电子显微分析技术PPT课件

1、主要要求：主要要求：1)1)掌握透射电镜分析、扫描电镜分析和表面分析技术及其在材料研究领域的应用；掌握透射电镜分析、扫描电镜分析和表面分析技术及其在材料研究领域的应用；2 2）了解电子与物质的交互作用以及电磁透镜分辨率的影响因素；）了解电子与物质的交互作用以及电磁透镜分辨率的影响因素；3 3）了解透射电镜的基本结构和工作原理，掌握电子衍射分析及衍射普标定、薄膜样品）了解透射电镜的基本结构和工作原理，掌握电子衍射分析及衍射普标定、薄膜样品的制备及其透射电子显微分析；的制备及其透射电子显微分析；4 4）了解扫描电镜的基本结构及其工作原理，掌握原子序数衬度、表面形貌衬度及其在）了解扫描电镜的基本结构

2、及其工作原理，掌握原子序数衬度、表面形貌衬度及其在材料领域的应用；了解波谱仪、能谱仪的结构及工作原理，初步掌握电子探针分析技材料领域的应用；了解波谱仪、能谱仪的结构及工作原理，初步掌握电子探针分析技术；术；5 5）对表面成分分析技术有初步了解；）对表面成分分析技术有初步了解；6 6）了解电子显微技术的新进展及实验方法的选择；）了解电子显微技术的新进展及实验方法的选择；参考书：参考书：1 1）常铁军，）常铁军， 祁欣祁欣 主编。主编。材料近代分析测试方法材料近代分析测试方法 哈尔滨工业大学出版社；哈尔滨工业大学出版社；2 2）周玉，武高辉）周玉，武高辉 编著。编著。 材料分析测试技术材料分析测试

3、技术材料材料X X射线与电子显微分析射线与电子显微分析 哈尔哈尔滨工业大学出版社。滨工业大学出版社。19981998版版3 3）黄孝瑛）黄孝瑛 编著。编著。 透射电子显微学透射电子显微学 上海科学技术出版社。上海科学技术出版社。19871987版版4 4）进藤）进藤 大辅，大辅， 及川及川 哲夫哲夫 合著合著. . 材料评价的分析电子显微方法材料评价的分析电子显微方法 冶金工业出版冶金工业出版社。社。20012001年版年版5 5）叶恒强）叶恒强 编著。编著。 材料界面结构与特性材料界面结构与特性 科学出版社，科学出版社，19991999版版第1页/共48页1.1 引言引言 眼睛是人类认识客观

4、世界的第一架眼睛是人类认识客观世界的第一架“光学仪器光学仪器”。但它的能力是有限的，如果两个细小物体。但它的能力是有限的，如果两个细小物体间的距离小于间的距离小于0.1mm0.1mm时，眼睛就无法把它们分开。时，眼睛就无法把它们分开。 光学显微镜的发明为人类认识微观世界提供了重要的工具。随着科学技术的发展，光学显微光学显微镜的发明为人类认识微观世界提供了重要的工具。随着科学技术的发展，光学显微镜因其有限的分辨本领而难以满足许多微观分析的需求。镜因其有限的分辨本领而难以满足许多微观分析的需求。 上世纪上世纪3030年代后，电子显微镜的发明将分辨本领提高到纳米量级，同时也将显微镜的功能由年代后，电

5、子显微镜的发明将分辨本领提高到纳米量级，同时也将显微镜的功能由单一的形貌观察扩展到集形貌观察、晶体结构、成分分析等于一体。人类认识微观世界的能力单一的形貌观察扩展到集形貌观察、晶体结构、成分分析等于一体。人类认识微观世界的能力从此有了长足的发展。从此有了长足的发展。第2页/共48页光学显微镜的分辨率光学显微镜的分辨率 由于光波的波动性，使得由透镜各部分折射到像平由于光波的波动性，使得由透镜各部分折射到像平面上的像点及其周围区域的光波发生相互干涉作用，面上的像点及其周围区域的光波发生相互干涉作用，产生衍射效应。一个理想的物点，经过透镜成像时，产生衍射效应。一个理想的物点，经过透镜成像时，由于衍射

6、效应，在像平面上形成的不再是一个像点，由于衍射效应，在像平面上形成的不再是一个像点，而是一个具有一定尺寸的中央亮斑和周围明暗相间的而是一个具有一定尺寸的中央亮斑和周围明暗相间的圆环所构成的圆环所构成的AiryAiry斑。如图斑。如图1-11-1所示。所示。 测量结果表明测量结果表明AiryAiry斑的强度大约斑的强度大约84%84%集中在中心亮斑集中在中心亮斑上，其余分布在周围的亮环上。由于周围亮环的强度上，其余分布在周围的亮环上。由于周围亮环的强度比较低，一般肉眼不易分辨，只能看到中心亮斑。因比较低，一般肉眼不易分辨，只能看到中心亮斑。因此通常以此通常以AiryAiry斑的第一暗环的半径来衡

