延安机械设备项目可行性研究报告

1、泓域咨询/延安机械设备项目可行性研究报告报告说明随着国际上高端量产芯片从14nm-10nm阶段向7nm、5nm甚至更小的方向发展，当前市场普遍使用的沉浸式光刻机受光波长的限制，关键尺寸无法满足要求，必须采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸，使得刻蚀技术及相关设备的重要性进一步提升。根据谨慎财务估算，项目总投资40981.18万元，其中：建设投资31849.07万元，占项目总投资的77.72%；建设期利息401.74万元，占项目总投资的0.98%；流动资金8730.37万元，占项目总投资的21.30%。项目正常运营每年营业收入79900.00万元，综合总成本费用62017.61万元，净利

2、润13083.88万元，财务内部收益率24.42%，财务净现值28771.78万元，全部投资回收期5.30年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。通过分析，该项目经济效益和社会效益良好。从发展来看公司将面向市场调整产品结构，改变工艺条件以高附加值的产品代替目前产品的产业结构。本报告基于可信的公开资料，参考行业研究模型，旨在对项目进行合理的逻辑分析研究。本报告仅作为投资参考或作为参考范文模板用途。目录 TOC o 1-3 h z u HYPERLINK l _Toc108560952 第一章 总论 PAGEREF _Toc108560952 h 8 HYPERLIN

3、K l _Toc108560953 一、 项目名称及项目单位 PAGEREF _Toc108560953 h 8 HYPERLINK l _Toc108560954 二、 项目建设地点 PAGEREF _Toc108560954 h 8 HYPERLINK l _Toc108560955 三、 可行性研究范围 PAGEREF _Toc108560955 h 8 HYPERLINK l _Toc108560956 四、 编制依据和技术原则 PAGEREF _Toc108560956 h 9 HYPERLINK l _Toc108560957 五、 建设背景、规模 PAGEREF _Toc1085

4、60957 h 10 HYPERLINK l _Toc108560958 六、 项目建设进度 PAGEREF _Toc108560958 h 11 HYPERLINK l _Toc108560959 七、 环境影响 PAGEREF _Toc108560959 h 11 HYPERLINK l _Toc108560960 八、 建设投资估算 PAGEREF _Toc108560960 h 12 HYPERLINK l _Toc108560961 九、 项目主要技术经济指标 PAGEREF _Toc108560961 h 12 HYPERLINK l _Toc108560962 主要经济指标一览表

5、 PAGEREF _Toc108560962 h 12 HYPERLINK l _Toc108560963 十、 主要结论及建议 PAGEREF _Toc108560963 h 14 HYPERLINK l _Toc108560964 第二章 项目建设背景及必要性分析 PAGEREF _Toc108560964 h 15 HYPERLINK l _Toc108560965 一、 等离子体刻蚀面临的问题 PAGEREF _Toc108560965 h 15 HYPERLINK l _Toc108560966 二、 高密度等离子体刻蚀 PAGEREF _Toc108560966 h 15 HYPE

6、RLINK l _Toc108560967 三、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 PAGEREF _Toc108560967 h 17 HYPERLINK l _Toc108560968 四、 深入实施创新驱动发展战略 PAGEREF _Toc108560968 h 18 HYPERLINK l _Toc108560969 第三章 市场分析 PAGEREF _Toc108560969 h 21 HYPERLINK l _Toc108560970 一、 离子束刻蚀 PAGEREF _Toc108560970 h 21 HYPERLINK l _Toc108560971 二、 原子层刻蚀为未来技术发

7、展方向 PAGEREF _Toc108560971 h 21 HYPERLINK l _Toc108560972 三、 反应离子刻蚀 PAGEREF _Toc108560972 h 24 HYPERLINK l _Toc108560973 第四章 建筑工程技术方案 PAGEREF _Toc108560973 h 26 HYPERLINK l _Toc108560974 一、 项目工程设计总体要求 PAGEREF _Toc108560974 h 26 HYPERLINK l _Toc108560975 二、 建设方案 PAGEREF _Toc108560975 h 27 HYPERLINK l

