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文档简介
1、(静电泄放)2.静电产生:摩擦静电产生:摩擦 碰撞碰撞 剥离剥离 破裂破裂 感应感应 极化极化 吸附吸附 喷射喷射 逸出功逸出功 接触电位差接触电位差 偶电层偶电层1.静电:本来不带电的中性状态静电:本来不带电的中性状态 的物体,由于外来原因,如与带电体接触并将其的物体,由于外来原因,如与带电体接触并将其分離,導致了正負電荷的平衡破壊并産生过剩電荷分離,導致了正負電荷的平衡破壊并産生过剩電荷3.一般電気和静電的不同一般電気和静電的不同一般的電気一般的電気 电荷是运动的电荷是运动的(低電圧低電圧 / 大電流大電流)静電気静電気 电荷不运动电荷不运动(高電圧高電圧 / 小電流小電流) 4 静電現象
2、静電現象力学的影力学的影响响 吸引力吸引力, 排斥力等排斥力等. 放電的影响放電的影响電電击击、熱、光、熱、光、声等声等 (比如比如:打雷,胶片感光,打雷,胶片感光, 半導体半導体(IC) 破壊破壊) 静静 电电 场场带电物体带电物体5静電特性静電特性 導体導体 即使帯電也容易泄放即使帯電也容易泄放 (不容易帯大電量不容易帯大電量) 絶縁物絶縁物 帯電後不容易泄放帯電後不容易泄放 (容易帯大電量容易帯大電量)6. 静电感应静电感应正()正()负()负()人手人手玻璃玻璃人发人发尼龙尼龙羊毛羊毛丝绸丝绸纸纸棉布棉布木板木板硬橡胶硬橡胶醋酸人造纤维醋酸人造纤维聚酯聚酯明胶明胶聚氨酯聚氨酯聚乙烯聚乙
3、烯硅硅聚四氟乙烯聚四氟乙烯消除这 些原因,静電就不発生接触面積、材質、接触面積、材質、圧力、摩擦頻度、圧力、摩擦頻度、速度、温度速度、温度差、湿差、湿度等度等 減少这 些 現象的発 生、能降低静電的発生静电放电的破坏静电放电的破坏ESD半导体破坏率的分配:半导体破坏率的分配:资料由资料由Semiconductor Reliability提供提供(March,1993)59%都是由静电引致的都是由静电引致的静电放电的破坏静电放电的破坏(续续)静电放电的破坏静电放电的破坏(续续)表1-1静电放电敏感器件分级表1级:敏感电压范围01999V元 器 件 类 型微波器件(肖特基势垒二极管、点接触二极管和
4、其他工作频率大于1GHZ的检测二极管离散型MOS场效应晶体管声表面波(SAW)器件结型场效应晶体管(JEETs)电荷耦合器件(CCDs)精密稳压二极管(线或加载电压稳定(0.5%)运算放大器(OP AMPs)薄膜电阻器集成电路使用1级元器件的混合电路超高速集成电路(VHSIC)环境温度100时,IO0.175A的晶体闸流管(SCRs)2级:敏感电压范围20003999V元 器 件 类 型离散型MOS场效应晶体管结型场效应晶体管(JEETs)运算放大器(OP AMPs)集成电路(ICs)超高速集成电路(VHSIC)精密电阻网络(R2)使用2级元器件的混合电路低功率双级型晶体管,Ptot100mW
5、,Ic100mA3级:敏感电压范围400015999V元 器 件 类 型离散型MOS场效应晶体管运算放大器(OP AMPS)集成电路(ICS)超高速集成电路(VHSIC)所有不包括在1级或2级中的其他微电路Ptot1W或IO1A的小信号二极管普通要求的硅整流器IO0.175A的晶体闸流管(SCRs)350mWPtot100mW且400mAIO100mA的低功率双极型晶体管光电器件(发光二极管、光敏器件、光耦合器)片状电阻器使用3级元器件的混合电路压电晶体人走路时的等效电路材料(用品)或活动封蜡、涂漆或浸漆表面 工作台普通树脂或塑料面 工作椅塑料地板打腊抛光木板普通乙烯树脂瓦或板普通清浩室工作服
6、普通合成面料服装、手套非导电的鞋纯棉普通塑料:袋、罩、封皮普通泡沫容器、泡沫材料普通塑料托盘、塑料运输斗、瓶、零件盒水雾清除器普通塑料焊料吸管带有不接地焊嘴的烙铁通过流体或蒸发或吹干温箱低温喷射器热喷射和压缩机喷砂静电复印机芯片板托架、盘工具类运转车存放柜产生静电感应电压并放电:物体或工艺加工工作表面地板服装软包装及操作周转容器装配、清洗、试验修理芯片载体物流器具(用品)高电压设备塑料袋种类静电电压(KV)试验条件PP1.53PS24PE13PVC13.5PUR1.53.5RH=50%、T=20、f=25N、S=20mm摩擦片为不锈钢、仪器为TI3000静电产生方法人在地毯上行走人在乙 烯树脂