7、量其大小。根斑的第一暗环的半径来衡量其大小。根据衍射理论推导，点光源通过透镜产生的据衍射理论推导，点光源通过透镜产生的AiryAiry斑半径斑半径R R0 0的表达式为：的表达式为：MnRsin61. 00（1-11-1）第3页/共48页图图1-1 1-1 两个电光源成像时形成的两个电光源成像时形成的AiryAiry斑斑(a)Airy(a)Airy斑；斑； (b)(b)两个两个AiryAiry斑靠近到刚好能分开的斑靠近到刚好能分开的临界距离是强度的叠加临界距离是强度的叠加第4页/共48页 通常把两个通常把两个AiryAiry斑中心斑中心间距间距等于等于AiryAiry斑半径时，物平斑半径时，物

8、平面上相应的两个物点间距（面上相应的两个物点间距（rr0 0）定义为透镜能分辨）定义为透镜能分辨的最小间距，即透镜分辨率（也称分辨本领）。由式的最小间距，即透镜分辨率（也称分辨本领）。由式1-11-1得：得：MRr00即即sin61. 00nr 对于光学透镜，当对于光学透镜，当n nsinsin做到最大时（做到最大时（n1.5n1.5，70-70-7575），式（），式（1-21-2）简化为：）简化为：20r（1-31-3）（1-21-2）透镜分辨率透镜分辨率第5页/共48页有效放大倍数有效放大倍数 上式说明，光学透镜的分辨本领主要取决于照明源的波上式说明，光学透镜的分辨本领主要取决于照明源的

9、波长。半波长是光学显微镜分辨率的理论极限。可见光的长。半波长是光学显微镜分辨率的理论极限。可见光的最短波长是最短波长是390nm390nm，也就是说光学显微镜的最高分辨率，也就是说光学显微镜的最高分辨率是是200nm200nm。 一般地，人眼的分辨本领是大约一般地，人眼的分辨本领是大约0.2mm0.2mm，光学显微镜的，光学显微镜的最大分辨率大约是最大分辨率大约是0.2m0.2m。把。把0.2m0.2m放大到放大到0.2mm0.2mm让人让人眼能分辨的放大倍数是眼能分辨的放大倍数是10001000倍。这个放大倍数称之为有倍。这个放大倍数称之为有效放大倍数。光学显微镜的分辨率在效放大倍数。光学显

10、微镜的分辨率在0.2m0.2m时，其有效时，其有效放大倍数是放大倍数是10001000倍。倍。 光学显微镜的放大倍数可以做的更高，但是，高出的部光学显微镜的放大倍数可以做的更高，但是，高出的部分对提高分辨率没有贡献，仅仅是让人眼观察更舒服而分对提高分辨率没有贡献，仅仅是让人眼观察更舒服而已。所以光学显微镜的放大倍数一般最高在已。所以光学显微镜的放大倍数一般最高在1000-15001000-1500之间。之间。第6页/共48页如何提高显微镜的分辨率如何提高显微镜的分辨率 根据式（根据式（1-31-3），要想提高显微镜的分辨率，关键是），要想提高显微镜的分辨率，关键是降低照明光源的波长。降低照明光

11、源的波长。 顺着电磁波谱朝短波长方向寻找，紫外光的波长在顺着电磁波谱朝短波长方向寻找，紫外光的波长在13-390nm13-390nm之间，比可见光短多了。但是大多数物质之间，比可见光短多了。但是大多数物质都强烈地吸收紫外光，因此紫外光难以作为照明光源。都强烈地吸收紫外光，因此紫外光难以作为照明光源。 更短的波长是更短的波长是X X射线。但是，迄今为止还没有找到能射线。但是，迄今为止还没有找到能使使X X射线改变方向、发生折射和聚焦成象的物质，也射线改变方向、发生折射和聚焦成象的物质，也就是说还没有就是说还没有X X射线的透镜存在。因此射线的透镜存在。因此X X射线也不能射线也不能作为显微镜的照

12、明光源。作为显微镜的照明光源。 除了电磁波谱外，在物质波中，电子波不仅具有短波除了电磁波谱外，在物质波中，电子波不仅具有短波长，而且存在使之发生折射聚焦的物质。所以电子波长，而且存在使之发生折射聚焦的物质。所以电子波可以作为照明光源，由此形成电子显微镜。可以作为照明光源，由此形成电子显微镜。第7页/共48页 根据德布罗意（根据德布罗意（de Brogliede Broglie）的观点，运动的电子）的观点，运动的电子除了具有粒子性外，还具有波动性。这一点上和可见除了具有粒子性外，还具有波动性。这一点上和可见光相似。电子波的波长取决于电子运动的速度和质量，光相似。电子波的波长取决于电子运动的速度和

