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文档简介
1、1.目的:为了有效控制静电产生及释放的途径,以减少静电敏感器件被损伤的机会,提升产品品质,满足客户要求。2.适用范围:适用于我司ESD防护区域(如DIP/SMT/组装/IQC/IC仓/单板维修区等)的管控。3.职责:3.1 ESD主席3.1.1 提供ESD推行所需的资源(包括人力、物力、财力等)。 3.1.2 批准ESD推行计划或方案。 3.2 ESD副主席 3.2.1 负责ESD推行计划或方案的审核以及指导与督促各部门落实执行。 3.2.2 ESD重大事故处理的决策。 3.3 ESD协调员 3.3.1 统筹组织制订ESD推行计或方案并组织实施以跟进各部门执行的力度与效果。3.3.2 统筹制订
2、ESD管理标准以及作业指导书。3.3.3 负责对新员工进行ESD基础知识的培训,以及对推行委员会成员进行ESD专业培训。3.3.4 统筹责任部门对ESD异常或事故的分析、处理与改善。3.3.5 统筹ESD内、外部审核,以及跟进审核不符合项的改善并对改善效果进行证。3.3.6 负责每天对各部门ESD的执行情况进行检验(巡查或抽测)。3.3.7 负责对新导入的防静电耗材或物品进行检验与验证。3.3.8 负责与ESD相关的外部机构的联系,并获得最新的ESD标准或技术。然后在厂内组织学习或培训。 3.4 ESD推行委员 3.4.1 参与对ESD推行计划或方案的评估。 3.4.2负责全面统筹本部门ESD
3、防护工作开展的计划、实施、检查与改善。 3.4.3 负责统筹对本部门ESD 异常或事故的分析、处理与改善(处理不了时须及时知会ESD协商员或上报ESD副主席。 3.4.4 负责每天定期检查本部门ESD工作的执行效果,并至少每周进行一次检讨与总结,发现ESD问题需及时处理。3.4.5 指定本部门各区域ESD的负责人,并指导、培训及监督其按要求落实有ESD各项要求。3.4.6 统筹对本部门所有人员(特别是EPA区域)进行ESD的培训,确保每个均了解ESD的各项作业要求与标准。3.5 ESD推行干事 3.5.1 负责实施对本部门人员进行ESD的标准与要求进行培训与宣导。 3.5.2 负责按ESD标准
4、与要求组织实施并监督本部门人员执行的效果。 3.5.3 负责对本部门发生的ESD异常事故及时反馈至推行委员或ESD协调人员。 3.5.4 参与ESD的内部稽核,并对本部门的不符合项进行原因分析与改善并回复ESD协调员。3.6 厂务部:3.6.1 负责统筹静电接地线(含设备与ESD接地线)的设计、铺设、维护、点检。 3.7 技术部 3.7.1 在产品设计时需考滤静电防护的要求,并在设计图纸及BOM表上标注清楚静电敏感器件。 3.7.2 界定静电敏感器件的等级及静电防护要求的提出。3.7.3 静电敏感器件包装设计和相关技术标准的定义。3.7.4 本部门EPA区域的管理。 3.8 人事部3.8.1
5、统筹将ESD的培训纳入年度培训计划中,并跟进各部门的执行结果。3.8.2 负责组织新员工ESD的培训。3.8.3 ESD培训记录的保存。 3.9 采购部 3.9.1 负责ESD防护装置/材料的采购,送样;当出现异常时负责与供应商沟通处理。 3.9.2 负责要求供应商提供静电敏感器件的敏感等级资料。 3.10 仓库 3.10.1本部门EPA区域的管理。 3.11 生产部(含DIP/SMT/组装/生产工程/维修) 3.11.1 本部门EPA区域的管理。3.12 品管部(含IQC/各段IPQC/OQC) 3.12.1本部门EPA区域的管理。 3.12.2 监督生产部门ESD的执行情况。 3.12.3
