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文档简介
CVD法特性(残余应力 热膨胀系数 涂层温度为高温 涂层基体 涂层后冷却过程中，在涂层表面产生拉伸残余应力 (涂层经常处于被拉伸，缩紧状态 耐破损性差 (PVD法是在低温或物理方法进行涂层，与CVD法相反，压缩应力残留 冷却 1000：应力0 热膨胀系数的差 (×106/ 20：覆膜残留拉伸应力 TiCN TiC：7.6 硬质合金：5 6 TiC想要收缩但受 基体限制 (突然紧缩状态 硬质合金基体 热膨胀系数：表示的是因温度变化物质膨胀收缩的程度。 系数越大因温度变化体积变化越大。 49 CVD与PVD强度下降的比较 残余应力 CVD拉伸 PVD压缩 涂层后抗弯强度下降 CVD大幅度下降 PVD下降幅度小 4.0 1.0 0.5 涂层中的残余应力(GPa (拉伸应力 0 抗弯强度(GPa CVD (TiN 6m 3.5 PVD 基体：WC-3%TiC-4%TaC-(5-20%Co 3.0 2.5 2.0 1.5 -0.5 (压缩应力 -1.0 PVD (TiN 6m 5 10 15 20 CVD 0 2 4 6 硬质合金基体中的Co含量(质量% 50 涂层厚度(m
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