13、质量，即即 （1-41-4） 式中，式中，h h为普郎克常数：为普郎克常数：h=6.626h=6.6261010-34-34J.sJ.s；m m为电为电子质量；子质量；v v为电子运动速度，它和加速电压为电子运动速度，它和加速电压U U之间存在之间存在如下关系：如下关系： 即即 （1-51-5） 式中式中e e为电子所带电荷，为电子所带电荷，e=1.6e=1.61010-19-19C C。 将（将（1-51-5）式和（）式和（1-41-4）式整理得：）式整理得： （1-61-6）mvheUmv 221meUv2emUh2电子波波长电子波波长第8页/共48页 如果电子速度较低，其质量和静止质量相

14、近，即如果电子速度较低，其质量和静止质量相近，即mmmm0.0.如果加速电压很高，使电子速度极高，则必须经过相如果加速电压很高，使电子速度极高，则必须经过相对论校正，此时：对论校正，此时：式中式中 c c光速光速 表表1-11-1是根据上式计算出的不同加速电压下电子波的是根据上式计算出的不同加速电压下电子波的波长。波长。 可见光的波长在可见光的波长在390-760nm390-760nm之间，从计算出的电子波之间，从计算出的电子波波长可以看出，在常用的波长可以看出，在常用的100-200kV100-200kV加速电压下，电加速电压下，电子波的波长要比可见光小子波的波长要比可见光小5 5个数量级。

15、个数量级。201cmm（1-71-7）第9页/共48页加速电压加速电压/kV电子波波长电子波波长/nm加速电压加速电压/kV电子波波长电子波波长/nm10038840000601200274500005363002246000048740019480000418500173100000370100012220000025120000859500000142300006981000000087表表 1-1 1-1 不同加速电压下的电子波波长不同加速电压下的电子波波长说明：经相对论校正说明：经相对论校正第10页/共48页电磁透镜电磁透镜 电子波和光波不同，不能通过玻璃透镜会聚成像。但电子波和光波不

16、同，不能通过玻璃透镜会聚成像。但是轴对称的非均匀电场和磁场则可以让电子束折射，是轴对称的非均匀电场和磁场则可以让电子束折射，从而产生电子束的会聚与发散，达到成像的目的。人从而产生电子束的会聚与发散，达到成像的目的。人们把用静电场构成的透镜称之们把用静电场构成的透镜称之“静电透镜静电透镜”；把电磁；把电磁线圈产生的磁场所构成的透镜称之线圈产生的磁场所构成的透镜称之“电磁透镜电磁透镜”。电。电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像的装置就是电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像的装置就是电磁透镜。磁透镜。 电子在磁场中运动，当电子运动方向与磁感应强度方电子在磁场中运动，当电子运动方向与磁感应强度方向不平

17、行时，将产生一个与运动方向垂直的力（洛仑向不平行时，将产生一个与运动方向垂直的力（洛仑兹力）使电子运动方向发生偏转。兹力）使电子运动方向发生偏转。第11页/共48页 图图1-2是一个电磁线圈。是一个电磁线圈。当电子沿线圈轴线运当电子沿线圈轴线运动时，电子运动方向动时，电子运动方向与磁感应强度方向一与磁感应强度方向一致，电子不受力，以致，电子不受力，以直线运动通过线圈；直线运动通过线圈；当电子运动偏离轴线当电子运动偏离轴线时，电子受磁场力的时，电子受磁场力的作用，运动方向发生作用，运动方向发生偏转，最后会聚在轴偏转，最后会聚在轴线上的一点。电子运线上的一点。电子运动的轨迹是一个圆锥动的轨迹是一个

18、圆锥螺旋曲线。螺旋曲线。图图1-2电磁透镜的聚焦原理示意图电磁透镜的聚焦原理示意图第12页/共48页 短线圈磁场中的电子运动显示了电磁透镜聚焦成像的短线圈磁场中的电子运动显示了电磁透镜聚焦成像的基本原理。实际电磁透镜中为了增强磁感应强度，通基本原理。实际电磁透镜中为了增强磁感应强度，通常将线圈置于一个由软磁材料（纯铁或低碳钢）制成常将线圈置于一个由软磁材料（纯铁或低碳钢）制成的具有内环形间隙的壳子里（如图的具有内环形间隙的壳子里（如图1-3）。）。 第13页/共48页 此时线圈的磁力线都集中在壳内，磁感应强度得以加此时线圈的磁力线都集中在壳内，磁感应强度得以加强。狭缝的间隙越小，磁场强度越强，

19、对电子的折射强。狭缝的间隙越小，磁场强度越强，对电子的折射能力越大。为了使线圈内的磁场强度进一步增强，可能力越大。为了使线圈内的磁场强度进一步增强，可以在电磁线圈内加上一对磁性材料的锥形环（如图以在电磁线圈内加上一对磁性材料的锥形环（如图1-41-4所示），这一装置称为极靴。增加极靴后的磁线圈内所示），这一装置称为极靴。增加极靴后的磁线圈内的磁场强度可以有效地集中在狭缝周围几毫米的范围的磁场强度可以有效地集中在狭缝周围几毫米的范围内。内。图图1-4 有极靴电磁透镜有极靴电磁透镜(a)极靴组件分解；极靴组件分解； (b)有极靴电磁透镜剖面；有极靴电磁透镜剖面； (c)三种情况下电磁透镜三种情况下

