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文档简介

1、 Webon快速平面度检测一首先采用平面检测仪器对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初步精度如研磨后的器件达到5um以内 可以用平晶进行检测 未达到 继续研磨 器件可以不用下盘。FG-5 检测120以内FG-7 检测170以内FG-9 检测220以内FG-30 检测650以内二 达到5um以内用平面平晶体检测首先看是否有条纹。是否合格 以300的密封器件为例的。 检测的整个面 必须首先看到同心圆才合格 2um的面型精度 整个面的同心圆条纹 小于3个 1个同心圆条纹精度大于在0.8um 3个就是2.4um左右 也就是说必须是小于3个的同心圆条纹才合格。 N<3 Cdw-30I30mm301

2、5mmCdw-45I45mm4515mmCdw-60I60mm6020mmCdw-80I80mm8020mmCdw-100I100mm10025mmCdw-150I150mm15030mmCdw-200I200mm20040mmCdw-250I250mm25045mmCdw-300I300mm30045mmCdw-350I350mm35045mmCDX-ML18 CDX-ML30三 。以下是检测中会出现的问题。条纹非常密集。两种情况。1. 加工出得元件精度远远不够。 2. 平晶和元件之间有异物 灰尘 没处理干净条纹非常乱情况是 加工的研磨盘凹凸不平 不在一个平面上。元件研磨后整个面就是乱的、同心圆条纹圈数太多。情况是 元件精度还不达标 继续研磨直到圆圈数少于3个。以上的假设的情况 现场情况有变化 请及

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