多范围多气体数字式质量流量控制器SEC-Z500X系列

1、多范围/多气体数字式质量流量控制器SEC-Z500惊歹 USEC-Z500XK列多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器高性能高端数字式质量流量控制器主要特性1）多种气体及多种流量范围，可以自由地指定气体类型及更改满量程流量，现 场设定；2）超高精度：±1.0% S.P. （25 -100% F.S.）; ±0.25% F.S. （ <25% F.S.）;3）快速响应：< 1秒（全量程范围内，任意设置点）；4）非常方便的现场设置操作；5）多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以最大限度地减少库存；6）与现有模拟式质量流量控制器完全兼容；7）模拟

2、通信与数字通信（DeviceNet）可同时进行；气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢（1sccm 50slpm F.S. 类型）；SUS 316L 不锈钢，Viton（氟化橡胶-密封），PTFE爆四氟乙烯），磁性不锈钢（100 200slpm F.S.类型）满量程流量SEC-Z512KX: 1/2sccmSEC-Z512X: 10sccm 10slpmSEC-Z522X: 22slpm 50slpmSEC-Z532KVX: 100slpmSEC-Z542KVX: 200slpm特点质量和稳定性HORIBA STEC.工业领先商优质的稳定性HORIB毋TEC是一个全世界设备制造商的欢呼品牌，

3、其中一个体现就是HORIBASTE6断供应高质量，高稳定性产品来满足艰难标准。可靠供应HORIBA STEC通过三个主要基地为客户迅速可靠供应设备： Kyoto,作为 HORIBA STECJ总部；Aso, HORIBA1团的主要制造工厂，以生产最新设备为特 色；以及两个位于美国（CA TX）基地，作为超快供应商。全球支持全球网络机构值得信赖的支持系统通过全世界的网络分支机构，HORIB毋TEC勺技术工程师为所有 HORIB阳TEC 产品提供完全支持。RoHS标准符合所有RoHS规定公司所涉及到的公司社会责任（CSR ,其中就是要保护环境。作为 HORIBA 集团的内部公司，环境分析设备的领先

4、商，HORIBASTEC总是致力于发展和生产环保产品。规格-数字-模拟转换模式SEF-Z512MGX SEF-Z522MGXN SEF-Z522MGX型号*1SEF-Z512KxSEF-Z512XSEF-Z522XNSEF-Z522X全标准流量（N2转换流量）1/2SCCMMR/MG number#R01:10SCCM#R1.5:17.5SCCM#01:30SCCM#1.5:55SCCM#02:100SCCM#2.5:175SCCM#03:300SCCM#3.5:550SCCM#04:1SLM#4.5:1.75SLM#05:3SLM#5.5:5.5SLM#06:10SLMMR/MG numbe

5、r#6.5: 22SLM#07: 30SLM#08: 50SLM阀门类型O:通常打开C:通常关闭完全关闭控制阀时的流< 2% F.S.流量测量范围0-100% of F.S.精确性*2±1.0%F.S.±1.0%S.P.（流量 >25%F.S.）± 0.25%F.S.（流量0 25%F.S.）工作温度响应5 -50° C （建议温度范围:15 - 45° C）<1秒：超过全流量范围直线性< ±0.5% F.S.反复性< ±0.2% F.S.工作压差值< 300 kPa (d)最大工作压 力

6、450 kPa (g)耐压1000 kPa (g)外部泄漏率< 5 x 10 -12 Pa - m3/s (He)流量设定信 号0.1 - 5 V DC (2% - F.S.);输入阻抗1 MQ 或更局流星轴出缶 号0 -5 V DC (0% - F.S.);最小负荷阻力 2 k Q 或更局数字界面地址功能：RS-485 （转换速度38,400 bps）F-Net协议接液部材质316L不锈钢（表面抛光）电源+15V± 5% 150mA-15V± 5% 150mA彳言号反应模拟：D-Sub 9-pin (TOP)数字：2 LAN jacks (TOP)标准接头*31/4

7、 inch VCR 相等1/4 inch VCR相等1.5 inch IGS选择：1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS选择：1.125 inch IGS安装方向自由型号*1SEF-Z532KVXSEF-Z542KVX全标准流量二（N2转换流量）100SLM200SLM阀门类型C:通常关闭1完全关闭控制阀时的流量;< 5% F.S.流量测量范围0-100% of F.S.精确性*2±1.0% S.P.(流量 > 35% F.S.)±0.35% F.S. (< 35% F.S.)工作温度:5 - 50° C (建议温度范围:15

8、- 45° C)响应< 1.5秒：全流量范围（典型1秒）直线性V ±0.5% F.S.反复性< ±0.2% F.S.< ±0.5% F.S.工作压差值< 300 kPa (d)最大工作压力300 kPa (g)耐压1000 kPa (g)外部泄漏率< 5 x 10 -12Pa m3/s(He)流量设定信号0.25 - 5 V DC (5% - F.S.);输入阻抗 1 MQ 或更高流量输出彳言号0 - 5 V DC (0% - F.S.);最小负荷阻力 2 k Q 或更高数字界面地址功能：RS-485 （转换速度38,400

9、 bps）F-Net协议接液部材质316L不锈钢（表面抛光）,PTFE,磁性不锈钢电源+15V ±5%, 150 mA+15V ±5%, 150 mA-15V ±5%, 250 mA-15V ±5%, 250 mA彳言号反应模拟：D-Sub 9-pin (TOP)数字:2 LAN jacks (TOP)标准接头*33/8 inch VCR 相等1/2 inch VCR 相等选择：1.5 inch IGS一 安装方向自由*1SEC（SEF）-Z512MGXZ522MGX,和Z522MGXNC体类型以及全范围设定由操作者 运用特殊软件改变。* 2流量精度保证

10、温度符合 SEMI E56-1296标准。精度是联合全范围 MR及MG 数字值。* 3IGS:完整气体系统* SCCM和 SLM 是表示气体流量的记号。 （mL/min, L/min, at 0° C 和 101.3 kPa）DeviceNet转换模式 De在dVM模型 *1 SEF-Z514Kx全标准流量（N2转换流量）1/2SCCMSEF-Z514MGXMR/MG number#R01:10SCCM#R1.5:17.5SCCM#01:30SCCM#1.5:55SCCM#02:100SCCM#2.5:175SCCM#03:300SCCM#3.5:550SCCM#04:1SLM#4.

11、5:1.75SLM#05:3SLM#5.5:5.5SLM#06:10SLMSEF-Z524MGXN SEF-Z524MGMR/MG number#6.5:22SLM#07:30SLM#08:50SLM阀门类型完全关闭控制阀时的流流量测量范围精确性 *2±1.0%F.S.O:通常打开C:通常关闭< 2% F.S.0-100% of F.S.±1.0% S.P.(流量 > 25% F.S.)±0.25% F.S.(流量 < 25%F.S.)工作温度5 - 50° C (建议温度范围:15 - 45° C)响应< 1秒：超过流量全范围直线性< ±0.5% F.S.反复性< ±0.2% F.S.工作压差值< 300 kPa (d)最大工作压 力450kPa(g)耐压1000kPa(g)外部泄漏率< 5 x 10 -