20、电磁透镜 轴向磁感应强度分布轴向磁感应强度分布第14页/共48页电磁线圈与极靴电磁线圈与极靴第15页/共48页电磁透镜成像电磁透镜成像v光学透镜成像时，物距光学透镜成像时，物距L L1 1、像距、像距L L2 2和焦距和焦距f f三者之间满足三者之间满足如下关系：如下关系：v （1-81-8）v电磁透镜成像时也可以应用式（电磁透镜成像时也可以应用式（1-81-8）。所不同的是，）。所不同的是，光学透镜的焦距是固定不变的，而电磁透镜的焦距是可光学透镜的焦距是固定不变的，而电磁透镜的焦距是可变的。电磁透镜焦距变的。电磁透镜焦距f f常用的近似公式为：常用的近似公式为：v （1-91-9）v式中式中

21、K K是常数，是常数，UrUr是经相对论校正的电子加速电压，是经相对论校正的电子加速电压，（ININ）是电磁透镜的激磁安匝数。）是电磁透镜的激磁安匝数。v由式（由式（1-91-9）可以发现，改变激磁电流可以方便地改变）可以发现，改变激磁电流可以方便地改变电磁透镜的焦距。而且电磁透镜的焦距总是正值，这意电磁透镜的焦距。而且电磁透镜的焦距总是正值，这意味着电磁透镜不存在凹透镜，只是凸透镜。味着电磁透镜不存在凹透镜，只是凸透镜。21111LLf2INUKfr第16页/共48页 按式（按式（1-31-3）最佳的光学透镜分辨率是波长的一半。）最佳的光学透镜分辨率是波长的一半。对于电磁透镜来说，目前还远远

22、没有达到分辨率是波对于电磁透镜来说，目前还远远没有达到分辨率是波长的一半。以日本电子长的一半。以日本电子JEM200FJEM200F场发射透射电镜为例，场发射透射电镜为例，其加速电压是其加速电压是200KV200KV，若分辨率是波长的一半，那么，若分辨率是波长的一半，那么它的分辨率应该是它的分辨率应该是0.00125nm0.00125nm；实际上它的点分辨率；实际上它的点分辨率是是0.19nm0.19nm，与理论分辨率相差约，与理论分辨率相差约150150多倍。多倍。 什么原因导致这样的结果呢？原来电磁透镜也和光学什么原因导致这样的结果呢？原来电磁透镜也和光学透镜一样，除了透镜一样，除了衍射效

23、应衍射效应对分辨率的影响外，还有对分辨率的影响外，还有像像差差对分辨率的影响。由于像差的存在，使得电磁透镜对分辨率的影响。由于像差的存在，使得电磁透镜的分辨率低于理论值。电磁透镜的的分辨率低于理论值。电磁透镜的像差包括球差、像像差包括球差、像散和色差散和色差。电磁透镜的像差及其对分辨率的影响电磁透镜的像差及其对分辨率的影响第17页/共48页一、球差一、球差 球差是因为电磁透镜的中心区域磁场和边缘区域磁场球差是因为电磁透镜的中心区域磁场和边缘区域磁场对入射电子束的折射能力不同而产生的。离开透镜主对入射电子束的折射能力不同而产生的。离开透镜主轴较远的电子（远轴电子）比主轴附近的电子（近轴轴较远的电

24、子（远轴电子）比主轴附近的电子（近轴电子）被折射程度大。电子）被折射程度大。 原来的物点是一个几何点，由于球差的影响现在变成原来的物点是一个几何点，由于球差的影响现在变成了半径为了半径为rrS S的漫散圆斑。我们用的漫散圆斑。我们用rrS S表示球差大小，表示球差大小，计算公式为：计算公式为： （1-101-10）341sSCr 第18页/共48页 式中式中 C Cs s表示球差系数。表示球差系数。v通常，物镜的球差系数值相当于它的焦距大小，通常，物镜的球差系数值相当于它的焦距大小，约为约为1-3mm,1-3mm,为孔径半角。从式（为孔径半角。从式（1 1-10-10）中可以）中可以看出，减小

25、球差可以通过减小球差系数和孔径半看出，减小球差可以通过减小球差系数和孔径半角来实现。角来实现。v球差是像差影响电磁透镜分辨率的主要因素，它球差是像差影响电磁透镜分辨率的主要因素，它还不能象光学透镜那样通过凸透镜、凹透镜的组还不能象光学透镜那样通过凸透镜、凹透镜的组合设计来补偿或矫正。合设计来补偿或矫正。v据说日本电子已经制造了带球差校正器的透射电据说日本电子已经制造了带球差校正器的透射电镜，但一个球差校正器跟一台场发射透射电镜的镜，但一个球差校正器跟一台场发射透射电镜的价格差不多。价格差不多。 第19页/共48页No FringeUn-correctedCorrectedSi (111)3 g