6、 负责批量ESD包装材料与ESD防护装置的检验。4.定义: 4.1 静电:能长时间停留在某一对象上的静止电荷。4.2 ESD:静电释放,指的是静电电荷在不同电势的两个物体间快速转移的现象。4.3 EOS:静电过应力(Electrical Over Stress)即器件接受静电释放时,其特性产生变化,通常性能变差,但未完全失效。4.4 ESDS度:静电放电敏感度,指受静电敏感器件所能承受的最大静电释放电压。4.5 绝缘材料:材料表面电阻率在1X1012欧姆/平方以上或表面电阻在1X1011欧姆以上;4.6 导电材料:材料表面电阻率小于1X105欧姆/平方或表面电阻小于1X104欧姆;4.7 耗散
7、材料:材料表面电阻率大于1X105欧姆/平方而小于1X1012欧姆/平方; 或表面电阻大于或等于1X104欧姆而小于1X1011欧姆;4.8 接地:电气连接到能供给或接受大量电荷的物体(如大地/舰船/运载工具外壳等)。其分为软接地和硬接地。4.9 硬接地:直接与大地电极导线性连接的一种接地方式。4.10软接地:接地对象通过一个泄漏电阻或导电型(或耗散型)的接地对象间接接地的方式。4.11接地电极:埋于地下与大地保持良好的电气连接的金属体或金属体组,它可以是杆状的、板状的或网状的,为接地系统提供接大地的基准点。4.12EPA:也称防静电区,配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、能对静电进行有
8、效泻放,具有确定的边界和专门标记,能为静电敏感产品提供有效防护的区域;4.13静电敏感元器件:容易遭到静电破坏的元器件,一般采用 HBM 敏感值来确定其敏感度;;4.14 HBM:人体对器件的放电模式;MM:设备对器件的放电模式;CDM:带电器件对器件的放电模式;4.15安全泄漏电阻:能有效的保证静电的安全泄放同时又可避免高泄放电流对产品损坏和保证人体安全而安装的电阻。电阻阻抗大小为150K±20%; 4.16 ESD总线:有独立的ESD接地地桩引出的到各楼层ESD接线电缆。4.17 ESD干线:由ESD接地电缆到各ESD分线盒的单股接线。4.18 ESD分线:由ESD分线盒到各EP
9、A区域(或生产线)的单股黄绿相间或绿色的ESD接线。4.19系统电阻:防静电地面或表面与接地端子间的电阻()。4.20表面电阻:防静电地面或表面一定间距内两电极间的电阻()。4.21体积电阻:将两极置于试样的相对两表面上所测得的电阻()。4.22系统接地电阻:防静电地面导电地网上任意一点与大地间的电阻()。5.作业内容:5.1 ESD推行委员会组织架构 5.1.1 组织架构图仓库经理 推行干事 ESD主席ESD副主席 ESD协调员插件经理 SMT经理 组装经理 品管总监人事厂务采购经理 技术经理 推行干事 推行干事 推行干事 推行干事 推行干事 推行干事 推行干事 总经理生产副总经理ESD统筹
10、人员推行委员电源车间 推行干事执行人员 类别5.1.2 ESD主席由总经理担任,职责参见本程序3.1章节。5.1.3 ESD副主席由生产副总担任,职责参见本程序3.2章节。5.1.4 ESD协调员由ESD统筹管理人员担任。职责参见本程序3.3章节。5.1.5 推行委员由责任部门负责人(经理/主管)担任。职责参见本程序3.4章节。5.1.6 推行干事由各部门ESD执行人员,由推行委员指定并提报名单至ESD协调员进行汇总。5.1.7 ESD推行委员会成员名单由ESD协调员汇总与保存(如有人员流动时需及时更新)。5.2 EPA区域管理总要求 5.2.1 EPA区域设置的原则为静电敏感器件检验、测试、
