XPS分析元素的含量的方法

1、XPS分析元素的含量的方法X p S数据分析纵坐标:Int e ns i t y (cps)横坐标：b i n d i ng e n e r gy (eV)除了氢氮元素，其他的元素都可以进行分析；先进行宽扫，确定样品有何种元素，再对该元 素进行窄扫.该元素的不同键接方式都对应不同的峰，所以对元素窄扫的峰要进行分峰(分峰 之前要进行调整基线)。如何分峰，不同的械接方式会对应不同的结合能。第一步：先把元素的窄扫峰用origin画出来：纵坐标：I ntensi t y (cps)横坐标:b inding e ne r g y (e V )第二步：调整基线；otrduc Ann"C»

2、;el9«1t To oh FomM Wrdow Malp才 «W*>lAMhemMictMae«cMgeJ4yn>ir«0ic»r»j>no 的欠iw1，?k Ar»»»T»! »l«>t U>d» i 宀22""«1 “eW"i31 fit.MC4dz.4 KKttopta f*ak ftt: <def«Ut>.5 *C9»«te- 'lf&g

3、t;t uxd*gge 氏 m:H . X x z ” a .心 4 Ht xD归(2J N U > 'lot u>e<f»2OuK*rd»tC$v；feniz/:o:ea、yssunooZ5X10*-2 0x10*-1 5X104-I .OxlO4 -3 0x40oo4-525630635Binding Energy (eV>640545选择 Cea te Base I inene xtn e xtadd/modify 添加】(又叉击)或去除(del e t e )基点，保证基线水平F i nish竺 矣 S：日 GE 昌：4曰切3 =旳电

4、叭Eb ： X.X Z » V g §0(Y2>|I A|X1)9ookL*3M Name3 9676543212M222222222M5 M M M M M- M- M- M-,一 23II <00置小化图，会出现调整基线后的坐标。插入一列，单机右键选择s et co I umn v a lues 输入c o I (b) c o I ( d ):即开始纵坐标减去调XPS分析元素的含量的方法整基线后的纵坐标.再用横坐标与刚开始得到的纵坐标作图调整基线后的XPS窄扫图。第三步：对峰求积分面积：35000-30000-25000-20000-15000-10000

5、-5000-0-: MX 二；：* 7选择 i nteg r a te pea k s完成nextfUcakulc Narud v«a Zsbnc. I nd”4Os 血Omm.i&euqksj§0 0ffl乜.T/-cf oaiaJ"：5H：151“le: CM () "le: CM () Sle: CM <)-500040000-Q.»T A A -oa,j 荒刖23BooklIo回画刑列a：a.Pg)®ALOM陶耐inde<AreaA5匕Corrmertsintecfsi Resun c»i Eii

6、nteooi Result ol £1imeQ1179803 304542346678910< > Iklntcgration.Rcsultl 人 呵|>ir即ar e a为峰的面积。第四步：分峰较难（有专门的分峰软件,ori g i n也能分峰） 第五步：求组分元素比：元素比等于：窄扫峰面积/XPS灵敏度因子（每一个元素的灵敏度因子不一致）XPS分析元素的含呈的方法表8原子灵辙度因子裘么7C«ttf. fl本文VGPHI(MgKa)Z元JK本文VGPHIMg KaAlffaMg KaAIKa3456780102112131415161718 鸡2021

7、W u 阳 B 0 N0XeNaMgAlSi P8 Cl ArK a *u u if n it 2p b It b UD2p2p2j> 2p 2p 2p 2p3/2 2p3/2 2p 3/2 2o 3/20.0190.0620.147030.470.721.001.350.120.120.180.270.380.530.700.600760.931.130.017 O.CfW 0.14 0.28 0.47 0.05 0.71 l.CO 1.29 2.660.10 O.1G 0 .別 0,35 0.49 o.ee 0.57 0.72 0.90 1.000.200.200.200.200.4

8、10.611.001.501.090.25O.JO0.170.260.330.460.6(50.85 l.OL1.650.0120.0fi9 o.oas 0.205 0.380.631.00l.M2.510.07 o.n0.170.250.350.A80.420.550.710.90co51525354555657585960(JI62636409FrNdPmSmEnGd34 5/28d 5/23d 5/23d 5/23d 5/234 5/23d 5/2M5/23.78 4.074.374.665.005.335.C46.00l.W10.91.9711.62.1112.42.2512.92 洌

9、2.512.043. TO4.014.314.634. W5.265. M5.891.0510.62.06 1122.2111.82.S&12.52.C318.82.7114.32.8815.24.806.705.W6.030.501.05.836.356.500.643.203.554.004.44.95.5C.l 67 1.2212.51.29 14.01 3815.71.4817.6 i.sr20.323.di1.76 4V« FU0.G32.13V <0.901.091.011.65o.n0.00tu(Id4d3d2.M2.88 lfi.2i .1.762V4&

10、#39;? 31.3T1.331.101.104d2.RJ.G7申8/31.01l.MJ1.201.4065Tb3d 5/39302p8/21.3T183l.Ml.?0&2.933.201.93炉22.152.13l.W2.104d3033.348.032.4?2.111 M3.84d3.153.002.U3.792.712.104.54<13."S“9J9如323.148.033.6S0.44d3.363.T8二.32p3/23.M3.3«4.004.34d3.4T3.942.5* J3.923.734.M5.30443.M4.14J 4,即3/34.18吋

11、2.W2.S63d0.3»O.d40.10V2962.65ial.TS&2pg461».23.331.372.03d0.510.10O.»J2.051.®2.2?1.250.6A0.560.10o.a«3.»2.112.371.40制o.n0.700.10o.<a2."S.35l.W1.55制0.97O.MJ0.100.30仃皿2鮭221.951T53dJ.171 040.10o.n3.112.H92.201.90SJ】朝1250.950.88”23.38B92.402.101.03x.ool.W1.063.65S.122.502.8Q3d1.W175l.CCi.»3.M3.763.50S.55甜6/2i.a)1.311.10O.XT仃T/24.U64.014.002.80站8/21.401.151.004/8.06f.TB3J5/3IM.SG2.041.20巒8.66S.41JW5/3l.ZJX.933.001.339.15S.TOM5/22.142.052.001.3