26、rain boundaryTEM Cs Corrector第20页/共48页-Si342200FS + STEM Cs correctorSTEM Cs CorrectorWithout Corrector(Cs:1.0 mm)DFI image第21页/共48页二、像散 像散是由透镜磁场的非像散是由透镜磁场的非旋转对称引起的像差。旋转对称引起的像差。当极靴内孔不圆、上下当极靴内孔不圆、上下极靴的轴线错位、制作极靴的轴线错位、制作极靴的磁性材料的材质极靴的磁性材料的材质不均以及极靴孔周围的不均以及极靴孔周围的局部污染等都会引起透局部污染等都会引起透镜的磁场产生椭圆度。镜的磁场产生椭圆度。 将将

27、R RA A折算到物平面上得到折算到物平面上得到一个半径为一个半径为rrA A的漫散圆的漫散圆斑，用斑，用rrA A表示像散的大表示像散的大小，其计算公式为：小，其计算公式为： （1-111-11）v像散是可以消除的像差，像散是可以消除的像差，可以通过引入一个强度和可以通过引入一个强度和方位可调的矫正磁场来进方位可调的矫正磁场来进行补偿。产生这个矫正磁行补偿。产生这个矫正磁场的装置叫消像散器。场的装置叫消像散器。AAfr第22页/共48页 色差是由于成像电子色差是由于成像电子（入射电子）的能量（入射电子）的能量不同或变化，从而在不同或变化，从而在透镜磁场中运动轨迹透镜磁场中运动轨迹不同以致不能

28、聚焦在不同以致不能聚焦在一点而形成的像差。一点而形成的像差。 最小的散焦斑最小的散焦斑R RC C。同。同样将样将RCRC折算到物平面折算到物平面上，得到半径为上，得到半径为rrC C的圆斑。色差的圆斑。色差rrC C由由下式来确定：下式来确定： （1-121-12）v引起电子能量波动的原因有两个，引起电子能量波动的原因有两个，一是电子加速电压不稳，致使入射一是电子加速电压不稳，致使入射电子能量不同；二是电子束照射试电子能量不同；二是电子束照射试样时和试样相互作用，部分电子产样时和试样相互作用，部分电子产生非弹性散射，致使能量变化。生非弹性散射，致使能量变化。EECrcC三、色差第23页/共4

29、8页式中：式中：CcCc为色散系数为色散系数，EE/E/E为电子束能量变化率。当为电子束能量变化率。当CsCs和孔径半角一定时，电子束能量变化率取决于加和孔径半角一定时，电子束能量变化率取决于加速电压的稳定性和电子穿过样品时发生非弹性散速电压的稳定性和电子穿过样品时发生非弹性散射的程度。样品很薄时，可以忽略后者。射的程度。样品很薄时，可以忽略后者。透镜球差系数、色差系数与激磁电流的关系透镜球差系数、色差系数与激磁电流的关系第24页/共48页衍射效应的分辨率和球差造成的分辨率 比较式（比较式（1-21-2）和（）和（1-101-10），可以发现孔径半角），可以发现孔径半角对衍射对衍射效应的分辨率

30、和球差造成的分辨率的影响是相反的。效应的分辨率和球差造成的分辨率的影响是相反的。 提高孔径半角提高孔径半角可以提高分辨率可以提高分辨率rr0 0，但却大大降低了，但却大大降低了rrS S。因此电镜设计中必须兼顾两者。唯一的办法是让。因此电镜设计中必须兼顾两者。唯一的办法是让rrS S=r=r0 0，考虑到电磁透镜中孔径半角，考虑到电磁透镜中孔径半角很小（很小（1010-2-2- -1010-3 -3 radrad），则），则 （1-131-13） 那么那么rrS S=r=r0 0， 即：即： （1-141-14） 整理得：整理得： （1-151-15） 将上式代入（将上式代入（1-131-13

31、），）， （1-161-16） 根据式（根据式（1-151-15）和（）和（1-161-16），透射电镜孔径半角），透射电镜孔径半角通常通常是是1010-2-2-10-10-3-3radrad；目前最佳的电镜分辨率只能达到；目前最佳的电镜分辨率只能达到0.1nm0.1nm左右。左右。61. 0sin61. 00nr3004161. 0sC41025. 1sC4341049. 0sCr 第25页/共48页景 深 电磁透镜的景深是指当成像时，像电磁透镜的景深是指当成像时，像平面不动（像距不变），在满足成平面不动（像距不变），在满足成像清晰的前提下，物平面沿轴线前像清晰的前提下，物平面沿轴线前后可移