11、储存、加工、组装、运输、维修的过程与场所须设置为EPA区域。组装为成品后可不用采取ESD防护措施。5.2.2 我司的EPA区域包括IQC静电敏感器件检验区域、静电敏感器件仓库、DIP车间(含维修房)、DIP检验房、AI车间、SMT车间(含烧录、维修、检验区)、电源车间(含静电敏感器件区域)、组装车间(含维修区域)、单板老化房、OQC检验房等。5.2.3 EPA区域管理要素1)接地系统:包括接地极、接地线(设备与ESD接地线)、防静电地板。 2)标识:包括EPA区域的范围标示与警示标语、EPA区域内的防静电设施、防静电材料、作业人员以及敏感器件等标识。3)人员管控:包括EPA作业人员以及进入EP
12、A的人员(含客户等外部人员)。 4) 防静电设施与防护材料: 包括防静电鞋/衣/帽/接地周转车、手腕带、手腕带监控仪、防静电皮(含接地扣)、防静电周转箱、防静电工装夹具、防静电包装材料及防护材料等。 5)环境管控:包括温度与湿度 6)包装、存储、周转、运输管控7)培训、检测要求、内部审核/稽查 5.2.4 EPA区域管理要素职能分配要素职能接地线铺设器件识别设计保护ESD标识ESD培训人员管 控防静电设施ESD检测环境控制包装存储/周转/运输系统评审/内部审核技术采购生产/维修品管仓库人事厂务电源ESD协调员说明1.“”表示统筹部门;2. “”表示协助或执行部门;3. “”表示不相关部门1.2
13、.3.4.5.6.7.8.9.5.3 防静电接地系统架设:5.3.1 防静电接地线地桩的架设 1)ESD接地桩与设备接地桩须分开,不可共用一个接地桩,并且ESD接地桩与设备接地桩须相距20米以上。2) ESD接地线须采用单独的地桩做静电泄漏端。3) 设备接地线可用三相五线制的地线作为辅助性设备地线;电源的三相五线制的地线与接地地桩引出线要构成连接;也可以单独做一个设备接地桩。 4) 防静电地桩的位置要距离大楼本体以及防雷接地桩20米以上.并且要避开下水道,依实际的土质情况选择接地桩的铺设方式,并且在埋设时需添加降阻剂后再埋土。5)地桩常用材料规格为: 6) 接地桩填埋士后须用接地电阻测试仪测量
14、接地电阻,接地电阻应<10.且每年至少测试一次。 7)接地桩架好后需在引出的接线处标示为ESD接线。 8)如果厂务无专业ESD静电接地桩的铺设与检测设备,则可请外部专业机构进行设计与铺设。 5.3.2 防静电接地线铺设 1)防静电接地线分为设备接地线(黑色)与ESD静电接地线(黄绿相间或绿色),并且均需使用单股导线。厂务统筹对防静电接地线的布局及架设进行设计,并绘制布线图纸。2)ESD静电接地线(黄绿相间或绿色)提供给ESD地板,静电席和人体腕带接地;设备接地线(黑色)提供测试机架、烙铁、电批、AC电源设备的接地。 3)ESD静电接地线应分为总线、干线与分线。 4)ESD静电接地线使用规
15、格:接地总线截面积应不小于100mm2,接地干线截面积应不小于25 mm2设备和接地分线应采用截面积不小于6 mm2的单股导线。 5)总线、干线与分线各接口处应安装接地线盒;各连接点需以拧螺丝或焊接等紧固的方式进行连接而且裸露的接口处需用电工绝缘胶缠绕,以确保连接牢固以及防止氧化或接触不良而影响防静电效果。 6)设备接地线与ESD静电接地线是完全分开的线,两条线不可以短路,所以,在接静电地线时应确保与设备接地线导通的设备及工作台保持绝缘。所以,静电地线与设备接地线导通的设备及工作台等的交叉处需要使用厚度0.8mm的绝缘材料加固隔离,以防短路。 7)防静电接地线接好后需对接地线的阻抗进行测量,标
