无尘室管制计划

1、附件C无尘室管制方案一、工业用无尘室管理需求无尘室的建设工程除了控制污染的重大目的外，还必须达成一般空调设备需要的室内环境所无可比拟的严格要求。其要素为温湿度条件、气流控制、噪音、振动对策等。另外，无尘室设备与制品的制造设备直接连结，直接影响制品的品质，因此必须提供能够柔性对应控制制程相关设备 (局部排气、生产冷却水等) 或、注重品质、变更生产线 (除尘区域的扩大与缩小、热源与诸设备的增强等) 的设备 (表1-1、表1-2)。半导体生产用无尘室所代表的工业用无尘室中，由于制造装置的电气使用量或排气风量非常大，因此热处理设备、送风设备、排气处理设备极大型化且复杂化，是一般大楼空调设备容量的数倍

2、(图1-1)。LCD (TPT) 工场0.70.93 kw/m2(600800 kcal/h、m2) 半导体工场1.162.32 kw/m2(10002000 kcal/h、m2)图1-1 无尘室工场的热负荷比率与概略模块值热负荷构造 (冷热源) 表1-1 无尘室的要求品质 (256M、IG对应之无尘室规格值例)项 目部位对象规格值备考1.清净度制成区域服务区域256Mbit1Gbit0.05m等级1(JIS等级1以下)0.05m等级0.1(JIS规定范围外)0.1m等级1000(JIS等级4)参考半导体工场道路图S1：T.T.#94062428 B-TRLaser Particle Coun

3、terCNC Counter并用2.温湿度制成区域服务区域温度湿度温度湿度230.5(空间分布) 230.2(时间变动)453232455Photo AreaS1：无规定S1：无规定3.气流制成区域服务区域形状速度倾斜角形状一方向流0.3m/s (-10%20%)14度非一方向流S1：9,37N./s12%施工调整上8度以下(绢系#80之测定值)4.过滤ULPA0.1M粒子99.9999%以上(风速：0.35m/s)测试粒子使用二氧化硅粒子5.噪音全域65Db(A)以下(无设置消音材时)6.振动振域0.2并且0.2Gal(1100Hz(p-p)(暂定标准1G)7.静电地皮面漏电抵抗105109

4、奥姆(末规定Wafer上之静电压)8.磁场交流磁场变动值1mG以下1mG(gauss)=0.1uT(tesla)S2：N. T. R. S. 0.5mG以下9.分子状污染物质Photolithograph氧化形成接触胺有机物dopant酸dopant酸有机物1.0ppb以下(Wafer环境)1.0ppb0.1ppt0.18ppb1.0ppb5ppt2ppbS3：T. T. #95052812 A-TR注 S1：Technology Transfer 9406428 B-TR (SEMATECH) S2：THE NATIONAL TECHNOLOGY ROADMAP FOR SEMICONDUC

5、TORS(SIA) S3：Technology Transfer 95052812 A-TR(SEMATECH)表1-2 无尘室建设要求事项高机能高品质Quality 室内环境(温度、湿度、气流等) Flexibility 高清静空间(Particle/Chemical Free)经济性Cost 基本成本 运转成本 维修成本安全性Safety Fare Safe 预防二次灾害 防震、耐震对策环境安全Environment 资源回收之推进 节约能源 地球环境保全(臭氧层破坏，ISO)保守管理Maintenance 构筑免维修系统 机器简易操作配置短工期Derive 采用机械化工法 单元化、模块化

6、下省力化工法之推进基于以上各点，无尘室的施工管理不只在于管理无尘室中细微尘埃，更要同时以基础技术检讨解决大量化设备机器、输送管、配管所造成的应力、伸缩、膨胀等构造上问题或接续方法、支撑方法等施工面考虑或建筑构造引发的振动、噪音、Ceiling等各种问题。一般来说，在最后的试运转调整阶段后才能开始评估无尘室整体性能，因此此时所浮现施工粗糙、检讨不足所引起的各种问题，须投入大量相关人员解决改善以符合需求条件。为了避免后期引发此类无谓的浪费，前期的施工管理显得尤为重要，如表13、表14所示。表13 无尘室工事施工之注意要点特 记 事 项留 意 点1)减少输送管之外漏。合适的Seal剂 开发输送管的施

7、工法。接口、调节阀等之气密性2)选定内装、修饰方法，须满足无尘室之条件。须不易堆积垃圾。须方便清扫。经过长时间后也不会成为发尘源。须不易腐蚀。污染物须不致从排水口、下水道口入侵3)送风量、热源容量较大时。必须有防振动、噪音对策。须检讨针对大量工事量之施工材料4)须有高精确温湿度、部份必要洁净度。气流形状之确认。换气回数（适当地）之设定。照明、生产机械之配置5)滤网安装时间上注意重点。须不使破损。勿弄脏HEPA滤网下流处6) Air Balance(差压的维持)为重点。无尘室及周围污染部之隔间不致外泄。确定电气、卫生配管、设备管路贯通孔之封闭管理人员。排气多，设计变更多。无管部份多Return用

