ESD作业管控程序

1、静电防护作业标准1.0目的为预防因静电的产生,而间接的破坏产品,特订本标准期能降低到最低.2.0适用范围凡属本公司之静电防护举措,均适用本标准.3.0责任凡进入静电防护区的所有同仁,皆需遵守本作业标准.3.1 各单位主管应对其作业所需之材料,分发或设置负有维护之责.3.2 确认所属,皆已接受本公司或外界相关 ESD之练习.3.3 各单位之静电防护之执行及点检均由各单位负责指定人员执行.3.4 由品保部门负责稽核各防护区执行及记录是否皆符合本标准要求.并且静电接地主线量测记录需送至品管管保存.3.5 防静电量测之各仪器由品保单位负责校验.4.0定义 无5.0程式5.1 实施方法：5.1.1 设备

2、之静电防护举措.(a)硬式接地要求：使用之仪器设备的基座与电机系统之平安接地 (SAFETY GROUND)必须连结.测试用设备、库房物料存放料架、地垫 (FLOOR MATS)、输送皮带之接地以直接 焊接、折缝怫钉或使用夹式连接固定均可.5.1.2 工作站之静电防护举措：生产流程(PRODUCTION FLOW)作业站包括,(1)COPY IC , (2) SMD (3)DIP(4)装配,(5)运送,(6)储放,(7)检验及测试,(8)包装,(9)维修 及 其直接或间接使用设备、工具及其工作人员之软式接地,亦必须符合本标准要求.(a)作业站外表材料:必须是导电或静电消散性材料,如导电垫(TA

3、BLE MATS),导电导板,表面电阻在10551010/SQUARE OHM之材料.(b)作业站间之接地连结:作业站之间的接地连结可以是串联,但必须符合以下原那么: 接地时,不可与设备之平安接地 (SAFETY GRDUND)或高周波接地混合使用.任何导线在连接点前一寸之内,必须以绝缘覆之.(c)警告标志：(ESD Warning)各静电敏感作业区域,必须贴示 ''静电防护警告标志.各静电敏感区域之场所大门,须贴示警告标志.5.1.3 静电环、人员导通性测试：(CONTINUITY TEST)(a)工作人员当日进入防护区时,必须先戴静电环於腕上,然彳爰作导通试验,通过者方可入

4、内工作.未通过者需更换合格静电环再作试验,静电环测试步 骤参考说明.(b)做导通试验时,需将腕带之导线夹在测试仪器之夹片上再以手指轻按测试台中央,合格显示绿灯,不合格显示红灯并将所测结果记录?静电环量测记录也(d)表?(静电环测试仪).如以下图5.1.4工厂导电地板业JI JiV I接(a)工厂内铺设导电地板之区域,须各车间静电接地支线每3个月量测并记录於?静电支线阻抗量测记录? (接地电阻测量摇表),静电干线每3个月量 测一次并记录於?静电干线阻抗量测记录?(接地电阻测量摇表),静电 接地点每6个月量测一次并记录於 ?静电接地点阻抗量测记录? (接地电 阻测量摇表).(b)工作桌、桌垫接地的

5、有效性,每三个月检查接地情形并贴静电合格标签.(c)防静电地板测试每3个月测试一次,并填写於?静电地板阻抗量测记录? (外表电阻测试仪).(d)将厂区内静电台面与静电线之连接线编号并专人点检连接状况,保证连接正 常.(e)每日对生产线的静电支线的断路和导通状况进行检查,警报器工作正常,并记录与?静电断路&有效性点检表?(万用表).(f)导电地板之维护：(1)为维护导电地板之寿命,地板须每日或定期做清洁保养.(2)保养时可用拖把沾水,将外表之灰尘去除乾净,再用导电腊,效果更佳.(3)导电地板严禁使用化学性溶剂清洗,如 HCFC、甲笨、香蕉水.等, 以保证导电材质不致变质,脆化损坏.1.1

6、.5 导电鞋管控：进入工厂之所有同仁,须穿着导电鞋进入工作场所 ,来宾访客须穿防尘鞋套始可进入.1.1.6 零件、制品运送与接触之规定：(a)人员接触物料或制品规定：由戴有ESD防护手套的人员,将待置物置放於静电防护桌面以工具接触产品时,该工具必须是不产生静电者,不可由非ESD防护绝缘材料工具接触.手工焊接作业时,其焊接工具必须有充分之接地.(b)使用自动设备处理PCBA:操作人员必须接地.严禁使用产生静电之物品,除非该物品有以下条件：b.1包覆於静电场隔离容器内.b.2经防静电溶液处理过.b.3在离子气流涵盖范围内.(c)装有IC的包装管(TUBE)运送规定：包装管假设为导电性材料,可由未受

7、静电防护人员之运送.包装管假设为抗静电性材料,那么运送者须接地或使用抗静电手套.包装管假设盖子翻开或塞子取出,那么必须放在静电防护工作桌面.零散料之移转必须以管对管之倾倒,并注意极性.(d)PCBA运送规定：运送者需接地,拿取电路板,须持其边缘,并戴上 ESD防护手套.须置於有接地的工作站.以金属架运送,并在金属车架上存/取电路板.(e)不良品之处理规定(含待修品)：因电性功能测试或目视,特性而判定为不良品,除非已由制造检讨会议决议为报废品,否那么其运送规定仍符合本标准之管制规定.现场列禁物品：易产生静电的物品如胶带(TAPE), 一般塑胶物品、保丽龙(POLYLON)置於静电防护作业站之工作

