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文档简介

1、 维普资讯 第 期 设 计方案 中 ， 力敏 电阻在 硅膜上的设置位置 与非 线性 的关系 图 示 ， 蜘 所 可见 ， 隹 最 组 桥条件是将经 向电阻 、 设置在 向电阻 ， ¨设置 、 ， 一 处 切 在 一 处 设置在 处。由 ， ， ， 组成 电桥 组成 电桥 。 ， ， 这样组成 双桥的两个单桥 不仅具有 良好的线性 ， 和 而且非 线性误差 等值反号 选端 点法作拟合 直线 ， 受压 后电桥 出电压与输 压强 和 输 的 特性 曲线分别 为 ： ： （ ）一 墨 只 ）一 （ 纰 ） （ 】 （ ） （ ） ， ） （ ， 为拟合 直线截距 ， 为拟合直 线斜率 。将

2、（ 、（ （ ） ）式代入 （ ） 得 组成 双 ， 桥 电路后传感器受压 时输入 、输 出特性 曲线 。 （一 ） 其 （） 中 样 、 ） 群 （ ） ） 主 为 台 线 特 曲 间 偏 ， 偏 譬 拟 直 与 性 线 的 差 该 差 里 （。可见只要调节 。 改变 和 之值 ，即能达 ， 和 来 。 是 两 个单 桥拟 合偏差 （ 和 ） ） （ 的代数和 其大 小取 决于单桥拟 合偏差在 设计 方案中 ，已保证 ） （ 且 （ （ ， （ ） ， ） ） 这 到对非线性 项补偿 。这种双桥非 线性 补偿 就是利用 自身应变单 电桥非线性等值反号的特 点 ，无 需复杂的外部调节 电路 其 补偿精 度取 决于 值 的选 择 。 参 考 文 献 施 锡 昌扩散 硅 压力 传感器设 计 半导 体敏感 器 件 年第 期 ， 时 恤搬【 畦 ， 日 （ ） 西原元久等 半导体压力 二廿非线形特性解析计测 自动制御学会论文集第 卷第 ， 。昭和 年 ， 号 月 一 王洪业编 著 传感 器技 术

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