8、地下Free Access HEPA吹出用Plenum Chamber。重要地点安装差压计外气滤网、HEPA滤网需要差压之空间中。天花板中不加压7)工事完成后发生变更、修改工事情形。确保制造装置大型机材移动出入道。排气输送管，设备配管以便利接续方式配置。维修基地、进入辨法在施工时先决定8)生化实验室中进行消毒、灭菌。瓦斯熏蒸时，须有不外漏至邻接处内装及管路构造。是否可单独灭菌之隔间。洗净消毒内装面时，须有完全之漏水防止及排水（Return Grill、吹出口等）9)在作业中之工场内施工。细心假设及小心养护下方有高价之制造生产线。研究不使用火气之施工法。执行完全之作业管理守秘义务、香烟、破损等1

9、0)一般短工期。确认工程表中对各业种之施工顺序与他业种在同一工场时。工场制作品为主体时根据施工图之确认及早期配置11)使用危险化学药品或瓦斯之制造工程较多。所选用之材料是否为合适之耐久材、内装材。针对危险的瓦斯作配管材料的选定及施工方法的检讨（输送管亦同）。确认紧急时之排气、警报、避难方法12)无法忍受振动之制造工程。半导体工场之蚀刻工程，特别对露光装置须有高度之除震对策。光学检查、测定器、显微镜作业等13)工事各阶段中必须有之特别污染防治对策。输送管端口之养护。管线活门之清扫、管理。针对易扬尘作业之对策表14 无尘室建设之要求事项清净度开口端、尾端疏于养护导至尘埃附着 (输送管尾端、供给单元

10、开口等)滤网安装不良，因此破损外泄气体供给输送管系统因封闭不良引起外泄 (Frunge、Revet、Packing等)地下Return Plenum因气流障碍导致横流、上吹现象错误选定无尘室中机材 (劣化、磨损、静电等)室压调整不良所引起之压力逆转现象系统压力损失过大所引起之风向不足噪音振动输送管、管线因支撑不良所引起之振动传播输送管内因风速、合流、分岐不良引起之振动、气穴现象不合适或选择不当之振震机材 (共振、笛音、振动传播等)急扩大、急缩小所产生水切音、风切音、动脉音温度湿度选择不合适控制方法所引起的变形(蒸气、冷水)由Sensor安装位置不良所引起之误指示、误动作供给Plenum、回流P

11、lenum内封闭不良 (外气流入所引起湿度异常等)气流压力供给Plenum等因形状不良引起过大动能压力感应器安装位置不良(耐末压力不足、风量不足)室内气流偏流、横流(吹出口、吸入口不良)室内压异常所引起之内装材破损(差压Damper不良等)BCR相关福尔马林熏蒸臭气外泄 (输送管系统、输送管系统施工不良(seal)等)交差污染导致对实验动物之恶影响 (不合适之室内压、气流、相关支持等)二、施工管理阶段与管理项目(1) 无尘室施工管理要点 无尘室施工管理项目中最重要项目为微尘污染防止对策。施工时是否有采取有效污染防止对策将左右往后无尘室各作业或生产产品良率。特别是近年来，除粒子污染外更有扩大化的

12、化学污染问题，故施工阶段的管理则更为重要。 为有效实施污染防止管理，对人，也就是包含施工管理者在内的施工者的教育及意识传达不可或缺。在建设的基础工事各阶段，无尘室内部细部修饰阶段、试运转调整的全部工程中，须确实管理指导参与无尘室建设作业全员对污染防制形成一致概念。在进入无尘室建设区域时，以空气喷枪从鞋上吹落纸屑、砂粒及统一作业用制服等虽为无尘室中不可或缺的清洁作业，但如能提高作业者的防污染意识则为很有效的手段。无尘室施工管理流程如图15所示。(2) 无尘室工事施工时的污染防止对策无尘室施工时的污染防止对策代表项目如下所示：输送管、配管、机器、机材等开口端关闭保养或搬入时清扫防止无尘室因室内送风

13、加压引起的尘埃入侵防止无尘室室内的空调引起作业员发汗去除搬入前室等配置时引起所搬入资材上附着的尘埃指定进入室内外鞋交换作业或作业服装上述几点，虽是施工时污染控制上非常重要的措施，但最重要的还是直接参与无尘室建设的作业人员及环境的管理对策。(3) 无尘室施工阶段的管理要领无尘室建设各阶段中对作业者之教育管理要领如下例解说。表15无尘室施工管理流程教育入场者，建立观念勿携带脏污物品入内注意材料彻底清洁原则第一阶段出入口规制4处重发尘作业终止配置区分(配置)第二阶段出入口规制2处搬入材料捆包、清扫内部配置区分(配置)作业服统一第三阶段出入口1处搬入处前路线洁净浴专用服简易洁净衬杉 第四阶段外调机运转

