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文档简介

4、常见问题及解决方法 类别 现象 原因 绒面没有制满 H2没有及时脱离硅片表 面 硅酸钠含量过大 解决方法 延长制绒时间、 增加NaOH 增加IPA 重新配槽、改 善喷淋 备注 单晶制绒 白斑 小雨点 水痕 手指印 多晶制绒 黑绒 表面发亮 扩散后发蓝 脂肪酸玷污 反应过于剧烈 反应过多 没有完全吹干 规范生产操作 手法 增加2#槽HNO3 增加2#槽HF 改善吹风、增 加6#槽HF含量 减重不在范 围之内 反应速度过快或过慢 手动添加2#槽 的药液含量 confidential confidential 5、未来工艺的发展方向 Ø单晶碱腐蚀的改进技术 § 现有工艺改进：单晶小绒面，减少漏电流、 减少磨损的几率。 § 设备改进，一体化设备：制绒后烘干。 § 制绒新技术：激光制绒，形成规则金字塔 表面。 Ø多晶酸腐蚀的改进技术 § 酸腐蚀溶液配方的优化 § 控制反应速度的缓冲剂，H2SO4 规则金字塔表面 § 在现有工艺的基础上，增加一些辅助技术， 如蒸气制绒。 confident

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