柔性非晶硅太阳能电池的制备中期答辩

1、柔性非晶硅柔性非晶硅太阳能电池的制备太阳能电池的制备材科1001 臧冬冬指导教师：冯晓东目录目录v 背景意义背景意义v 制备方法制备方法v 实验部分实验部分v 结果与讨论结果与讨论v 下阶段实验内容下阶段实验内容背景意义背景意义v 非晶硅太阳能电池在室内弱光下也能发电，已被广泛用于非晶硅太阳能电池在室内弱光下也能发电，已被广泛用于钟表，显示牌等不直接接受光照的场合下钟表，显示牌等不直接接受光照的场合下非晶硅荧光灯非晶硅电子表制备方法制备方法研究分析挑选合适的柔性衬底材料研究分析衬底材料的性能，制定相应的电池器件结构在衬底材料上制备铝底电极，优化其工艺参数 分别研究各层非晶硅薄膜的制备工艺磁控溅

2、射镀膜机镀ITO薄膜，为电池前电极基于上述步骤，制备完整电池样品，测试其性能。TCO（ITO）P层层I层层N层层ZnOAl电极电极不锈钢衬底不锈钢衬底实验部分实验部分v 清洗不锈钢基板清洗不锈钢基板实验室所用超声波清洗器无水乙醇去离子水无水乙醇实验部分实验部分v 镀镀Al/ZnO背电极背电极磁控溅射镀膜机放样品抽真空通氩气镀膜实验部分实验部分v PIN层的制备层的制备PEVCD实验部分实验部分v PIN层的制备层的制备 RF-PECVD真空腔室结构图 RF-PECVD泵与阀门A机械泵，B分子泵1、3电磁阀，2旁抽阀，4插板阀，5气体注入总阀，6大气注入阀实验部分实验部分v PIN层的制备层的制

3、备实验所用气体实验所用气体 镀N层：PH3掺杂镀I层：H2，SiH4镀P层：BF3掺杂反应气体：H2，SiH4实验部分实验部分v 镀镀ITO前电极前电极 放样品抽真空通氩气，氧气加射频电源镀膜实验所用氩气，氧气实验部分实验部分v 沉积参数沉积参数序号序号流程流程气体气体流量流量(s)压力（压力（pa)时间（时间（s)功率（功率（w)温度（度）温度（度）1Al电极Ar183.810-11200402002ZnOAr183.810-11200402003N1层PH30.615012030300H280SIH4124I1层H280150180030200SIH4125H2辉光H28015060302

4、006P1层H21201006030200SIH412BF32.47I T O 高阻层Ar183.810-112020200O223.810-1120202008ITO层Ar183.810-12400202009空 气 破真空测试测试部分部分v 太阳光模拟器太阳光模拟器测试电池开路电压，短路电流，电流密度，电池效率，填充因子等各项参数太阳光模拟器结果与讨论结果与讨论v 结果结果电池IV曲线图器件面55mm2结果与讨论结果与讨论v 电池各项参数电池各项参数Voc VIsc（A）Fill FactorEfficiency*100%R at VocR at Isc 0.374926250.00127

5、56931.68900.87180.448007462.893 分析：电池各项参数偏低，特别是短路电流。考虑为PECVD所镀的非晶硅薄膜质量差，缺陷多的原因。下阶段实验内容下阶段实验内容v 经过上一阶段试验，我们了解了柔性非晶硅太阳能电池的经过上一阶段试验，我们了解了柔性非晶硅太阳能电池的制备方法，能够通过实验设备制备出太阳能电池的样品制备方法，能够通过实验设备制备出太阳能电池的样品v 由于制备出的太阳能电池各项参数偏低，所以在下一阶段由于制备出的太阳能电池各项参数偏低，所以在下一阶段实验中，我们将实验中，我们将着重着重通过规范操作步骤，优化工艺参数，通过规范操作步骤，优化工艺参数，制备出各项参数较理想的电池样品。制备出各项参数较理想的电池样品。谢谢欣赏谢谢欣赏基板清洗