半导体风险管理目标教学教育培训计划资料(精)

1、半导体风险核保讲座Stephen Chu发展趋势 工厂布局 工艺流程 无尘室 行业风险 风险管理及核保 损失案例再保解决方案? Gen eral Rein sura nee AG2? Gen eral Rein sura nee AG元件更小（0.13013 -0.09009 -0.65065 仪0.0450045 0.0320032 ）晶圆（wafer）更大（4”-6”-8”-12”创新周期更短无尘室（clean room）面积更大且价值更高生产厂商更少但生产规模更大更多的扩展条款/新建半导体厂的设计及施工时间更短现有工厂的利损风险（LoP） /在建工程的预期利损风险（ALoP）很高? Ge

2、n eral Rein sura nee AG特殊芯片制造商A厂每月生产5000片晶圆AB B厂每月生产6000片晶圆厂每月生产 C厂每月生产40000片晶圆片晶圆? Gen eral Rein sura nee AG特殊芯片制造商 A每月生产5000个晶片AB B'每月生产6000个晶片每月生产（每月生产40000个晶片个晶片所有测试都在（厂进行? Gen eral Rein sura nee AG特殊芯片制造商A厂每月生产5000片晶圆AB B厂每月生产6000片晶圆厂每月生产 C厂每月生产40000片晶圆片晶圆所有测试都在 C厂进行（厂作为最终测试区域厂作为最终测试区域变得至关重

3、要？ Ge neral Rein sura neeAG各厂间的相互依存关系将更加错综复杂 产品周期将日益缩短重置价值将日益增加重置所需时间变得更加关键产品质量要求严格、供货时间缺乏弹性产品质量要求严格供货时间缺乏弹性发生损失后，将采取重置而非维修方式恢复生产 日益增加的保险价值要求更大 的直保和再保承保能量? Gen eral Rein sura nee AG? Gen eral Rein sura nee AG厂房1化学品储藏库供气站厂房23-5层3 5层3 -5层办公区研发室装配大楼5层5层 厂房31层占地面积：220000m沽地面积：220,000 m建筑面积：173,000 m2 ?

4、Gen eral Rein sura nee AG集成电路楼厂房1车间C1封装区车间B1测试区办公区车间A1储物间公用设施1楼1楼地下室4楼3楼2楼楼测试区5楼楼? Gen eral Rein sura nee AG厂房2车间C2办公楼办公区4楼3楼2楼楼1楼1楼地下室车间B2办公区办公区车间A2储物间公用设施? Gen eral Rein sura nee AG? Gen eral Rein sura nee AG产【芝流程-基木介绍晶圆生产过程-晶体生长炉/抛光酸浴/二氧化硅层? Gen eral Rein sura nee AG主产匸艺流程概要II 1 ii J- ；% ,晶圆生产过程-

5、晶体生长炉/抛光酸浴/二氧化硅层光罩制造电路设计/光罩? Gen eral Rein sura nee AG光罩制造电路设计/光罩晶圆生产过程-晶体生长炉/抛光酸浴/二氧化硅层处理-旋涂/炉内软烤-晶圆光罩对准/曝光/显影/硬烤-湿蚀刻/干蚀刻/掺杂剂/沉积层-金属溅镀使电路 层相连? Gen eral Rein sura nee AG添加光刻胶乳化EX射线射线0.16 卩? General Reinsuranee AG分层化学气村沉淀或品体外縫 反应分层晶圆生产过程-晶体生长炉/抛光酸浴/二氧化硅层光罩制造电路设计/光罩 处理-旋涂/炉内软烤-晶圆光罩对准/曝光/显影/硬烤-湿蚀刻/干蚀刻/