16、准为:单股静电接地线的阻抗小于1.0 ohm;单股辅助设备接地线到电源插座接地端阻抗小于25 ohm. 8)接地线标识:设备接地线与静电接地线需进行区分标示;总地线接地点和各分线盒需粘贴公共接地标识;标识应醒目易于辨识。9)特别注意:ESD接地线与设备接地线不可以接在防雷接地桩(线)上,也不可以接在厂房的钢筋骨架上。以防雷电时伤害带有手腕带的作业员以及损坏接地的设备。5.4 标示管理 5.4.1 ESD标签的标准模版由ESD协调员统一设计,然后提供标准模版给采购进行统一印刷,并由ESD协调员统一储存,各部门需使用时向ESD协调员领取。 5.4.2 ESD敏感器件的标示:1)如为ESD敏感供应商
17、须在内包装上注明ESD敏感等级,并需在内外包装上贴上ESD警示标签。2)ESD敏感器件警示标签(样式如下图):表示此元件为ESD敏感器件,在没有适当保护的状况下容易被静电击伤;并且拿放、运输、储存、加工此元件时需采取防静电措施。5.4.3 EPA区域的标示 1)各EPA区域范围界限需用防静电斑马线胶纸(黑黄相间颜色)在地板围起来,并且每隔3米在EPA区域内侧贴一个EPA区域的警示标签(详见以下图):表示界限范围内的区域为EPA防护区域。2)在EPA区域进口的正面墙壁或门上需粘贴/悬挂EPA区域的警示标签(详见上图):表示该区为静电防护区,进入此区域应做好静电防护。5.4.4 防静电设施的标示
18、1)所有EPA区域内所使用的并且经检验合格的EPA防静电设施均需进行标示(即贴上ESD防护设施标签),ESD防护标签需贴在不易掉的地方。2)ESD防护设施标签(详见下图):表示有此标识的器具或物体具有静电防护功能。5.4.5 ESD公共接地点标示:1)各楼层的ESD接线盒均需标识,即贴上ESD公共接地点标签。2)ESD公共接地点符号:表示为ESD公共接地的汇同点;规格为直径5cm,标示为黑字白底;此标识粘贴于室外及室内公共接地点如分线盒/箱等。类别5.4.6 ESD培训合格人员标示: 1)新员工入职时,经培训合格的EPA区域作业人员均需在厂牌正面贴上ESD培训合格标签。 2)ESD培训合格证标
19、签(见下图):表示该员工有经ESD基础知识培训,并考核合格,可以进入EPA区域上班;如厂牌没有贴此标签,则不可以进入EPA区域作业。5.5 EPA区域人员管控 5.5.1 进入EPA区域的作业人员(含操作员及各级管理人员)在上岗前需经过ESD基础知识的培训并考核合格,并按本程序5.4.6章节进行标识。如否,则不可以进入EPA区域作业。5.5.2 进入EPA区域前,需穿戴防静电衣、鞋、冒,并经人体静电检测仪测试合格后方可进入,相关要求如下:1) 戴帽子要求:头发需全部塞入帽子内,不可有头发外露。2) 穿防静电衣要求:里面衣服的衣领与袖子不可外露;防静衣必须是长袖的不可以是短袖的,并且夏天不可以将
20、衣袖挽起。工衣扣子第二个起到最底下扣子都要扣好。3) 厂牌等非防静电物品不可露在外面,需塞入静电服里4) 进入EPA区域不可以戴手镯、手链与介子等饰物。5) 穿戴好防静电服后需经过人体静电检测仪测试合格后方可进入,如测试不合格,则需采取措施并经再次检验,合格后才可进入EPA区域。6) 所有进入EPA区域的人员均按以下要求采取防静电措施后才可以进入(外访人员如无防静电鞋可穿防静电鞋套)。 5.5.3 EPA区域人员操作管控要求 1)不可以裸手拿或加工ESD敏感器件,需采取相关的静电防护措施。2)站着操作未佩带手腕带接触敏感器件时需佩带防静电手套或手指套;坐着操作时需佩带手腕带.操作时在有接地的工
