plasma 等离子清洗 水滴角试验改善报告

1、水滴角测试试验报告水滴角测试试验报告深圳市瑞丰光电子股份有限公司 编制：冯俊2013-08-05 试验目的 试验项目 1.试验不同清洗参数清洗后对材料的影响。 2.试验不同的清洗参数清洗支架，寻找水滴角测试能低于30的清洗参数。 3.试验我司其它支架水滴角测试能否低于30。 4.试验缩短清洗时间，水滴角测试角度能否低于30。 一 验证我司水滴角测试角度能否低于30。二 试验项目一试验项目一：试验不同清洗参数对材料的影响。 实验方法实验方法：取2835材料，分别以不同功率、不同清洗时间清洗，以相同体积水滴测试水 滴角角度并检查材料外观。测试条件条件一（200W/2min）我司正常使用的6#程序条

2、件二（200W/4min）条件三（200W/6min）测试结果材料外观发黄正常正常 试验过程三测试条件条件四（350W/2min）我司正常使用的2#程序条件五（ 350W/4min）测试结果材料外观发黄正常 实验小结实验小结：等离子清洗功率、时间参数过大会造成材料损伤，等离子清洗功 率、时间参数过参数过小会造成材料清洁程度不够。 试验过程三测试条件14#程序 （压力60m Torr、功率300W、时间3min、气体流量100sccm） 11#程序 压力60m Torr、功率400W、时间3min、气体流量100sccm）测试结果 试验过程三 试验项目二试验项目二：试验以不同的清洗参数清洗支架，

3、寻找水滴角测试能低于30的清洗参数。 实验实验1：抽取我司目前使用的程序进行清洗验证，测试水滴角角度。.清洗条件2#程序 （压力40m Torr、功率350W、时间2min、气体流量60sccm） 6#程序 （压力40m Torr、功率100W、时间2min、气体流量40sccm）测试结果 试验过程三实验小结实验小结：初步确认以11#等离子清洗程序清洗后水滴角测试角度小于30。清洗 条件压力60m Torr、功率400W、时间3min、气体流量100sccm测试 结果 试验过程三 试验项目二试验项目二：试验以不同的清洗参数清洗支架，寻找水滴角测试能低于30的清洗参数。 试验试验2：再次以我司等

4、离子清洗机11#清洗程序清洗2835支架，测试水滴角角度。.实验小结实验小结：再次以等离子清洗机11#清洗程序清洗2835支架，水滴角测试角度 小于30。清洗 条件压力60m Torr、功率400W、时间3min、气体流量100sccm测试 结果 试验过程三 试验项目三试验项目三：试验我司其它支架水滴角测试能否低于30。 实验方法：实验方法：以我司等离子清洗机11#清洗程序清洗3014支架，测试水滴角角度。. 实验小结实验小结：以等离子清洗机11#清洗程序清洗3014支架，水滴角测试角度低 于 30。清洗 条件压力60m Torr、功率400W、时间3min、气体流量100sccm测试 结果

5、试验过程三 试验项目四试验项目四：试验缩短清洗时间，水滴角测试角度能否低于30。 试验试验1：将11#离子清洗程序清洗时间缩短至1min，测试清洗后水滴角角度。 实验小结：实验小结：将11#等离子清洗程序清洗时间缩短至1min，水滴角测试角度低 于 30。清洗 参数压力60m Torr、功率400W、时间3min、气体流量100sccm测试 结果 试验过程三试验项目四试验项目四：试验缩短清洗时间，水滴角测试角度能否低于30试验试验2：将11#离子清洗程序清洗时间缩短至0.5min，测试清洗后水滴角角度 实验小结实验小结：将11#等离子清洗程序清洗时间缩短至0.5min，水滴角测试角度大于 301.离子清洗机功率、时间参数过大会造成材料损伤2.以11#离子清洗程序清洗支架，水滴角测试2835、3