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1、山东大学硕士学位论文MgZnO:Al透明导电膜的制备与特性研究姓名:王永利申请学位级别:硕士专业:微电子与固体电子学指导教师:马瑾20070430 山东大学硕士学位论文:0.92以,tJ。瓦i而 山东大学硕士学位论文33溅射功率对MgZnO:Al薄膜特性的影响实验条件为:溅射气压固定为ZOPa,衬底温度为室温,溅射时间为30min,溅射功率分别设置为:踟w、lw、120w和140W。研究溅射功率对M甑1砜.90:Al 薄膜的结构、电学和光学性质的影响。 33.1薄膜的结构特性 山东大学硕士学位论文 山东大学硕士学位论文 (a130"C180"C(c230"C 山东

2、大学硕士学位论文 (a130"C180"C(c230"Csubswate啪ture:(a130"C秭180"C(c230"C3.42薄膜的电学特性 山东大学硕士学位论文3.5退火处理对MgZnO:Al薄膜特性的影响 山东大学硕士学位论文 (a:200"C O250"C(c300"C(d400"Ctemperature:国200"C250"C(c300"C(d400 山东丈学硕士学位论文 (a200"(2Co250(c300"(2(d400temperature:(a200"C Co250"(2(c300"C(d4001矿101function of annealing temperature睁心们驴1111 Mg

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