微波等离子体学习小结

1、微波等离子体技术 -学习汇报背景介绍背景介绍010203Contents理论基础理论基础应用现状应用现状微波等离子体技术010102020303背景介绍 1 1 背景介绍背景介绍 微波等离子体特点：电子温度高 5eV15eV产生气体范围宽大气压强 10-6Torr 1 1 背景介绍背景介绍 方案方案特点特点直流放电直流放电有极放电，密度低，电离度低，有极放电，密度低，电离度低，运行气压高运行气压高射频放电射频放电无极放电，密度与电离度有所无极放电，密度与电离度有所提高，但应用范围受限提高，但应用范围受限微波放电微波放电等离子体为介电媒质，电磁辐等离子体为介电媒质，电磁辐射与等离子体为集体相互作

2、用射与等离子体为集体相互作用 现有放电技术现有放电技术微波等离子体技术010102020303理论基础 2 2 理论基础理论基础 气体的微波击穿气体的微波击穿1 12 23 34 4微波传输系统中传输功率与模式场的关系微波传输系统中传输功率与模式场的关系 微波激励气体放电的电子速度分布函数微波激励气体放电的电子速度分布函数微波电子回旋激励系统中气体放电的击穿条件微波电子回旋激励系统中气体放电的击穿条件微波电子回旋激励系统中的放电击穿功率微波电子回旋激励系统中的放电击穿功率5 5微波放电的击穿电场微波放电的击穿电场6 6微波放电能量馈入结构的要求微波放电能量馈入结构的要求 2 2 理论基础理论基

3、础 微波等离子体的反应器结构微波等离子体的反应器结构波导波导耦合耦合型型 圆柱圆柱谐振腔谐振腔型型 ECR(电子回旋谐振电子回旋谐振)型型 2 2 理论基础理论基础 微波等离子体的反应器结构微波等离子体的反应器结构波导波导耦合型耦合型微波等离子体技术010102020303应用现状微波等离子灯光通量 光强 亮度 照度 光效 色温 相关色温 显色指数利用频率为2459MHz电磁能量电磁能量来激励硫粉等发光物质，使其在石英泡壳中形成等离子等离子体体并发光的无极放电灯。无极放电灯。微波等离子灯改变附加填充物对某一性能的改变（激励硫粉发光）改变附加填充物对某一性能的改变（激励硫粉发光）（1）氪氪85

4、提高灯泡的启动性能（2）NaI等物质等物质 改变硫灯相关色温（3）低电离势物质低电离势物质 提高光色的空间均匀性，熄灭特性，起 辉可靠性等（4）氙气氙气 提高光效（同时加少量氩气，提高启动性能）（5）氖气，少量氩气氖气，少量氩气 降低放电电压，缩短启动时间改变改变主要发光物质主要发光物质（1）InBr (溴化铟溴化铟) 更接近太阳光谱，显色指数95，光效高于100lm/W（2）SnBr2(二溴化锡二溴化锡)，汞为辅助填充物，缓冲气体氩气配套光具配套光具 反光罩与导光管反光罩与导光管微波等离子灯理论基础理论基础（1 1）发光）发光原理原理硫硫在高温下主要以在高温下主要以S S（2 2）等离子体灯发光系统的光谱自吸收理论）等离子体灯发光系统的光谱自吸收理论（3 3）等离子体发光系统扩散控制的击穿机理）等离子体发光系统扩散控制的击穿机理（4 4）微波等离子灯热状况理论）微波等离子灯热状况理论分析分析微波等离子灯 国内国内研究现状研究现状： 微波微波等离子体等离子体灯并没有真正推广灯并没有真正推广原因原因（1 1）没有真