制程解析与制程管制

1、 製程能力製程能力是指各種條件均充份標準化，製程在統計的管制狀態下群體所呈現之質與量的能力。故製程能力以產量、效率表示，也可用成品、半成品、零件等之品質特性來表示更可用不良率或缺點數來表示。製程解析與製程管制製程能力係數CP、K、CPK符號意義首先將一些符號代表意義標示如下:u USL (上規格界限): upper specification limitu LSL (下規格界限): lower specification limitu m(規格中心):midpoint of the upper and the lower Specification limits，u T (目標值): Targ

2、et指定雙邊規格時(1)準確度k，-1k1，(2)精密度Cp指標(3)Cpk指標Cpk指標主要是用以衡量製程之實際成效(process performance)，而Cpk製程能力指標定義如下：，或Cpk=(1-)Cp指定單邊規格時T (目標值): Target，如果沒有目標值時，則T=(1)準確度k，或，(k有時以Ca符號代替，代表製程準確度)(2)精密度Cp指標Cp指標定義為:，或(3)Cpk指標Cpk =Cp(1-) ，或，如果如果則Cpk =0；如果則Cpk =0a評級表參考例等級值處置原則作業員遵守作業標準操作,並達規格的要求,須繼續維持。有必要時儘可能將其改進為A級。作業員可能看錯規

3、格不按作業標準操作,或檢討規格与作業標準。應採取緊急措施,全面檢討所有可能影響的因素,必要時應停止生產。p判定表參考例等級值處置原則A+產品變異如大一點不要緊考慮管理簡單化与成本降低方法。繼續維持。有必要時儘可能將其改進為A級。產品須全數選別並管理改善製程。應採取緊急措施,重新檢討規格。探究原因進行品質改善。如果是以-R Chart之資料來進行製程能力分析，則製程之標準差可由來估計。如果以-S Chart，則以來估計。sigma與不良率之關係Cpk=2，就是6 sigma範圍內機率±168.27%±295.45%±399.73%±41-31.68ppm&

4、#177;51-0.287ppm±61-0.001ppm例：工程 (材料) 名稱流程圖作業標准書SOP管理點管理方法檢查方法備考原料工程準備工程本工程管理項目產品特性查檢項目制程特性管理指示書管制圖或其他擔任者對策擔任者抽樣測定3.阻抗值量測GE under etch(PAD17)阻值過低X bar-R chart技術員課長4 pc/chamber/shiftRS meterOCAPGate open(PAG99)阻值過高解決問題之步驟- QC-STORY1. 福特:8D2. 飛利浦:8大步驟3. TASK-ORIENTATION PROBLEM SOLVING4. 6之DMAIC各

5、種改善模式8D(福特提出)QC story(日本業界)MEDIC(飛利浦提出)DMAIC(6個SIGMA)D00. Become aware of problem1. Theme selectionMMap & MeasureD(D. 定義問題):D1. 主題選定*問題發掘 *問題評估D11. Use team approach2. Reasons for selecting this themeD22. Describe Problem3. Analysis of present situationM(M. 衡量問題) :D2. 問題定義 D3. 現狀分析與數據收集D33. Impl

6、ement & verify Interim Containment ActionD44. Define & verify Root Cause4. Analysis of cause & effectEExplore & EvaluationA(A.分析問題) :D4. 原因分析*分析型的問題, 原因分析*創意型的問題(目標型)D55. Choose & verify Permanent Corrective Actions5.Exeution of planDDefine & Describe modified processD66.Impl

7、ement Permanent Corrective Action6. Confirmation of result obtainedIImplement & ImproveI(I.改善問題) :D5. 對策擬定與評估D6. 實施對策与追蹤D77. Prevent Recurrence7. StandardizationCControl & ConfirmC(C.控制問題) :D7. 效果確認*再發防止D8.未來方向D88. Congratulate your team8. Remaining problemCongratulate teamTask-oriented QC-storyTask-oriented QC-storyProblem-oriented QC storySTEP 1選擇主題(Selection of Theme)STEP 2定義任務(Define TASK)¸設定目標(set goal)現況分析¸設定目標STEP 3創意產生(Idea generation)因果分析¸真因驗證STEP 4驗證最適創意(Verify Fittest Idea)對策構想與實施計畫STEP 5實施最適創意(Execute Fittest Idea)實施STEP 6效果確認(Confirmation of Results)STE