32、动的距离后可移动的距离 当物点位于当物点位于O O处时，电子通过透镜在处时，电子通过透镜在O O处会聚。让像平面位于处会聚。让像平面位于O O处，此时处，此时像平面上是一像点；当物点沿轴线像平面上是一像点；当物点沿轴线渐移到渐移到A A处时，聚焦点则从处时，聚焦点则从O O沿轴线沿轴线移到了移到了A A处，由于像平面固定不动，处，由于像平面固定不动，此时位于此时位于O O处的像平面上逐渐由像处的像平面上逐渐由像点变成一个散焦斑。如果衍射效应点变成一个散焦斑。如果衍射效应是决定电磁透镜分辨率的控制因素，是决定电磁透镜分辨率的控制因素，那么散焦斑半径那么散焦斑半径R R0 0折算到物平面上折算到物

33、平面上的尺寸只要不大于的尺寸只要不大于rr0 0，像平面上，像平面上就能成一幅清晰的像。就能成一幅清晰的像。 轴线上轴线上ABAB两点间的距离就是景深两点间的距离就是景深D Df f。 由图由图1-91-9的几何关系可推导出景深的的几何关系可推导出景深的计算公式为：计算公式为： （1-1-1717）0022rtgrDf第26页/共48页焦长 焦长是指物点固定不变（物距不焦长是指物点固定不变（物距不变），在保持成像清晰的条件下，变），在保持成像清晰的条件下，像平面沿透镜轴线可移动的距离。像平面沿透镜轴线可移动的距离。 当物点位于当物点位于O O处时，电子通过透镜处时，电子通过透镜在在O O处会聚

34、。让像平面位于处会聚。让像平面位于O O处，处，此时像平面上是一像点；当像平此时像平面上是一像点；当像平面沿轴线前后移动时，像平面上面沿轴线前后移动时，像平面上逐渐由像点变成一个散焦斑。只逐渐由像点变成一个散焦斑。只要散焦斑的尺寸不大于要散焦斑的尺寸不大于R R0 0（折算（折算到物平面上的尺寸不大于到物平面上的尺寸不大于rr0 0），），像平面上将是一幅清晰的像。此像平面上将是一幅清晰的像。此时像平面沿轴线前后可移动的距时像平面沿轴线前后可移动的距离为离为D DL L：由图中几何关系得：由图中几何关系得：200002222MrMrtgMrtgRDL第27页/共48页2. 电子与物质的交互作用

35、电子与物质的交互作用 2.1 2.1 散射散射 2.2 2.2 高能电子与样品物质交互高能电子与样品物质交互 作用产生作用产生的电子信息的电子信息第28页/共48页2.1 散射定义：当一束聚焦电子沿一定方向射到样品上时，在定义：当一束聚焦电子沿一定方向射到样品上时，在样品物质原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发样品物质原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生改变，这种现象称为散射。生改变，这种现象称为散射。 弹性散射：电子只改变方向，基本无能量变弹性散射：电子只改变方向，基本无能量变化化分类：分类： 非弹性散射：电子改变方向，能量不同程度非弹性散射：电子改变方向，能量不同程度衰衰 减。减。

36、衰减部分衰减部分 热、光、热、光、X X射线、二次电子射线、二次电子等等 第29页/共48页 图图2-1 2-1 入射电子与原子的交互作用产生的各种信息的示入射电子与原子的交互作用产生的各种信息的示意图意图背散射电子试样吸收电子透射电子X射线阴极发光入射电子二次电子Auger电子第30页/共48页原子核对电子的弹性散射v当入射电子从距离原子核当入射电子从距离原子核r rn n处经过时，由于原子核的处经过时，由于原子核的正电荷正电荷ZeZe的吸引作用，入射电子偏离入射方向（如的吸引作用，入射电子偏离入射方向（如图所示）。根据卢瑟福的经典散射模型，散射角图所示）。根据卢瑟福的经典散射模型，散射角n

37、的的大小取决于瞄准距离大小取决于瞄准距离r rn n 、核电荷数、核电荷数ZeZe和入射电子的和入射电子的能量能量E0.第31页/共48页0ErZnnn原子核的正电荷入射电子的能量瞄准距离散射角)()sin10(1038. 2)(810nxnnefzfv弹性散射是电子衍射和成像的基础，原子对入射电弹性散射是电子衍射和成像的基础，原子对入射电子在子在n角方向的弹性散射振幅是角方向的弹性散射振幅是第32页/共48页原子核对电子的非弹性散射hchEv由于非弹性散射，入射由于非弹性散射，入射不但改变方向，而且能不但改变方向，而且能量有不同程度损失，速量有不同程度损失，速度减慢，损失的能量转度减慢，损失