6、掺杂剂/沉积层-金属溅镀使电路 层相连测试? Gen eral Rein sura nee AG光罩制造电路设计/光罩晶圆生产过程-晶体生长炉/抛光酸浴/二氧化硅层处理-旋涂/炉内软烤-晶圆光罩对准/曝光/显影/硬烤-湿蚀刻/干蚀刻/掺杂剂/沉积层-金属溅镀使电路 层相连测试切割电路集成封装切割，电路集成,封装-晶圆切割成芯片/将芯片固定在芯片基座及金属插脚架上-引线相接/陶瓷或塑胶 盖板封装电镀电线导线/金属插脚架? Gen eral Rein sura nee AG一噩需刖黠 i!IBf ttB ss -SMatKSS-I ff nil'-阖件线yId h J 心片晶圆生产过程-晶

7、体生长炉/抛光酸浴/二氧化硅层酸浴/二氧化硅层光罩制造电路设计/光罩 处理-旋涂/炉内软烤炉内软烤-晶圆光罩对准/曝光/显影/硬烤-湿蚀刻/干蚀刻/掺杂剂/沉积层-金属溅镀使电路 层相连测试切割，电路集成,封装-晶圆切割成芯片/将芯片固定在芯片基座及金属插脚架上-引线相接/陶瓷或塑胶 盖板封装电镀电线导线/金属插脚架最终测试成品贮藏? Gen eral Rein sura nee AGr fl二二I'-7盘茜片潮试几个重要步骤的总结集成电路芯片的生产 晶圆生长形成电路层芯片焊接封装? Gen eral Rein sura nee AG1+1=3? Gen eral Rein sura

8、nee AG生产在等级为1 -10,000的无尘室内进行-无尘室的等级以每立方英尺内大于0.5 0微米之粉尘的数量来表示-未过滤空气为5,000,000级-烟尘为1,000,000,000级或更高两种基本的建筑方式-现场建造（built-in-place）-模版建造（modular methodmodularmethod现场建造意为按照特定设计标准而在现场建造，多用于形体巨大的永久性设备 的建筑安装。模版建造是指使用预制模板连接构造的建筑安装方式。? Gen eral Rein sura nee AG空气补给常为再循环空气与补偿空气的混合气体空气补给常为再循环空气与补 偿空气的混合气体。再循环

9、空气更为清再循环空气更为清洁且更符合温度与湿度 的要求无尘室通常处于正压环境下无尘室基本外壳和基本设备的造价在每平方英尺500美元（等级100,000）到每平方英尺3,000美元（等级1）之间无尘室内部处理设备的造价在每平方英尺1,000 1000美元（等级100,000） 100000）到每平方英尺10,000美元（等级1）之间目前无尘室的总造价通常要超过 20亿美元? Gen eral Rein sura nee AG洁净度好等级10每立方英尺内大于0.5微米的 粉尘的数量10洁净度非常好等级1每立方英尺内大于0.5微米的 粉尘的数量1超洁净等级0.1每立方英尺内大于0.5微米的 粉尘的数

10、量0.1? Gen eral Rein sura nee AG> =« !ihinl 1归（匚i “n申 ih屋顶建筑类型：钢板/混凝土接缝：连接混凝土预制件的接缝使用阻燃材料填充钢梁/柱：使用阻燃材料覆盖使用阻燃材料覆盖吊顶：使用阻燃材料封闭空间/塑料管道/电缆墙体及天花板孔洞? Gen eral Rein sura nee AG类型>>湿法清洗台熔炉干式蚀刻机离子注入机金属喷镀机步进器/ /对准器晶片清洁工据晶片检查工具涂膜/ /显影磁轨历史成本（美元） 500,000 -2,500,000500,000 -3,000,000100,00000,000-2,00

11、0,000,000,000400,000 -3,000,0002,000,000 - 4,000,0001,000,000-10,000,0001,000,000 20,000 -700,00060,000 -1,800,000200000850,000200,000 850000? Gen eral Rein sura nee AG11? Gen eral Rein sura nee AG>在高温环境下大量使用毒性、高腐蚀性及易燃气体和液体（如：加入添加剂时 所使用的扩散炉）>大量使用塑料质地的材料（如：导管、输送管、电缆、盖板等）> 价值集中度高? Gen eral Re