14、喷气浴搬入室洁净浴专用服第五阶段全体运转主体施工时(1)勿带入尘埃 材料适时知量地搬入，并随时彻底清出无用的废弃材料 规定材料仓储地点、方法、设施(防止材料脏污，不曝露于风雨中)(2)迅速除去尘埃 作业终止时彻底清扫及整体清扫 施工区域内暂设厕所区域(3)无尘室中作业员进行教育训练 12/12主体工事完工后(1) 勿带入尘埃 限定外部入口数，换鞋用鞋柜、鞋的准备(2) 迅速清除尘埃，勿使其堆积 彻底清扫方法、清扫规则 清洁区域设置机材、铁材的清扫，事前补修彻底(防止水分附着引起生锈)(3) 无尘室中作业员教育训练实施 无尘室设施的说明(性能及机能) 清净度、化学污染相关知识 确认无尘室中动线(

15、人、机材) 室内清扫要领 紧急避难方法、安全对策内装修饰施工时(1) 人员进入不得带入尘埃 地板涂布、长尺Sheet部入室规制及限制 无尘室入室用粘着垫的设置 无尘室内作业服的指定(2) 迅速清除尘埃，勿使堆积 中央清净机的设置(3) 无尘室中作业员教育训练教育内容补充 无尘服类穿脱及入场顺序 无尘室内动线(人机材)的确认及携入机材的清扫，作业方法的规制 紧急时避难方法、安全对策、作业顺序(4) 外调机等本设机材、假设机材的无尘室内加压及假设空调的实施(5) 防止尘埃侵入，防止人体发汗，半洁净化作业之实施HEPA滤网安装时(1) 不得带入尘埃 作业服装为穿无尘服、鞋、手套、面具(2) 迅速清除

16、尘埃，不得堆积 用无尘纸、托把使用纯水擦拭内部构成部材(天花板横梁、面板、进出楼层等)(2) 无尘室中作业员教育训练，教育内容补充 入室者的限定及登记 作业场所、作业时间的事前进入许可申请 出入场管理，警备室的配置 发尘作业的限定及事前许可申请无尘室全体运转(1) 不得带入尘埃 无尘室内服装的统一规制(客户管理要领) 携入机材、书籍薄(夹)板化(2) 迅速清除尘埃，勿使堆积 发尘作业区隔化 以中央清净机随时清扫(3) 无尘室中作业员教育训练 作业安全、机材防护、确保性能维持、机密保持的再确认 更严格持有及携入机材规则 入场者的事前登录及平时识别表的明示以上，虽以尘埃及化学污染防止为主所提出的施

17、工阶段管理项目，但除此之外，温湿度、气流、压力等品质相关之管理也不可遗忘。三、完工前的施工管理与试运转调整(1) 完工前的施工管理无尘室建设现场直至完工前，由许多业者、许多人员入场进行工作，因此，常有许多不熟悉现场规则，或工事经验不足人员入场。并且，作业场所或时间，因为须配合其它相关工事或试运转事前作业准备，机器的进入通道或作业员的入退室、室内动线就随之频繁变动了。换言之，完工前现场有许许多多造成事故、阻碍的潜在因素，而事故一旦发生就产生很大的影响，对往后等待进行的试运转、生产线运转有极大障碍。为防止阻碍、事故发生，须细心实行以下相关措施。A无尘室内作业的入场教育 以无尘室来说，具某程度运转状

18、态，且因制造装置关连业者也在场，要求作业安全、机器保护、性能维持机密保持的确立。 机密保持再确认及教育 电气、瓦斯、药品等之危险性及阻碍发生时的应对教育 入场者事前登录制度等的彻底执行B无尘室内作业规则 作业者、作业场所、作业时间的事前报告及许可制 入场者的Card管理及识别卡常备 无尘服、鞋的管理 入场、退场管理，警备员的配置 前室中以纯水再清扫搬入物 机器运转管理者的限定及职责 试运转调整事项的明示及责任者的公布 紧急连络时，指挥中心的确立(2) 试运转前之确认及试运关于试运转调整项目及实施时期如表16所示表1-6评价试验项目层流形无尘室非层流形无尘室As-builtAt-restAs-builtAt-rest1滤网泄漏测试0 0 2清净度000 3气流速度及均匀性0根据协议 4气流平行性0 5风量0 0 6温湿度00007噪音0 0 8振动0根据协议0 9室压0000试运转前的最终确认事项及试运转调整的顺序如图13所示。此外，试运转调整时之阻碍及其原因、对应方法则如表17所示。表17试运转调整时的事故、原因、对策事故的现象原因对策无尘室内墙破损1.室内给排气平衡异常2.排气端未风管开放3.循环空调维修门开放4.送风端的运转异常1.运转前的确认，、操作部的固定等2.开放禁止标示3.实施计划性的手动运转程序（暂不采全自动化控制