置)泄漏物处置 泄漏被控制后,要及时将现场泄漏物进行覆盖、收容、稀释、处理使泄漏物得到安全可靠的处置,防止二次事故的发生。地面上泄漏物处置主要有以下方法:筑堤堵截或者引流、覆盖、低温冷却、吸收中和、固化法。五、化学品的个体防护:五、化学品的个体防护:呼吸系统防护:设备要有良好的通风,可能接触其烟雾时,佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩)或空气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时,建议佩戴氧气呼吸器。眼睛防护:呼吸系统防护中已作防护或化学安全防护镜。身体防护:穿橡胶耐酸碱服。手防护:戴橡胶耐酸碱手套。六、急救措施六、急救措施 :皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用大量
21、流动清水冲洗至少15分钟。就医。眼睛接触:立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。食入:用水漱口,给饮牛奶或蛋清。就医。四、安全色四、安全色安全色分为红红、蓝蓝、黄黄、绿绿四种颜色。序号颜色含义举例1红色红色禁止停止危险或提示消防设备2蓝色蓝色必须遵守规定的指令3黄色黄色警告注意4绿色绿色提示安全状态通行五、事故案例五、事故案例化学品事故化学品事故过程描述:过程描述: 2011年某车间员工进行三氯氧磷源瓶更换操作,操作时穿戴了C级防护服、PVC手套、防毒面具、防化靴。工艺和设备各有一名人员在一旁进行监督指导。更换源瓶人员左手扶住源瓶出气阀,右手将设备上的气管与源瓶气管进行对接,在连接过程中,由于未松开固定连接气管的螺栓,员工插管用力过大,源瓶石英管断裂。时间为10点29分。操作人员立即通知本工序人员撤离,同时将源瓶装入包装袋内,并将袋口扭紧放入源瓶盒内,盖上源瓶盒盖,完成以上动作后,操作人员撤离现场并关门。10点35分左右,设备工程师赶到现场将已经包裹好的事发源瓶移出车间。10点50分EHS部人员赶到P2车间对事发源瓶加强密封,移交PMC库房进行处理。原因:原因:直接原因
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