8215-SHPickandPlaceMachine维修保养手册

1、8215-SH Pick and Place Machine维修保养手册目 录第一章、 定期維護計畫1第二章、 一般維護說明32-1、8215-SH 主要模組32-2、取放頭42-2-1、清潔調整X向平台42-2-2、清潔調整Z向工作模組52-2-3、清潔調整Y向平台62-3、頂針座82-3-1、清潔頂針帽、頂針82-3-2、清潔調整Z向平台82-4、晶圓平台102-4-1、潤滑調整X向平台機構102-4-2、潤滑調整Y向平台機構112-4-3、清潔調整擴片機構122-5、放置台機構142-5-1、潤滑調整X向平台機構142-5-2、潤滑調整Y向平台機構152-6、光學機構172-6-1、撿取

2、影像對位模組17第三章、 錯誤碼參照與簡易故障排除18第四章、 附件清單204-1、 潤滑油品204-2、 定期檢修用工具204-3、 模組對照表204-4、 耗材表214-5、 建議備庫料件21附录一、机构模块爆炸图附录二、机台电路图修订纪录修订版本修订说明修改部分撰写者100610初版Sunny Lo第一章、 定期维护计划项次项目说明频率方法日周月季年酒精真空润滑特殊工具索引A、取放头组件(取放头、光学模块)1清洁吸嘴与吸嘴连杆2确认真空来源及检测器数值3清洁镜头拭镜纸4检查检取及放置位置5润滑连接Z轴培林6清洁润滑滚珠螺杆7清洁润滑导向滑块8润滑交叉滑轨9润滑T型连接杆10检查取放头放置

3、力度力度计11清洁传感器12检查各传感器感应位置13各部螺丝旋紧B、顶针座组件1清洁顶针座之Cap平面酒精2检查顶针损耗显微镜3清洁润滑滚珠螺杆4清洁润滑导向滑块5清洁传感器6检查各传感器感应位置7各部螺丝旋紧C、晶圆平台1清洁晶圆平台台面2清洁润滑各滚珠螺杆3清洁润滑各导向滑块4清洁润滑各汽缸5检查Y轴马达皮带张力6清洁各部传感器7检查各传感器感应位置8各部螺丝旋紧D、放置台1清洁放置台台面2清洁润滑各滚珠螺杆3清洁润滑各导向滑块4检查X轴马达皮带张力5清洁各部传感器6检查各传感器感应位置7各部螺丝旋紧8调整放置位置2第二章、 一般维护说明2-1、 8215-SH 主要模块8215-SH P

4、ick and Place Machine大部介绍如下所述：包含晶粒取放头(LB15C)、晶圆平台&扩片环(WT&FF)、顶针座(DE07H)、检取影像定位CCD (CCD46C)、放置台机构(BT28A)。2-2、 取放头取放头为主要由X向平台、Z向平台、Y向平台及Bond Force四个组件构成取放头PM检查清单项次项目注意事项配合工具次数1润滑滚珠螺杆关闭马达注油枪M2润滑滑块关闭马达注油枪M3润滑T型连接杆关闭马达HY4清洁传感器关闭马达棉花棒、酒精S5清洁取放头吸嘴管路W2-2-1、 清洁调整X向平台2-2-1-1、-滚珠螺杆滑块润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性

5、能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭取放头模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在螺杆上的废旧油渣去除3.定位珠螺杆的注油孔，用注油枪打进NSK-PS2润滑油加以润滑4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去螺杆与螺母交接处多余的油6.开启取放头模块的马达电源2-2-1-2、清洁传感器目的：使传感器作动正常，不会因感应错误造成偏移误差步骤：1.关闭取放头模块的马达电源2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具 有腐蚀性的

6、化学药品，如IPA)将传感器擦拭干净，无灰尘批覆4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回34次测试传感器是否作动正常6.开启取放头模块的马达电源2-2-2、 清洁调整Z向工作模块2-2-2-1、滚珠螺杆润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭取放头模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在螺杆上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去螺杆与螺母交接处多

7、余的油6.开启取放头模块的马达电源2-2-2-2、滑块润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚 动的滑块滚珠需要有润滑油加以润滑。步骤：1.关闭取放头模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在螺杆上的废旧油渣去除3.定位珠螺杆的注油孔，用注油枪打进NSK-PS2润滑油加以润滑4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去螺杆与螺母交接处多余的油6.开启取放头模块的马达电源2-2-2-3、润滑清洁调整T型连接件目的：为保证连接处的滑顺度与平行度，因为连接处上下为两个培林夹持固定亦属于滚动接触，故只需