21、作台上进行。 3) 佩带的手套或手指套不能有破损和严重赃污;手腕带佩带需与皮肤紧密接触.不能佩带到手套或衣袖上。 4)坐着操作时双脚须与防静电地板接触,不可以放在橙子或工作台上。 5)手腕带之鳄鱼夹需夹在ESD静电接地线裸露的铜线上,不可夹在ESD静电线的胶皮上。特别注意不可以夹在设备接地线上。6)安装了手腕带监控测试仪的工位,手腕带需与连接至手腕带监控测试仪。7)手腕带需每天进行点检,具体要求详见本程序5.7章节内容。 5.6 EPA区域防静电设施与防护材料管控 5.6.1 EPA区域内与静电敏感器件接触的机器设备、工装夹具、工作台面、测试设备、储存设施等均需要进行有效的接地。具体的接地方法
22、参照本程序5.3.2章节执行。5.6.2 EPA区域内所使用的并且直接接触静电敏感器件的防护材料或工具需要具备静电的防护功能。如防静电服、工作台垫(静电皮)、流水线(传送带)、橙子、接触静电敏感器件的夹子/镊子/刷子/手套/手指套/储存架/包装辅料如EPE、防静电地板等等。 5.6.3 具备静电的防护功能的设施或防护材料需进行定检测,以确保其静电防护的有效性,检测的标准与频次等参照本程序5.7章节执行。 5.6.4 静电防护设施编号管理 1) 针对长期或重复使用静电防护设施需进行编号管理,需进行编号管理的静电防护设施为:防静电橙子、静电皮、防静电周转箱等。 2)静电防护设施编码原则:XXX(部
23、门代码)XXX(设施代码:用拼音缩写)XXX流水号;如DIPJDP001代表插件车间的第001号静电皮。 3)静电设施的编号由各责任部门推行干事负责进编号并建立静电设施电子清单,再将编号填写在静电防护设施标签后贴在实体上。4)各部门之静电设施电子清单需发一份给ESD协调员保存。5.6.5 新购回来的防静电设施需经检验合格才能使用,第一次送样品由ESD协调员负责进行检验;后续大批量供货时由IQC按正常进货进行抽检。详见本程序5.9.1章节执行。5.7 EPA区域的的环境管控 5.7.1 EPA区域的环境管控要素包括温度、湿度、静电、磁场、辐射场、灰尘等。 5.7.2 温湿度管控1)EPA区域的温
24、度控制标准为:22度28度;2)EPA区域的湿度控制标准为:40%70%。3)每隔4小时需对EPA区域的温湿度进行检查,并将检查结果记录于温湿度测试记录中上,由各部门推行干事对其进行审核,若出现异常及时知会厂务人员对其进行调整。 5.7.3 静电敏感器件或组件(如单板)的存储及加工环境中不得有强静电、强电场或辐射场。 5.7.4 防尘及防静电管控1) 所有进入EPA区域之人员必须换上工鞋(或佩带鞋套),每周对工鞋用清水进行清洗一次; 2) EPA区域之地面、设施、物品每周需用清水及清洁精清洁一次。并确保所有进入EPA区域之物品必须清洁无尘。类别3) 各EPA区域下班前须对工作区域进行简单的5S
25、的工作。4) 每星期制造部门须对生产现场进行一次彻底的5S的工作。5) 由于产品的要求,制造部门应对生产现场的废品(如纸箱、胶带等)及时处理,避免产生、储存静电而损坏产品。6) 生产现场应减少人员的走动,减少静电的产生。7) EPA区域之工作台面应经常清洁,每天至少需清洁三次。8) 尽量减少工作台面的堆积物品,原则上,与生产无关的东西,不得放置于工作台面。9) 不得在EPA区域饮食,尤其生产线上不得摆放食品、饮料等。10)常见的高静电源有普通封箱胶带,透明胶带,防尘拉膜,普通白色塑胶托盘,未屏蔽的CRT显示器等。高静电源如果未做好屏蔽需与静电敏感器件保持30cm 以上距离存放。静电敏感器件严禁