7、地板 上行走人在工作台上操作乙烯树 脂说明书封 面摩擦聚氨脂泡沫垫子移动静电电压(V)相对湿度:1020相对湿度:65901600012000600070001800015002501006001400静電储存abcdef0.135135535103535353500.2(350.2)351352357.53575357500.3350.863533530353000.53513510351003510003510000351000005.035735703570000.1m1级0.1m5级0.1m10级1级(0.1m35级)10级100级1000级10000级100000级级别检测的粒径 m
8、 注:表示必须配置项目注:表示必须配置项目 表示需要时配置项目或局部区域配置项目。表示需要时配置项目或局部区域配置项目。配置部位 配置项目 器材名称 元器件待验元器件检验 及老化筛选元器件库房元器件预处理设计工艺实验室装 配调 试机 房维 修外场维修运 输防静电元件存放架静电识别标签防静电元件盒(袋)防静电桌垫防静电地垫防静电周转箱防静电运输车防静电工作服防静电腕带腕带监视器导电鞋束防静电工作鞋防静电工作手套防静电烙铁防静电吸锡器防静电印刷板架静电电压表离子风静电消除器防静电维修箱(包)防静电海棉泡沫防静电接地线(带)防静电工作区标志牌防静电文件袋抗静电剂(溶液)静电监测设备1.保护接地保护接
9、地CBACKI电源电源CBCKIIIRddRrrII2.工作接地工作接地3.重复接地重复接地CBA高压 低压工作接地重复接地保护接地cbaononxdrrrUU4.中性点、零点和中性线、零线中性点、零点和中性线、零线5.防雷接地防雷接地6.静电接地静电接地主变电箱防静电岗位(接地线)1MR(4)相相相零地1.接地装置的装设地点接地装置的装设地点2.接地装置的埋设接地装置的埋设3.人工接地网的布置人工接地网的布置4.敷设地线的人工安装敷设地线的人工安装 名 称 圆钢直径(mm)扁钢截面(mm) 厚(mm)角钢厚度(mm)钢管壁厚(mm) 2建筑物内624221 屋 外109032.52.5 地
10、下16120443.55.地线埋设举例地线埋设举例一般的埋设方法一般的埋设方法14扁钢接地线100mm管夹焊缝2.53m50钢管接地体90mm扁钢焊缝钢管管夹接地线(扁钢)接地体(钢管)地面1m310m2.53m(a)单根(b)多根条形地线的埋设条形地线的埋设管长(m)直径 (mm)土壤 性质泥沼黑土粘土砂质粘土22.532511.52528383011.322.52736351121.826354010.821.325.5344510.520.82533.55010.320.324.532.5259.6192331309.218.822.529.535918.321.829408.817.8
11、2128.5458.617.520.828508.41720.527.525816.519.826.5307.61619.325.5357.415.518.825407.31518.524.5457.214.8182450714.517.523.5nRR1泥 沼黑 土粘 土沙质粘土沙 土湿 沙中等湿度的沙石 砂23.947.857.576.528738347895614.52934.846.317423229058010.921.826.234.9131174.52184366.412.815.320.476.81021282564.69.21116.255.373.5921843.67.28.614.743.257.672144条长(m)土质1236912条数条长(mm)369122111130.750.770.780.8040.620.650.680.70埋设地线的注意事项埋设地线的注意事项地面地线引线埋深铁条接地体EBP1.固定岗位的范畴固定岗位的范畴2.区域内要
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