8、桌面时,应与制品保持适当距离,并保证放置距离 在30公分以下.(g)人员接地的方法：静电环(Wrist Strap)必须与皮肤充分接触.如右图(h)环境限制：生产、检验及测试区域的温湿度环境必须予以限制,务使静电之产生减少到最低程度.一般业界标准为：温度25+3 C,湿度4570%.(i)包装的规定(原料包装)：盘装原料(TRAY),所用盘子须为抗静电或导电材质,假设为抗静电的盘子,那么必须包覆在导电袋或导电盒内.假设为导电性材料的盘子,那么可以此方 式运送或包覆於标准纸箱内.包装管须为抗静电,如导电材质,且包覆於导电袋或导电盒,那么可单独运 送或装入标准纸箱内.管子两端塞子及针状物也必须是抗

9、静电或导电材 料.零件盒及PCBA暂存架采用抗静电材料.(j)针对重复性使用之抗静电材料或导电材料,如储存放置箱、隔板、抗静电泡 棉、导电料盒等,于重复使用时每周至少要用抽样方式予以确认其阻抗值 是否仍在规格内,否那么应停止重复使用该材料.1.1.7 各单位(含部门)及工作站别,对防静电举措之做法：(a)取用ESD敏感元件,仅可接触其母体外壳,不可由导线(接脚)碰触,并须使用静电环或ESD防护手套.(b)勿使半导体滑动於任何外表上,勿使零件接触普通的塑胶或纺织物.5.2 制程稽核与确认:5.2.1 要求:由制程品管依标准本指导中规定作随机稽查与确认,并列入?SMT巡回稽核检查单?和?DIP巡回

10、稽核检查单?内.5.2.2 相关部门:所有直接与间接部门在进入 ESD防护区域中皆需遵守本标准规定.(a)个人所使用的防护设备,依(5.1.3 )节实施.(b)静电防护工作站之桌、地垫(TABLE & FLOOR MATS)须不定期检查是 否接触良好.5.2.3 违规处理举措：(a)受影响之作业区应立即暂停,并依?纠正和预防限制程式?.(b)矫正举措及受影响产品的处理方式,必须受到品保部及防护区域主管之认可,始准予继续作业.5.3 教育练习全公司凡有时机接触产品或在ESD区域工作的员工均应接受静电防护的教育 练习.练习由各单位指派工程师以上人员负责教导,受训员工均应纳入练习记 录存档.

11、5.4静电防护监测计画及规格:品名规格测量仪器测量方法测量周期测量记录静电环/静电鞋1M Q ±10%静电环测试仪测量SOP每天静电测试记录表静电支线接地阻抗<4Q接地电阻测量摇表专人负责每3个月静电支线阻抗量测记录静电地板外表电阻105 Q 1010Q外表电阻测试仪专人负责每3个月防静电地板阻抗量测记静电干线接地阻抗<4Q接地电阻测量摇表专人负责每3个月静电干线阻抗量测记录静电接地点阻抗<4Q接地电阻测量摇表专人负责每6个月静电接地点阻抗量测记 录静电断路有效性点检是否导通万用表专人负责每天静电断路&有效性点检 表输送带、工作台面106Q 109Q外表电阻

12、测试仪专人负责每3个月贴静电合格标签ESD静电测试纪录表周转架,静电箱106 Q 109Q外表电阻测试仪专人负责每6个月贴防静电标签ESD静电测试纪录表5.5静电量测方法：5.5.1 静电环测试步骤a.装入9V电池於静电测试器内；b.将接地线夹插入静电测试器上方；c.将静电腕带牢固在手腕上；d.将有环扣接地线扣在静电腕带上；e.两接地线紧紧夹住；f.将带有静电腕带之手施压在静电测试器圆形金属片上,此时开始测试；g.静电测试器出现绿灯并有信号声,表示此接地系统OK；h.如果左边(LOW)红灯亮,请检查静电腕带中的阻抗是否低於 500KQ ,否将有害於人体；1 .测试器在使用50000彳爰,测试仍

13、会出现绿灯,但未有信号声,表示该换电池.5.5.2 静电台面、静电周转箱等静电量测方法：a.取外表阻抗量测计,如图分别插上两个测量碇.(图1)b.将测量碇放置於待测平面上图2,按下TEST键.读出数值图3.桌面周转箱测量值纪录於 静电测试合格标签贴於所测物体上,测量周期为三个月测一次1发的静电量测方法:5.5.3 6a.将待测量地板乾净,没有脏污.b.将测量碇放置在测量地板上,两个碇之间的间距不可超过1m如以下图1c.将静电测量仪的红线、黑线分别插在两个孔内,并将其另一端分别放在两个测量碇上,翻开电源开关进行测量如以下图2d.读取测量仪上的数字在1051010范围内,记录於?静电地板阻抗量测记录?表面电阻测试仪.e.静电地板每半年打一次导电腊.5.5.4 静电干线测试方法：a.将蓝线一端接入P端,另一端接插地桩；红线一端接 E端,另一端接插地桩;黄线一端接C端,另一端接总干线.b.插地桩插入大地40CM以上,两个插地桩地距离 40M以上.c.将档位旋纽旋至X1档.d.右手摇动