26、使用普通的封箱胶带,防尘拉膜等高静电源包裹,5.8 培训管控 5.8.1 人事部统筹各部门制订ESD培训计划并纳入年度计划中,且需监督各部门按计划实施培训。年度培训计划的制订参见人力资源控制程序执行。5.8.2 EPA区域的新员工或转岗人员在上岗前需经过ESD基础知识的培训(培训课时至少要1.5小时以上)并经考核合格才能上岗,相关要求如下:1) 新员工入职的培训由人事部统一组织,并至少提前一天通知培训讲师。2) ESD协调员负责新员工入职的ESD基础知识培训,并准备培训教材、考核试卷、ESD培训合格标签。3) 培训完后需即时进行考试,考试不合格的需当场进行辅导并再次考核,直至合格。考试合格的E
27、SD协调员需当场发放ESD培训合格标签给员工,并监督员工统一贴在厂牌正面的右上方。4) EPA区域的作业员工与产品检人员首次考核的有效期在一年内,以后一年一次考核。考核不合格的人员,将组织培训。5.8.3 员工ESD基础知识培训教材需以PPT的形式制作并需经过ESD推行委员会副主席审核后有效;其内容主要包含: 1)静电的定义、产生、危害以及消除静电的基本原理与方法。 2)敏器件的介绍,EPA区域及标识的介绍。 3)防静防护区域的要求。 4)静电防护设施的基本检测。 5.8.4 ESD推行委员会组员每年至少要接受4小以上的ESD专业培训,培训的方式以ESD协调员讲课为主,外训或外聘讲师讲课为辅。
28、人事部协助组织各部门人员培训。培训的内容包括ESD标准、ESD作业文件、ESD检测标准与方法、ESD异常处理等。 5.8.5 各EPA区域如发生重大ESD事故或出现员工ESD意识淡泊等情况时推行干事需及时组织ESD的专项培训,必要时可请ESD协调员协助完成培训。 5.9 包装、存储、周转、运输管控 5.9.1 静电敏感器件的包装要求1) 静电敏感器件以及包含静电敏感器件的组件(如单板)的包装材料需要用防静电包装材料,并且防静电包装材料的防静电性能必须要通过检验测试合格才能使用。2) 需求单位(技术/生产)提出ESD防静电包装材料的需求申请交后由采购进行购买。3) ESD送样品由采购负责向供应商
29、寻样,送样后采购联系ESD负责人对样品验证评估。评估完成,ESD协调员编写符合性验证报告,采购依据符合性验证报告进行批量购买。4)批量采购的ESD材料由IQC依进料检验程序进行检验,检验不合格的作退货处理。5)技术部在设计静电敏感器件以及含有静电敏感器件的组件(如单板)的包装方式时需考滤防静电要求并使用防静电包装材料;而且须在设计图纸以及BOM上标注为防静电材料以及备注防静电的标准要求。6)包装ESD负责人需对敏器件/组件的包装进行评估,防静电包装的要求应附合下表之内容。低起电性:摩擦电压<100V导电材料:1.0X104 ohms耗散材料:1.0X104 ohms;1.0X1011 o
30、hms屏蔽包装:屏蔽电压30V or <50nJ7)包含静电敏感器件的组件(如单板)的包装,其直接层可采用防静电周转箱、防静电屏蔽袋、防静电吸塑盒等包装方式。间接包装层可采用防静电缓冲材料(如防静电EPE、防静电汽泡袋等);直接包装层与间接包装层至少有一层静电屏蔽材料。8)静电敏感器件以及包含静电敏感器件的组件(如单板)的内外包装上应进标示,标示方法参照本程序5.4.2章节执行。 9) 客户有特殊要求时需按客户要求实施包装,但包装要求不能违反5.7.5中之基本防静电要求,如有发现,CQE必须及时通知客户,如客户要求强制执行不符合性包装要求时需取得书面性的认可。5.9.2 静电敏感器件的存