8、上一层薄油步骤：1.关闭取放头模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在导杆及培林上的废旧油渣去除3.以低黏稠度的润滑油施加于导杆及培林上加以润滑4.以手动转动Y轴马达方式驱动T型连接板，使培林从导杆一端移动至另一端来回34次，除去培林及连接处多余的润滑油5.调整确认上下两个挟持培林的紧度与平行度(先将下方培林固定后再调整上方的固定培林)6.开启取放头模块的马达电源，注意Z轴检取、设定、放置高度的改 变以免发生撞机2-2-2-4、清洁传感器目的：使传感器作动正常，回归原点时不会造成偏移误差步骤：1.关闭取放头模块的马达电源2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁3.以真空清洁器吸取清洁或

9、清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具 有腐蚀性的化学药品，如IPA)将传感器擦拭干净，无灰尘批覆4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回34次测试传感器是否作动正常6.开启取放头模块的马达电源2-2-3、 清洁调整Y向平台2-2-3-1、滑块润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚 动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭取放头模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在滑块导块上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑4.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来回34

10、次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去滑块与导块交接处多余的油6.开启取放头模块的马达电源2-2-3-2、清洁取放头吸嘴管路目的：确保吸嘴真空气压管路顺畅，使检放晶粒位置正确且判定是否有捡放晶粒的真空值保持稳定，不会造成误判步骤：1.松开侧边的固定止付螺丝卸下吸嘴栓2.至显微镜下检查吸嘴是否完整，若破损请立即更换新品3.将吸嘴栓以IPA清洗，确认无锡膏或异物残留4.点击设定=>取放头 将取放头吸嘴吹气打开，以IPA清洁吸嘴栓固定座，若气管内有锡膏异物残留请更换气管5.清洁完成将所有零组件装回后，重新设定真空感知器的数值(其设定值为介于未吸取晶粒及吸取晶粒的数值中间)2-3、 顶针座顶

11、针座为主要由Z向平台、XY交叉滑轨二个组件构成顶针座PM检查清单项次项目注意事项配合工具次数1清洁顶针帽酒精D2润滑滚珠螺杆关闭马达注油枪M3润滑滑块关闭马达注油枪M4清洁传感器关闭马达棉花棒、酒精S2-3-1、 清洁顶针帽、顶针2-3-1-1、 顶针帽清洁目的：为保持顶针帽上的清洁，将蓝膜残留下来的残屑给予清除干净，确保真空作动的稳定。步骤：1.使用清洁纸(无棉絮的布)，沾上酒精或IPA以擦拭方式加以清洁2-3-2、 清洁调整Z向平台2-3-2-1、-滚珠螺杆滑块润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭机台的马达电

12、源2.小心地将顶针座拆下自晶圆平台中取出机台3.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在螺杆上的废旧油渣去除4.将NSK-PS2润滑油涂于螺杆之螺牙上加以润滑5.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点6.除去螺杆与螺母交接处多余的油7.小心地将顶针座装回机台上的晶圆平台中8.开启机台的马达电源9.校正三点同心(确保镜头中心轴与晶圆平台面为相互垂直,顶针座与晶圆平台与CCD的中心点必须在同一垂直线上)2-3-2-1、滑块润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚 动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭机台的马达

13、电源2.小心地将顶针座拆下自晶圆平台中取出机台3.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在滑块导块上的废旧油渣去除4.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑5.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点6.除去滑块与导块交接处多余的油7.小心地将顶针座装回机台上的晶圆平台中8.开启机台的马达电源9.校正三点同心(确保镜头中心轴与晶圆平台面为相互垂直,顶针座与晶圆平台与CCD的中心点必须在同一垂直线上)2-3-2-3、清洁传感器目的：使传感器作动正常，不会因感应错误造成偏移误差步骤：1.关闭机台的马达电源2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁3

14、.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具 有腐蚀性的化学药品，如IPA)将传感器擦拭干净，无灰尘批覆4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回34次测试传感器是否作动正常6.开启机台的马达电源2-4、 晶圆平台晶圆平台主要由X向平台机构、Y向平台机构及扩片机构三大部分所组成项次项目注意事项配合工具次数1滚珠螺杆润滑关闭马达M2滑块润滑关闭马达M3调整皮带张紧度关闭马达S4润滑汽缸关闭主气源M5清洁传感器关闭马达棉花棒、酒精S2-4-1、 润滑调整X向平台机构2-4-1-1、滚珠螺杆润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于

15、滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭该模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在螺杆上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去螺杆与螺母交接处多余的油6.开启该模块的马达电源2-4-1-2、滑块润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭该模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)将残留在滑块导块上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑4.以手动

