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文档简介

能量分析器: 是谱仪的核心部分，用以精确测定电子结合能。能量分析器:有半球或筒镜分析器。位置灵敏探测器：一种高效探测器，可用于小面积XPS。 E k=h-E b- 式中E k为光电子动能，h 为激发光能量，E b是固体中电子结合能，为逸出功 不同温度处理后不同温度处理后Pd- SnO2Pd- SnO2薄膜中元素组成薄膜中元素组成 不同温度下不同温度下SnO2SnO2和和Pd- SnO2Pd- SnO2膜特征峰膜特征峰SnSn3d5/23d5/2的结合能的结合能 TiO2/ SnO2TiO2/ SnO2复合薄膜表面化学组成及相对含量复合薄膜表面化学组成及相对含量 TiO2/ SnO2TiO2/ SnO2复合薄膜表面复合薄膜表面3#3#样品的样品的XPSXPS高分辨图谱高分辨图谱 及及C1sC1s测试数据测试数据溅射前后薄膜表面的溅射前后薄膜表面的T2PT2P图谱图谱复合薄膜表面复合薄膜表面ArAr+ +溅射溅射300s300s后的后的Ti2pTi2p图谱及图谱及Ti2pTi2p测试数据测试数据TiO2/SnO2TiO2/SnO2复合薄膜复合薄膜3#3#样品的样品的O1sO1s图谱图谱TiO2/SnO2TiO2/S

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