38、的能量转化为化为X射线。射线。第33页/共48页核外电子对入射电子的非弹性散射 * * 核外电子对入射电子的散射作用是非弹性散射。核外电子对入射电子的散射作用是非弹性散射。散射过程中入射电子的能量损失部分转变为热，部分散射过程中入射电子的能量损失部分转变为热，部分使物质中原子发生电离或形成自由载流子，并伴随着使物质中原子发生电离或形成自由载流子，并伴随着产生各种有用信息，如二次电子、俄歇电子、特征产生各种有用信息，如二次电子、俄歇电子、特征X X射线、特征能量损失电子、阴极发光、电子感生电导射线、特征能量损失电子、阴极发光、电子感生电导等。等。 * *核外电子对入射电子的散射作用是非弹性散射在

39、电核外电子对入射电子的散射作用是非弹性散射在电子衍射及透射电镜成像时，由于引起色差而增加背景子衍射及透射电镜成像时，由于引起色差而增加背景强度及降低图像衬度，是有害的。但这种非弹性散射强度及降低图像衬度，是有害的。但这种非弹性散射中产生的电离、阴极发光及电子云的集体振荡等物理中产生的电离、阴极发光及电子云的集体振荡等物理效应，可以从不同侧面反映样品的形貌、结构及成份效应，可以从不同侧面反映样品的形貌、结构及成份特征，为一系列电子显微分析仪器提供了重要的信息特征，为一系列电子显微分析仪器提供了重要的信息来源。来源。第34页/共48页2.2 高能电子与样品物质交互作用产生的电子信息二次电子二次电子

40、 (SE)(SE) * *当入射电子与原子核外电子发生相互作用时，会使当入射电子与原子核外电子发生相互作用时，会使原子失去电子而变成离子原子失去电子而变成离子- -电离，这个脱离原子的电电离，这个脱离原子的电子称为二次电子。如果被电离出来的二次电子来自原子称为二次电子。如果被电离出来的二次电子来自原子中的价电子，则称为价电子激发；如果被电离出来子中的价电子，则称为价电子激发；如果被电离出来的二次电子来自原子中的内层电子，则称为芯电子激的二次电子来自原子中的内层电子，则称为芯电子激发。发。 入射电子使固体中价电子激发到费米能级以上或游入射电子使固体中价电子激发到费米能级以上或游离时损失的能量较小

41、，而使内层电子激发或游离时损离时损失的能量较小，而使内层电子激发或游离时损失的能量相当大。所以价电子的激发几率远大于内层失的能量相当大。所以价电子的激发几率远大于内层电子的激发几率。电子的激发几率。 * *二次电子的主要特点：二次电子的主要特点： * * * 对样品表面形貌敏感对样品表面形貌敏感 第35页/共48页cos/1SE因为二次电子产额因为二次电子产额SESE与入射电子束相对于样品表面的入与入射电子束相对于样品表面的入射角射角之间存在下列关系：之间存在下列关系：式中：式中：SESE=I=ISESE/I/Ip p （I ISESE为二次电子电流强度为二次电子电流强度，I Ip p为入射束

42、为入射束电流强度）电流强度） 在在IpIp不变的条件下，当样品表面不平时，入射束相对于不变的条件下，当样品表面不平时，入射束相对于样品表面的入射角样品表面的入射角发生变化，使二次电子的强度相应发生变化，使二次电子的强度相应改变，如果用检测器收集样品上方的二次电子并使其形改变，如果用检测器收集样品上方的二次电子并使其形成反映样品上各照射点信息强度的图像，则可将样品表成反映样品上各照射点信息强度的图像，则可将样品表面形貌特征反映出来，形成所谓面形貌特征反映出来，形成所谓“形貌衬度形貌衬度”图像。图像。第36页/共48页第37页/共48页* * * 空间分辨率高空间分辨率高 由于只有在接近表面约由于

43、只有在接近表面约10nm10nm以内的二次电子才能逸出以内的二次电子才能逸出表面，成为可以接收的信号；此时，入射束无明显的侧向表面，成为可以接收的信号；此时，入射束无明显的侧向扩展，因而这种信号反映的是一个与入射束直径相当的、扩展，因而这种信号反映的是一个与入射束直径相当的、很小体积范围内的形貌特征，从而具有很高空间分辨率。很小体积范围内的形貌特征，从而具有很高空间分辨率。目前，扫描电镜中二次电子像的分辨率一般在目前，扫描电镜中二次电子像的分辨率一般在3-6nm3-6nm之间。之间。* * * 信号收集效率高信号收集效率高 二次电子本身能量低，容易受电场的影响，只要在检测二次电子本身能量低，容

44、易受电场的影响，只要在检测器上加器上加5-10kV5-10kV的正电压就可以使样品上方的绝大部分二次的正电压就可以使样品上方的绝大部分二次电子进入检测器。电子进入检测器。各种信息的作用深度各种信息的作用深度 第38页/共48页背散射电子背散射电子 (BE)(BE) 入射电子在样品内遭到散射，改变前进方向，在非入射电子在样品内遭到散射，改变前进方向，在非弹性散射情况下，还会损失一部分能量。在这种弹性弹性散射情况下，还会损失一部分能量。在这种弹性和非弹性散射过程中，有些入射电子累计散射角超过和非弹性散射过程中，有些入射电子累计散射角超过9090，这些电子将重新从样品表面逸出，称为背散，这些电子将重