12、in sura nee AG气体>>>>>>>>>氨气三氯化硼氯氯气二氯甲硅烷氢气氧氯化碳磷化氢硅烷四氟化硅X XX X X X XXXXX毒性腐蚀性易燃性X X X X自燃性XXXXX? Gen eral Rein sura nee AG易燃液体丙酮醋酸丁酯氯苯甲醛异丙醇甲醇丙醇甲苯二甲苯燃点（°）C）-172429-53121136430? Gen eral Rein sura nee AG烟尘污染腐蚀水损爆炸倒塌电力波动地震? Gen eral Rein sura nee AG风险管理及核保? Ge neral Rei ns

13、ura nee AG44>>生产过程风险管理生产过程与设备完整性管理变化管理审计承商管承包商管理 培训与业绩评定进修培训? Gen eral Rein sura nee AG>>操作与维护的工作程序高温作业后勤管理禁烟废物处理安全措施建筑风险? Gen eral Rein sura nee AG防护-外部（消防栓，给水水源，电子消防水泵，柴油消防水泵等）H内部（隔断，喷淋装 置，与通风系统相连结的烟感器，气阀，设备保护，除烟系统等）? Gen eral Rein sura nee AG运营风险营险-战略重点滲察道德风险解生产流程-考察产品线-评估可能发生损失的严重性-评

14、估建筑、设备、及人员的安全性? Gen eral Rein sura nee AG-评估主要工厂的安全标准解工厂如何解决排风问题-考察应对灾难性损失的准备工作和业务可持续计划滲虑有效的风险管理措施并决定与风险暴露相匹配的费率? Gen eral Rein sura nee AG建筑安装风险士程的描述杳部合同金额的明细资料-将合同金额对应到每一建筑物及场地-建筑与生产设备布局-羊细的时间进度表? Gen eral Rein sura nee AG-设计师的经验（如：防火系统等的设计）咬装开始前现场是否已经具备了消防设备以及防火系统，以及这些设备、设施 的具体情况兼包商的经验-第三方财产及业主现有

15、财产的明细信息-将要安装的机器设备的情况?原型设计?已经过验证的设计? Gen eral Rein sura nee AG-调试/试车?式车程序旷商监督-地震风险-洪水风险-部分交工计划和厂内现有运营情况的详细资料? Gen eral Rein sura nee AG根据出险数量火灾/爆炸与液体有关腐蚀性气体泄漏其他 60%30%6%4%? Gen eral Rein sura nee AG根据出险数量易燃/自燃气体电源液体加热设备易燃液体其他 35%24%24%6%11%? Gen eral Rein sura nee AG? Gen eral Rein sura nee AG在等级为100

16、的无尘室内进行集成电路的加工装配工作湿台用于镀金、光罩清洁和显影镀金溶液，丙醇和异丙醇在玻璃器皿中加热 断路器置于湿台塑料镶嵌物内的金属加热板上?火灾就是由于金属加热板在无人看管的情况下运行从而导致塑料镶嵌物受高温融 化且点燃了湿台。工作人员发现了火灾，随后大火被消防人员扑灭。？财产损失870,000美元，财产损失870000美元营业中断损失2,700,000美元营业中断损失2700000 美元? Gen eral Rein sura nee AG280平方米等级为10的无尘室用于投影曝光和放置晶圆步进器。正常操作期 间,280平方米等级为10的无尘室用于投影曝光和放置晶圆步进器正常操作期间