31、储要求 1)静电敏感器件(含组件)的存储管控要素包括环境、存储架、工作台、储存箱/盒、人员等。 2)静电敏感器件(含组件)的存储环境参照本程序之5.7章节执行。 3)存储架、工作台需铺设防静电皮并且需进行接地,接地要求参见本程序之5.3章节要求执行。 类别4)静电敏感器件(含组件)的储存箱/盒等需要具备防静电性能,具体参见本程序5.5章节。 5)静电敏感器件(含组件)仓库的人员及进出人员需采取防静电措施,详见本程序5.5章节。 6)在仓库长时间存储的静电敏感器件(含组件)应保持包装的封闭性。5.9.3 静电敏感器件的周转、运输要求 1) 静电敏感器件(含组件)的周转、运输管控要包括静电敏感器件
32、的包装、周转容器、运输工具。 2)在周转及运输前需要确认静电敏感器件(含组件)的包装是否符合防静电的包装要求,若不符合要求,则需不充许转运至下工序或出货。 3)周转车必须要采取防静电措施,即增加接地金属链条。并且需保持周转车干净。 4)不可以用易产生高静电的绝缘材料(如拉申膜、普通粘胶带等)包裹装有静电敏感器件(含组件)的周转箱或周转车。5)周转静电敏感器件(含组件)时应勿靠近强静电、强电场、磁场或辐射场。 6)在运输静电敏感器件(含组件)时必须采取完整的防静电包装措施。5.10 检测管控要求 5.10.1 防静电系统需要进行检测的要素包括接地线(含接地桩、ESD与设备接地线)、防静电地板、静
33、电皮(含接地扣)、人员(含静电衣/鞋/帽)、手腕带、防静电设施(橙子/周转箱/零件盒/流水线传送带)、防静电包装材料、交流电机器设备等。5.10.2 检测项目、判定标准、检测频率、检测人员、记录表单等详见ESD测试标准。5.10.3 测试作业指导书由ESD协调员统筹制订并负责培训各EPA区域测试人员。5.10.4 各部门进行测试时需记录测试数据,不可仅仅打勾。5.11 内部审核/稽查 5.11.1 各区域推行委员每天对本部门EPA区域ESD执行情况进行巡查。5.11.2 推行干事每2小时定期对作业员ESD的执行情况进行巡查。5.11.3 IPQC负责每天对其管辖范围内的EPA区域ESD的执行情
34、况进行监督以及抽测,并将抽测的结果进行记录,所使用表格参见ESD测试标准。 5.11.4 ESD协调员每周定期对全厂的ESD执行情况进行巡查及抽测,并将抽测的结果进行记录,所使用表格参见ESD测试标准。5.11.5 每季度ESD协调员统筹进行一次全厂范围的ESD审核,各ESD推行干事参与。5.11.6 内部审核发现的问题按照内部审核控制程序的规定进行记录与改善。日常巡查或检测发现的问题点记录在ESD异常问题记录与改善表中。5.11.7 ESD异常处理 1)ESD发现问题时的上报流程:作业员本部门推行干事本部门推行委员/或ESD协调员ESD推行委会员开会商讨ESD副主席咨询ESD外部专家。2)E
35、SD问题上报原则:任何人发现了ESD异常问题均需要提出来,在本级解决不了时需及时向上级反映并解决。 3)如是发生了重大的ESD事故,由ESD协调员组织ESD推行委会成员商讨分析与解决;如果厂内无法解决的,由ESD协调员统筹咨询ESD外部专家分析与解决。5.12 敏感等级确定及防护管控5.12.1 敏感等级的确定1)新导入的敏器件,产品工程师/采购员须要求供方提供元器件的静电敏感等数据(包括HBM/MM/CDM模式的耐压值及受电压级别)。2)接到供应商资料后技术部负责审核并登录于ESD敏感元器件清单中,并电邮给ESD协调员确认。3) 当ESD负责人发现敏感度超出我司ESD控制能力时(即当元器件静电敏感度±100V),应立即召集ESD推行委员会成员拟定ESD改善对
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