45、新从样品表面逸出，称为背散射电子。射电子。第39页/共48页背散射电子的特点：背散射电子的特点：* *对样品物质的原子序数敏感对样品物质的原子序数敏感* *分辨率及信号收集率低分辨率及信号收集率低用背散射电子像可以观察未腐蚀试样的抛用背散射电子像可以观察未腐蚀试样的抛光面元素分布或相分布，并可确定元素定光面元素分布或相分布，并可确定元素定性、定量分析点。日本电子公司的电子探性、定量分析点。日本电子公司的电子探针在试样上方安装了二个对称分布的半导针在试样上方安装了二个对称分布的半导体探测器，如图所示，体探测器，如图所示，A A和和B B为二个相同的为二个相同的背散射电子探测器。将背散射电子探测器

46、。将A A和和B B所探测的信号所探测的信号进行电路上的相加或相减处理后，能分别进行电路上的相加或相减处理后，能分别得到试样表面成份信息得到试样表面成份信息(a) (a) 和形貌信息和形貌信息(b)(b)。 这对试样定性、定量分析点的确定这对试样定性、定量分析点的确定及杂质和相组成的观察十分有用。及杂质和相组成的观察十分有用。 有时有时不用腐蚀试样就可以分析和观察试样组成。不用腐蚀试样就可以分析和观察试样组成。现在背散射电子成分像可以区分出平均原现在背散射电子成分像可以区分出平均原子序数相差子序数相差0.10.1以下的二种相。以下的二种相。背散射电子成份像背散射电子成份像和形貌像的分离和形貌像

47、的分离 第40页/共48页MgO+SrTiO3复相陶瓷的二次电子像(a)和背散射电子像（b） （a a） 二次电子像 20002000 （b b）背散射电子像 20002000（a a）和（）和（b b）分别为）分别为MgO+SrTiOMgO+SrTiO3 3复相陶瓷在同一个微区的二次复相陶瓷在同一个微区的二次电子像和背散射电子像，二次电子像形貌很难分辨出电子像和背散射电子像，二次电子像形貌很难分辨出MgOMgO和和SrTiOSrTiO3 3相的亮度差别，而背散射电子像中可以明显的分辩出相的亮度差别，而背散射电子像中可以明显的分辩出MgOMgO相（灰色）和相（灰色）和SrTiOSrTiO3 3

48、相（白色）。相（白色）。 第41页/共48页背散射电子的强度还与试样中的晶面取向及入射电子的入射背散射电子的强度还与试样中的晶面取向及入射电子的入射方向有关。利用这种特性可以观察单晶和大晶体颗粒的生长方向有关。利用这种特性可以观察单晶和大晶体颗粒的生长台阶和生长条纹。生长台阶和生长条纹的高差一般都很小，台阶和生长条纹。生长台阶和生长条纹的高差一般都很小，但背射电子像已有明显衬度。下图（但背射电子像已有明显衬度。下图（a)a)为单晶为单晶Al2O3Al2O3生长生长台阶的背散射电子像。台阶的背散射电子像。 如果用二次电子像观察这类易产生污如果用二次电子像观察这类易产生污染的材料，不但台阶衬度小，

49、而且图像出现许多黑色污染斑。染的材料，不但台阶衬度小，而且图像出现许多黑色污染斑。 -Al2O3生长台阶背散射电子像 -Al2O3生长台阶二次电子像及污斑 第42页/共48页透射电子（透射电子（TE)TE)如果样品很薄，比入射电子的有效穿透深度小很多，就会如果样品很薄，比入射电子的有效穿透深度小很多，就会有相当数量的入射电子穿透样品被装在样品下方的监测器有相当数量的入射电子穿透样品被装在样品下方的监测器接收，叫透射电子。接收，叫透射电子。质厚衬度效应：样品上的不同微区无论是质量还是厚度的质厚衬度效应：样品上的不同微区无论是质量还是厚度的差别，均可引起相应区域透射电子强度的改变，从而在图差别，均可引起相应区域透射电子强度的改变，从而在图像上形成亮暗不同的区域，这一现象称为质厚衬度。利用像上形成亮暗不同的区域，这一现象称为质厚衬度。利用这种效应可以观察复型样品，显示出许多在光学显微镜下这种效应可以观察复型样品，显示出许多在光学显微镜下无法分辨的形貌细节；无法分辨的形貌细节；衍射效应：入射电子束照射到晶体样品上时，会与晶体物衍射效应：入射电子束照射到晶体样品上时，会与晶体物质发生弹性相干散射，使之在一些特定的方向由于相位相质发生弹性相干散射，使之在一些特定的方向由于相位相同而加强，但在其他方向却减弱，这种现象称为