坚膜蚀刻作业指导书

1、电子有限公司文件文件编号共4页版本A电子有限公司坚膜、蚀刻作业指导书发布日期生效日期编制审核批准一.目的:本指导书规定坚膜、蚀刻工位的工作内容及步骤。二.范围:本指导书用于坚膜、蚀刻操作过程。 三.设备及工装: 固化炉、蚀刻机四.材料: 主要材料：ITO玻璃、 EC-101 无泡沫清洗剂、Na0H（分析纯） 辅助材料：丙酮（电子级）、双氧水、手指套、 M3 纸、白洁布等。 五.工艺步骤:5.1 作业流程蚀刻3蚀刻2蚀刻1液切吹气坚膜末端DI 喷水 淋纯喷水淋3纯喷水淋2纯喷水淋1液切 风刀吹干5.2 工艺主要参数及控制要点后固化炉热板温度（±5） ：40、60、80、95、110&#

2、215;5、100、85、65、45、30； 后固化时间（210±20）s（每片玻璃周期：15s 、玻璃热板停留时间：10s）。2.0 六、蚀刻主要参数及控制要点 6.1 吹气 吹气压力：（0.150.2）MPa ； 吹气角度：45°（吹气角度）； 气刀高度： （5.0±1.0）mm 。 6.2 蚀刻液喷淋 蚀刻液（小王水）：HCl（浓）：HNO3（浓）：H2O1：（0.050.1）：1 （体积比）； 总酸浓度 C（H+） ：（6.06.5） mol/L（酸碱滴定分析）； 蚀刻液温度：（46±1） ；6.2.4 不同方阻玻璃的蚀刻速度和蚀刻时间： 标称方

3、阻速度（表显示值） 时长 100/ 2.40±0.10 m/min 230±10 80/ 2.00±0.10 m/min 300±10 60/ 1.80±0.05 m/min 320±10 40/ 1.60±0.05 m/min 340±10 20/ 1.35±0.05 m/min 420±10 15/ 0.90±0.05 m/min 630±20 10/ 0.80±0.05 m/min730±206.2.5 蚀刻液的喷淋方式：摇摆式喷淋； 6.2.6 喷

4、淋角度：略向后约 15°（以喷嘴的垂直向下方向为0°） 。 6.3 液切风刀 6.3.1 吹气压力：液切风刀 1 压力（0.20±0.05）MPa，液切风刀 2 压力（0.20±0.05）MPa ； 6.3.2 吹气角度：45°（吹气角度）； 6.3.3 气刀高度：（5.0±1.0）mm 。 6.4 软水喷淋 6.4.1 软水温度：常温； 6.4.2 喷淋角度：略向后约 15°（以喷嘴的垂直向下方向为0°） 。6.5 蚀刻检查（收取蚀刻后玻璃） 7.5.1 每批玻璃抽查两片，用兆欧表测定玻璃边角没有图形的地方四点以

5、及中间无图形处一点（共 5 点），电阻均应为无穷大，同时观察图形线条完整，自检合格在生产流程单上签名，由 QC 进行抽检； 7.5.2 若所测电阻不为无穷大或图形、线条不完整（如光刻胶剥落等），停产并报工艺人员处理； 7.5.3 用兆欧表检查时只能测边缘没有图形的地方，绝对不能点到单元内有图形的区域； 7.5.4 正常情况下，蚀刻后玻璃收取时 TN、普通 STN采用叠纸方式，存放时最高不超过4 叠（100 片）；COG（STN类）及细线条的 STN产品采用插架方式； 7.5.5 收取玻璃时应在玻璃完全露出出口气刀时才将玻璃提取，将玻璃拉出气刀可能导致玻璃未吹干或造成 ITO划伤； 7.5.6

6、玻璃插架应小心谨慎，从上到下，对缺少插轮或有坏损的插框暂不使用，待设备人员维修后恢复使用，维修后再拿进厂房的插框，必须彻底清洁后方可使用； 7.5.7 收玻璃人员生产过程不得离开岗位，确保此处不发生叠玻璃。 八、清洁操作要求8.1 每周周一、周四需进行大清洁，较长时间停产时需清洁，复产时需进行大清洁；a、 关闭炉电源，过 30 分钟后打开盖子；b、 用 M3 纸或白洁布蘸丙酮擦拭盖子底部、底部边缘、密封圈橡胶、炉子内壁、机械手及机械手横杆，除去表面污垢和凝结物；c、 盖上盖子，用拧干湿毛巾擦拭炉盖和炉身的外壁，擦去表面灰尘；d、 打开炉子底下机器挡板，用吸尘器吸去表面灰尘，再用 M3 纸或白洁

7、布蘸丙酮擦拭机器支架、线盒表面污物和油污；e、用拧干湿毛巾擦拭挡板内外侧，盖上挡板；清洁完毕。8.2 后固化炉：九、 停产及交接班管理 9.1 生产结束时，确认机器内无玻璃残留，清点玻璃数量。 9.2 交接班时需等接班人员到达后方可离开岗位，同时转交并确认已生产及在线玻璃数量，生产产品种类及特殊要求。 9.3 需要较长时间停产或停电时，必须先关掉机器，再用布或纸用水浸湿后把蚀刻段的所有出口堵紧，确保所有门紧闭，防止停产过程酸雾外冒； 9.4 长假（国庆、春节期间）要排放蚀刻液并做好蚀刻机的清洁。蚀刻液须降到室温时方可排放，排放时须同软水同时排放。 十、 注意事项及异常处理 蚀刻液为强挥发性和腐蚀性酸液，蚀刻间保持相对大环境保持负压状态，压差保持 1