16、转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去滑块与导块交接处多余的油6.开启该模块的马达电源2-4-1-3、调整皮带张紧度目的：为保证马达带动螺杆转动正常，能精准快速到位步骤：1.关闭该模块电源2.检查皮带齿痕是否完整无破损3.调整皮带张紧度，用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为12mm4.用手动方式转动马达，检视带动是否顺畅无顿点5.开启该模块马达2-4-1-4、清洁传感器目的：使传感器作动正常，回归原点时不会造成偏移误差步骤：1.关闭该模块的马达电源2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)

17、沾拭酒精(不可用具 有腐蚀性的化学药品，如IPA)将传感器擦拭干净，无灰尘批覆4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回34次测试传感器是否作动正常6.开启该模块的马达电源2-4-2、 润滑调整Y向平台机构2-4-2-1、滚珠螺杆润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭该模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在螺杆上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.

18、除去螺杆与螺母交接处多余的油6.开启该模块的马达电源2-4-2-2、滑块润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭该模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)将残留在滑块导块上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑4.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去滑块与导块交接处多余的油6.开启该模块的马达电源2-4-2-3、清洁传感器目的：使传感器作动正常，回归原点时不会造成偏移误差步骤：1.关闭该模块的马达电源2.在不拆除其它部件的状

19、态下进行清洁3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具 有腐蚀性的化学药品，如IPA)将传感器擦拭干净，无灰尘批覆4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回34次测试传感器是否作动正常6.开启该模块的马达电源2-4-3、 清洁调整扩片机构2-4-3-1、调整皮带目的：为保持轴模块转动正常，能精准快速到位步骤：1.关闭该模块电源2.检查皮带齿痕是否完整无破损3.使用调整螺来调整皮带张紧度，用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为12mm4.用手动方式转动马达，检视带动是否顺畅无顿点5.开启该模块马达2-4-3-2、汽缸润滑目的：为保持扩

20、片机构功能正常步骤：1.将主气压源关闭2.适用清洁纸(或无棉絮之清洁的布)将汽缸上的旧润滑油清除3.用低黏稠度的润滑油(无腐蚀性)涂抹在汽缸上4.用手动方式左右移动使润滑油均匀附着在导柱上5.清除在导柱与汽缸相接触残留的润滑油6.将主气压源开启至规范内2-4-3-3、清洁传感器目的：使传感器作动正常，回归原点时不会造成偏移误差步骤：1.关闭该模块的马达电源2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具 有腐蚀性的化学药品，如IPA)将传感器擦拭干净，无灰尘批覆4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回3

21、4次测试传感器是否作动正常6.开启该模块的马达电源2-5、 放置台机构放置台主要由X向平台机构、Y向平台机构及石墨盘放置台三大部分所组成项次项目注意事项配合工具次数1滚珠螺杆润滑关闭马达M2滑块润滑关闭马达M3调整皮带张紧度关闭马达S4清洁传感器关闭马达棉花棒、酒精S2-5-1、 润滑调整X向平台机构2-5-1-1、滚珠螺杆润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭该模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在螺杆上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端

22、移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去螺杆与螺母交接处多余的油6.开启该模块的马达电源2-5-1-2、滑块润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭该模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)将残留在滑块导块上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑4.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去滑块与导块交接处多余的油6.开启该模块的马达电源2-5-1-3、调整皮带张紧度目的：为保证马达带动螺杆转动正常，能精准快

23、速到位步骤：1.关闭该模块电源2.检查皮带齿痕是否完整无破损3.调整皮带张紧度，用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为12mm4.用手动方式转动马达，检视带动是否顺畅无顿点5.开启该模块马达2-5-1-4、清洁传感器目的：使传感器作动正常，回归原点时不会造成偏移误差步骤：1.关闭该模块的马达电源2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具 有腐蚀性的化学药品，如IPA)将传感器擦拭干净，无灰尘批覆4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回34次测试传感器是否作动正常6.开启该模块的马达电源2-5-2

24、、 润滑调整Y向平台机构2-5-2-1、滚珠螺杆润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭该模块的马达电源2.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在螺杆上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去螺杆与螺母交接处多余的油6.开启该模块的马达电源2-5-2-2、滑块润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭该模块的马达电源2.使用清洁纸

25、(无棉絮的布)将残留在滑块导块上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑4.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去滑块与导块交接处多余的油6.开启该模块的马达电源2-5-2-3、清洁传感器目的：使传感器作动正常，回归原点时不会造成偏移误差步骤：1.关闭该模块的马达电源2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸(无棉絮的布)沾拭酒精(不可用具 有腐蚀性的化学药品，如IPA)将传感器擦拭干净，无灰尘批覆4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回34

