压电MEMS麦克风简介

1、WeiFang XinGang Electronics Co.,LTDMEMS麦克风工作原理 传统电容式MEMS麦克风是由MEMS微电容传感器（硅片）、微集成转换电路(放大器)、声腔及RF抗噪电路组成。 硅片主要由振膜和背极板上下组成,振膜可直接将接收到的音频信号经电容传感器原理传输给微集成电路, 微集成电路可将传感器原始信号放大,同时经RF抗噪电路滤波,输出电信号完成“声-电”转换过程.输出硅振膜硅极板地RF电路电源MEMS传感器放大器 声源输入转换输出WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麦克风结构示意MEMS传感器ASIC放大器振膜极板WeiFa

2、ng XinGang Electronics Co.,LTD 压电式MEMS麦克风工作原理 压电MEMS麦克风是一种新型MEMS产品，其利用集成在薄膜硅材表面的压电材料进行能量转换。当薄膜受气流压迫时，薄膜进行形变并带动压电材质产生形变，压电材质在物理特性改善时产生电信号进行输出。当薄膜受连续气流压迫时，压力材质 的物理特性也相应改善，与之产生连续的电信号。WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD 压电式MEMS麦克风结构示意压电薄膜压电MEMSASICWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD 压电MEMS麦克风优势压电MEMS无需B

3、ias电压，信号响应速度更快IP6X优秀的防尘能力IPX7优秀的防水能力优秀的气流防护能力良好的SNR可持续进化能力结构简化，单层膜结构，产品具有极高可靠性区别与传统电容式MEMS麦克风，压电MEMS的物理材质特性以及简洁结构，使其具备了以下优点。WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麦克风信号采样对比压电式MEMS麦克风信号输出延迟5uS, 电容式MEMS麦克风信号输出延迟4.5mSWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麦克风防尘对比WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD ME

4、MS麦克风防尘对比Knowles MIC: 测试后灵敏度衰减-8.4dBWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麦克风防尘对比ST MIC: 测试后灵敏度衰减-7.4dBWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麦克风防尘对比Vesper MIC: 测试后灵敏度无衰减WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麦克风防水测试WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麦克风防水测试Knowles MIC:测试后灵敏度严重衰减， Vesper MIC: 测试后灵敏度无衰减WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麦克风气流测试 垂直气流冲击测试1.出风口径针管型号19#2.压力及时间设定气压范围0.3Mpa0.6Mpa，每0.1Mpa递增测试，每次打压0.5s。3.测试距离固定距离0mm,4.重复测试每unit/3cycleVesper MIC: 测试后灵敏度无衰减WeiFang XinGang Electronics Co.,LTDMEMS麦克风SNR研发WeiFang XinGang Elect