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1、WLH()1 2 3 4 5 6 7 8 8010电流LWtop viewcross sectional viewsubstratepolyoxidemetalcontact1002003001020 3040 50W/umR/1002003001020 3040 50W/umR/ideally, R/=constantactually, R/ increases as “W” decreasestop viewcross sectional viewsubstratepolyoxidemetalcontactbodyheadsmall spread regionbig spread regi

2、onuncertain regionuncertain region1 2 5 4 3bottomtopCareaCperipheryarea capacitance and periphery capacitanceN wellN+gateN well capacitorgateM1diffusion capacitorM1M2M3M4叠层金属电容器叠层金属电容器M1M2氮化物介质电容器氮化物介质电容器介质介质(氮化物氮化物)螺旋电感M1M2EBCCbipolar -diodePN环形结构环形结构PN结二极管结二极管PN衬底二极管衬底二极管NP阱二极管阱二极管NP圆形圆形ESD二极管版图二极

3、管版图PPPPNNN梳状梳状ESD二极管版图二极管版图mathematical modelschematicSPECSSPICEdevice sizeSDGonoffonoffinput signal of Ginput signal of AASDGIIIIIIIVbig size MOSsplit into four partssimple modePNAABBCCV+V+V-V-棒状图XXXXXXXXXXXXN wellwell contact regionXXXsubstratecontactregionV-V+NPNNlongitudinal NPN bipolarPPEBClateral NPN bipolarEBCNNPEBCP+PN+N wellPlat

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