RENA开关机及异常处理

1、RENA正常开关机及异常处正常开关机及异常处理理内内 容容 提提 纲纲 开机前的准备工作 开机步骤 关机步骤 开机异常处理 开机前准备工作开机前准备工作 1、 准备好防护用品：耐酸碱手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩、PVC/昵绒手套等。昵绒手套等。 2 、联系系统保障部确认为外围设施水、电、气正常供给，确联系系统保障部确认为外围设施水、电、气正常供给，确 认认外围排风正常。外围排风正常。 3、 打开设备外连的水、电、气阀门。打开设备外连的水、电、气阀门。 4 、确认各化学药品供给正常（确认各化学药品供给正常（HF、HNO3、 HCL、 H2SO4 、NaOH）。）。 5、 检查各槽体，确保

2、槽体清洁无碎片残留，关闭所有门、窗、盖检查各槽体，确保槽体清洁无碎片残留，关闭所有门、窗、盖板防止药液飞溅。板防止药液飞溅。开机步骤开机步骤1、 开启电控柜主电源开关，将电控柜面板上的主电源开关手柄顺时针旋转置于“ON”2、 依次打开电控柜内的所有断路器、电机保护开关。如图 开机步骤3、将冷水机面板上的电源开关手柄顺时针旋转置于“ON”处。4、检查冷水机水位指示，如上右图所示。5、检查并复位机台上的所有急停开关。6、按下电脑主机上的电源按钮，电脑将自动加载启动Wincc操作系统7、按下显示器上的“ON”按扭，等系统进入操作程序后打开，使电器回路得电。 开机步骤开机步骤 开机步骤开机步骤8、软件

3、自动启动并显示如图十一界面，点击login输入用户名及密码。 开机步骤9、点击 “Manual”按钮，在此模式下打开如下界面（如图），手动启动滚轮，检查滚轮运行状态，避免槽盖、风刀、水刀或其他管路压倒滚轮。10、 开机步骤完成，交由工艺。开机步骤完成，交由工艺。 关机步骤关机前停止上料，确认机器内部的硅片已全部流出。1、 登陆操作界面 点击主界面“STOP”键停止设备运行。2、 点击界面上 “Manual”按钮进入手动模式手动操作界面。3、 在手动模式下将逐个排空各槽并清洗 关机步骤4、 以清洗rinse1为例：点击 rinse1，选择mode man,然后按按钮 draining把bath排

4、空,之后再点击filling DI加水, 达到工艺液位后点击start circulation循环两分钟再点击draining排空.其他槽同rinse1。 如下图所示 关机步骤5、 槽体清洗好后，清理各槽内碎片特别是上下料处，装好滚轮，盖好盖板门窗。6、 将设备打到停止模式，点击“MODE OFF”，进入停止模式，点击“Exit”退出软件程序。 关机步骤7、退出程序后关闭电脑8、点击显示器下方“off”按钮，依次断开24V电源开关，关闭PC电源，关闭冷水机电源开关，设备主电控开关。9、依次关闭所有外围动力阀门。10、 关机流程结束 开关机常见异常处理1、显示器不亮，首先排查显示器有无问题，其次排查主机与显示器之间的通讯线路（包括AdderLink是否锁住），再次排查主机内硬盘、内存卡及连接线有无异常，如依次排查完仍无法解决请及时联系工程师。2、电脑开机后操作软件无法打开，必须 调用备份进行软件还原。详见附件3、设备手动运行后，发生泵的干转报警，检查液位是否正常，不够就通知工艺补液。4、溶液补液超时，检查补液气