26、次测试传感器是否作动正常6.开启该模块的马达电源2-6、 光学机构光学机构为检取CCD定位影像模块项次项目注意事项配合工具次数1交叉滑轨润滑Y2镜头清洁Y2-6-1、 捡取影像对位模块2-6-1-1、交叉滑轨润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。步骤：1.使用清洁纸(无棉絮的布)，将残留在交叉滑轨上的废旧油渣去除2.以润滑油(DUNWELL EP-2)施加于交叉滑轨上加以润滑3.以手动方式左右滑动滑块，使润滑油均匀分布于滑轨上 4.以克重量规检查交叉滑轨的摩擦力5.若摩擦力大于规范，请调整侧边固定的三个止付螺丝直到摩擦力合乎规范

27、2-6-1-2、镜头清洁目的：为保证检验影像成形清晰，确保影像系统辨识正常步骤：1.小心卸下镜头组件2.以真空清洁器清除灰尘异物3.以拭镜纸将脏污的部份清除4.重新装回后，校正CCD镜头(确保镜头中心轴与晶圆平台面为相互垂直,顶针座与晶圆平台与CCD的中心点必须在同一垂直线上)第三章、 错误码参照与简易故障排除错误码说 明原 因排 除 方 法1002取放头位置不正确马达失步重启异常马达电源，重设取放头1006取放头马达失步驱动马达异常请参照驱动器上的错误讯息进行排除1009取放头 X 重设发生错误- Can not find home1.Sensor异常2.马达过载失步1.更换Sensor2.

28、重启马达电源1015晶圆平台X重设失败- Can not find X center1.撞到极限环2.马达过载失步1.关闭电源,手动转动马达脱离极限环2.重启马达电源1018自动Calibration失败影像教导失败重新依据制作步骤重新教导影像1019晶圆平台未作初始化未初始化重设晶圆平台1029位置超出范围影像教导失败重新依据制作步骤重新教导影像1060PR:教导失败影像教导失败重新依据制作步骤重新教导影像1073晶圆平台X失步驱动马达异常请参照驱动器上的错误讯息进行排除1074晶圆平台Y失步驱动马达异常请参照驱动器上的错误讯息进行排除1075顶针座未作初始化未初始化重设顶针模块1078取放

29、头Z重设失败- Can not find home1.Sensor异常2.马达过载失步1.更换Sensor2.重启马达电源1082取放头Z轴失步驱动马达异常请参照驱动器上的错误讯息进行排除1083取放头 X 马达失步驱动马达异常请参照驱动器上的错误讯息进行排除1085取放头 Z 正极限机构撞到极限关闭电源手动使机构脱离极限后,上电重设此模块1086取放头 Z 负极限机构撞到极限关闭电源手动使机构脱离极限后,上电重设此模块1089取放头 X 负极限机构撞到极限关闭电源手动使机构脱离极限后,上电重设此模块1090取放头 X 正极限机构撞到极限关闭电源手动使机构脱离极限后,上电重设此模块1107ST

30、OP : 操作者停止!操作者中断1110错误的数组值(请先教导跳位再重作)图像文件遗失重新教导影像、晶圆大小1113未教导任何的晶圆或数组图像文件遗失重新教导影像、晶圆大小1114已在最边缘已到晶圆尽头重新教导晶圆1122START : 操作者启动!操作者启动1123有晶粒粘在吸咀上晶粒吸附在吸嘴上移除晶粒后,重新调整真空感知器数值1221空料匣门未关错误码说 明原 因排 除 方 法1328晶粒捡取失败1.吸嘴头堵塞2.真空不足3.检取高度不正确4.顶针高度错误1.清洁吸嘴头,检查吸嘴是否完整2.待真空回复至规范3.依调整步骤调整高度4.依调整步骤调整顶起高度1345主气源异常!气压不足带气压

31、回复至规范1346放置台重设失败1.撞到极限2.马达过载失步1.关闭电源,手动转动马达脱离极限2.重启马达电源1347放置台未作初始化未初始化重设放置台1348放置台X失步驱动马达异常请参照驱动器上的错误讯息进行排除1349放置台Y失步驱动马达异常请参照驱动器上的错误讯息进行排除第四章、 附件列表4-1、 润滑油品名 称用 途备 注NSK grace PS2 Light duty滚珠螺杆Dunwell EP-2滑块、滑轨锂子膏滑块、滑轨4-2、 定期检修用工具名称用途备注注油枪取放头X轴注射器滑块、滑轨酒精清洁IPA清洁无尘擦布清洁无棉絮的布4-3、 模块对照表序号模块名称1BT28ABond Table2CCD46CCCD IMAGE - PICK3DE07HDIE EJECTOR4DE07J-OPTION-24针Needle Holder & Vacuum Cap5FF08IAuto Film Frame Expander6LB15C