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文档简介

1、被测被测对象对象检测检测器件器件4TMMRmsGAMU0 透过率透过率调制系统调制系统的透过率的透过率光电器光电器件的件的灵敏度灵敏度电路电路转换转换系数系数放大放大器的器的放大放大倍数倍数光电光电变换变换系数系数发射率发射率斯忒藩斯忒藩- -玻尔兹曼常数玻尔兹曼常数40RTU被被测测对对象象检测检测器件器件dve0DRU00入射到介入射到介质表面的质表面的光通量光通量物质的物质的浓度浓度表示溶液和气表示溶液和气体对光的吸收体对光的吸收性质性质透过透过率率介质的厚度介质的厚度光电变光电变换系数换系数BRrrEU210疵病疵病信号信号电压电压被测被测表面表面的照的照度度正品正品表面表面的反的反射

2、率射率疵病表疵病表面的反面的反射率射率光电接收器件有光电接收器件有效视场内疵病所效视场内疵病所占地面积占地面积光电转换光电转换系数系数lEbRU0输出位移输出位移量的信号量的信号电压电压被测表面被测表面的照度的照度光敏面的宽度光敏面的宽度或高度或高度物体遮挡光物体遮挡光的位移量的位移量光学光学变换变换信息信息信息信息调制器调制器解调器解调器信息信息边缘检测边缘检测脉宽测量脉宽测量输出显示输出显示扫描器扫描器接收器接收器滤光片滤光片F透镜透镜激光器激光器带有多面反射镜的电机带有多面反射镜的电机反射镜反射镜物体物体聚光镜聚光镜光电光电元件元件放放大大器器处理器处理器典型的激光扫描测量系统典型的激光

3、扫描测量系统DD多多面面反反光光镜镜NTFD2透镜透镜焦距焦距时钟周时钟周期期时钟脉冲计数器时钟脉冲计数器记录的脉冲数记录的脉冲数ZZ, Z = 2Z ( (二次成像二次成像），），其中其中=f / Z0+Z -ZZ0f +Z/ / -Z/ /IxabcabcEZd cba1C图图点光源点光源1 1被测物被测物3成像镜头成像镜头2 2 是一种三角测量的是一种三角测量的轴向位移轴向位移测量方法。测量方法。 当将光束照射到被测物体时，用成像物镜从当将光束照射到被测物体时，用成像物镜从另外的角度对物体上的光点位置成像，通过另外的角度对物体上的光点位置成像，通过三角三角测量测量关系可以计算出物面的关系

4、可以计算出物面的轴向偏移大小轴向偏移大小。 此法在几毫米到几米的距离内可实现高精度此法在几毫米到几米的距离内可实现高精度测量。在工业上常应用在测量。在工业上常应用在离面位移离面位移的测量中的测量中 设设被测物表面偏移被测物表面偏移Z Z 时时，照明光点由，照明光点由O O1 1移移到到O O2 2，相应像点由，相应像点由P1P1移到移到P2P2，则，则l像点偏移量：像点偏移量：A= P1 P2= Z sinl被测物偏移：被测物偏移：Z =A/(sin)= A/() ( (当当 角很小时角很小时）O1O2MP1P2激光器激光器聚光器聚光器成像物镜成像物镜驱动电路驱动电路半导体半导体激光器激光器聚光聚光透镜透镜成像聚光镜成像聚光镜光学光学滤光滤光片片PSD器件器件放大器放大器模拟开关模拟开关取样放

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