17、承包商的员工注意到从门下进入到无尘室的轻烟，立即通知安全人员。再由安全人员通报公共消防部门，消防人员在 30分钟后到达。当时可以闻到烟味但看不 到烟排烟系统在正常工作不到烟。排烟系统在正常工作。?火烧毁了一些电路板，所有消耗的塑料材料小于1公斤。火烧毁了些电路板，所有消耗的塑料材料小于1公斤。？损失主要源于烟尘。?财产损失财产损失1,400,000美兀，营业中断损失，美兀，营业中断损失170,000 美元,美元? Gen eral Rein sura nee AG事故发生于通讯集成电路研发的设施。两层楼的建筑，包含两个夹楼用于安装通 风管、空气处理系统等，还有用于空气调节设备的阁楼。空气处理设

18、备运行于1220%的乙烯乙二醇和80空气处理设备运行于12-20%80- 88%88%的冷却水混合剂中，该设备设冷凝水盘的排水管直通污水池。?在因电力维护而停工期间，冷却水系统发生泄漏影响了高效微粒空气过滤器，电缆以及下方线路连接等设备的运作。?财产损失149,000美元，营业中断损失332,000美元财产损失149000美元营业中 断损失332000美元? Gen eral Rein sura nee AG直径为25毫米的塑料管发生泄漏，导致420升盐酸从散装化学品分配系统中溢 出。该事故发生在等级为 5的无尘室，污染了大约 4000个正在处理中的晶圆并 且腐蚀了 4台扩散炉、自动化机械和其

19、他设备，涉及面积约450平方米。所有生产停产一天并用了 5天时间完全恢复到事故前的产量。另外，酸性物中和工作花= 了 12天。受损设备的修复共用了 8周。？财产损失与营业中断损失约32,000,000美元? Gen eral Rein sura nee AG在现有生产场所内建设新的生产设施，施工不当造成整个工作区遭受了大范围的 断电基本原因是由于叉车操作不当导致115千伏的电线短路。的断电。基本原因'是由于叉车操作不当导致115千伏的电线短路其他原因还包括：1电池中电力较低造成断路器无法工作，从而造成备用电源无法供电1电池中电力较低造成断路器无法工作，从而造成备用电源无法供电2. 在测

20、试时荷载运行，但却开启了空载断开”3. 紧急发电机无法工作3.紧急发电机无法工作4. 自动转换开关附带的应急电源的接触器无法开启?花费了 58个小时恢复到事发前的生产状态。大约有13,000个处理中的晶圆受损。财产与营业中断损失共计18,500,000美元。? Gen eral Rein sura nee AG控制室内自动警报信号响起提示在产品支持室（控制室内自动警报信号响起提 示在产品支持室（PSR）内发生火情。操作）内发生火情操作员开始用一些便携 式灭火器和消防水龙灭火。火情发生后至少过了 25分钟喷淋系统才开始启动，致使大火在产品支持室内蔓 延。最后，火灾被消防队控制住。由于没有通风系统

21、自动关闭装置，烟尘通过通风管道扩散到了无尘室。灭火用水蔓延至较低楼层导致其他支持设备水损?才产损失共计178,000,000美元（其中包括财产险损失95,000,000美元和建筑工 程险损失83,000,000美元）? Gen eral Rein sura nee AG步！'一? Gen eral Rein sura nee AGr.BRnmaKpI_JeLjlI? Gen eral Rein sura nee AG、4AirJ? Gen eral Rein sura nee AG 111 - £冷g? Gen eral Rein sura nee AG1ijd h -4FnJ-IEx运3? Gen eral Rein sura nee AG理赔主要项H项目类别«失1机设毎91%2其他9帀总计100%机器设备损失項目侃险公司定K保人R伺定損I已椒t款40绻992咽堆佝10% （因$1值处刻全廉18失twI00Q防火系统的改进-通风系统应用截气阀分隔为不同的区域，并由烟感器控制-通风系统应有自动关闭装置并与火情探测系统相连 穴花板夹层的空间内必须配有喷淋设备-、须配有足够的防火隔段? Gen eral Rein sura nee AG风险管理的改进-向员工提供有关防火和消防的培训-由风险管理