可靠性是IGZO 实用化的最大课题

1、【IDW】可靠性是氧化物TFT实用化面临的最大课题2013/12/12        显示器相关国际会议“20th International Display Workshops（IDW'13）”（2013年12月46日，札幌会议中心）共迎来了约1150位与会者。人数虽然略少于与“Asia Display”在京都联合举办、为期4天的上届IDW（2012年），但考虑到此次的地点设在北海道，而且会期仅为3天，本届会议可以说取得了圆满成功。 表1：在“AMD（Active Matrix Displays）”会议上

2、发表的论文红字是与氧化物TFT相关的论文，绿底色是与提高氧化物TFT可靠性相关的论文，黄底色框是以应用于柔性显示器为目标的论文。另外，IGZO是InGaZnO的缩写。 （点击放大）       表1汇总了在“AMD（Active Matrix Displays）”会议上发表的论文的概要。虽说话题的中心仍是氧化物，但今年还特别设置了副标题为“Special Topics on Interest on Oxide TFT”的四场分会。七场分会中，四场的主题都是关于氧化物TFT的课题，其中两场与提高可靠性有关（表中绿框）。也就是说

3、，会议的安排反映出了业内的共识：确保可靠性是氧化物TFT实用化的首要课题。        按照国家和地区来统计这30篇论文的第一作者，结果如下： ·日本11篇 ·台湾地区6篇 ·韩国5篇 ·中国大陆地区3篇 ·欧洲地区3篇 ·美国2篇        其中，韩国的论文数量不及从前，中国大陆和台湾地区的论文数量则有所增加。

4、就在几年前，中国大陆和台湾地区的论文数量还比韩国落后了好几年。但从2013年的论文数量来看，其实力稳步增长，研发水平也在不断攀升。特别是大陆地区，论文数量在今后估计还将持续增加。 关于氧化物TFT的论文引人注目        提高氧化物TFT可靠性的分会上共有8篇论文，韩国占据了其中4篇。由此可见，无论是对量产犹豫不决的三星，还是已经开始少量量产有机EL电视、但迟迟未能拿出业务扩大战略的LG，确保氧化物TFT的可靠性都是首要课题。三星显示器建议为确保可靠性使用UV退火工艺（论文序号：AMD4-2）。LG显

5、示器也认为，通过优化退火条件，可以确保可靠性满足要求（论文序号：AMD5-4L）。        但氧化物TFT的优势在于“只需部分改造非晶硅（a-Si）TFT的生产线即可投产”，这一点受到了很高的期待，倘若“需要退火工艺”，在成本竞争力方面，难免会大幅落后于a-Si。因此，希望研究人员能实现技术突破、用尽可能简单的工艺确保足够的可靠性。        深圳市华星光电技术有限公司使用IGZO TFT试制了32英寸UHD(4K)液晶电视（

6、论文序号：AMD4-4）。布线使用铜线，一开始便将目标对准了高清电视。中国企业如今也达到了能够试制出这种先进面板的水平。        柔性显示器虽然另行开设了研讨会，但AMD中也不乏涉及柔性的论文（表中黄底色）。“氧化物+柔性”的组合俨然正在成为一种趋势。        友达光电此次的表现十分突出，共发表了三篇关于氧化物TFT的论文，分别是使用氧化物TFT背板、通过分涂蒸镀方式试制的65英寸有机EL电视（论文序号：AMD2-1），22

7、0下在塑料基板上形成的IGZO TFT（论文序号：AMD2-3），采用涂布工艺制成的IGZO TFT（论文序号：AMD5-2）。还有一篇论文是关于512ppi窄边框低温多晶硅（LTPS）TFT液晶面板（论文序号：6-4L）。 柔性和触摸相关研讨会盛况空前        除了AMD，在其他研讨会上，与柔性和触摸面板相关的内容也比比皆是。村田制作所发布了使用高透明度压电薄膜的传感器器件（论文序号：INP1-2）。该薄膜能够检测出弯曲和扭曲，通过结合已有的静电容量式传感器，有望催生出崭新的应用。如果嵌入柔性显示器中，或许可以实现许多有趣的操作。比如，安装在“Wii Fit”（任天堂的游戏软件）的可穿戴输入系统中，就能让全家人玩得尽兴，而且，如果能通过握拍的方式来区分抽击和旋转球，网球游戏或许还能更加真实。        展板会议上还有不少关于三维（3D）显示器和触摸面板的论文，令笔者大饱眼福。笔者心中不禁感慨：尚未投入实用的技术萌芽竟然如此之多。对于关系到用户接口的技术，在展板会议上发表或许更加简明易懂。