8、_Toc108560976 三、 建筑工程建设指标 PAGEREF _Toc108560976 h 28 HYPERLINK l _Toc108560977 建筑工程投资一览表 PAGEREF _Toc108560977 h 28 HYPERLINK l _Toc108560978 第五章 项目选址可行性分析 PAGEREF _Toc108560978 h 30 HYPERLINK l _Toc108560979 一、 项目选址原则 PAGEREF _Toc108560979 h 30 HYPERLINK l _Toc108560980 二、 建设区基本情况 PAGEREF _Toc10856

9、0980 h 30 HYPERLINK l _Toc108560981 三、 扩大有效投资 PAGEREF _Toc108560981 h 32 HYPERLINK l _Toc108560982 四、 项目选址综合评价 PAGEREF _Toc108560982 h 32 HYPERLINK l _Toc108560983 第六章 SWOT分析 PAGEREF _Toc108560983 h 34 HYPERLINK l _Toc108560984 一、 优势分析（S） PAGEREF _Toc108560984 h 34 HYPERLINK l _Toc108560985 二、 劣势分析（

10、W） PAGEREF _Toc108560985 h 35 HYPERLINK l _Toc108560986 三、 机会分析（O） PAGEREF _Toc108560986 h 36 HYPERLINK l _Toc108560987 四、 威胁分析（T） PAGEREF _Toc108560987 h 36 HYPERLINK l _Toc108560988 第七章 发展规划 PAGEREF _Toc108560988 h 40 HYPERLINK l _Toc108560989 一、 公司发展规划 PAGEREF _Toc108560989 h 40 HYPERLINK l _Toc1

11、08560990 二、 保障措施 PAGEREF _Toc108560990 h 41 HYPERLINK l _Toc108560991 第八章 运营模式 PAGEREF _Toc108560991 h 43 HYPERLINK l _Toc108560992 一、 公司经营宗旨 PAGEREF _Toc108560992 h 43 HYPERLINK l _Toc108560993 二、 公司的目标、主要职责 PAGEREF _Toc108560993 h 43 HYPERLINK l _Toc108560994 三、 各部门职责及权限 PAGEREF _Toc108560994 h 44

12、 HYPERLINK l _Toc108560995 四、 财务会计制度 PAGEREF _Toc108560995 h 47 HYPERLINK l _Toc108560996 第九章 技术方案 PAGEREF _Toc108560996 h 53 HYPERLINK l _Toc108560997 一、 企业技术研发分析 PAGEREF _Toc108560997 h 53 HYPERLINK l _Toc108560998 二、 项目技术工艺分析 PAGEREF _Toc108560998 h 55 HYPERLINK l _Toc108560999 三、 质量管理 PAGEREF _T

13、oc108560999 h 56 HYPERLINK l _Toc108561000 四、 设备选型方案 PAGEREF _Toc108561000 h 57 HYPERLINK l _Toc108561001 主要设备购置一览表 PAGEREF _Toc108561001 h 58 HYPERLINK l _Toc108561002 第十章 原辅材料供应 PAGEREF _Toc108561002 h 60 HYPERLINK l _Toc108561003 一、 项目建设期原辅材料供应情况 PAGEREF _Toc108561003 h 60 HYPERLINK l _Toc1085610

14、04 二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理 PAGEREF _Toc108561004 h 60 HYPERLINK l _Toc108561005 第十一章 节能方案 PAGEREF _Toc108561005 h 62 HYPERLINK l _Toc108561006 一、 项目节能概述 PAGEREF _Toc108561006 h 62 HYPERLINK l _Toc108561007 二、 能源消费种类和数量分析 PAGEREF _Toc108561007 h 63 HYPERLINK l _Toc108561008 能耗分析一览表 PAGEREF _Toc108561008

15、h 64 HYPERLINK l _Toc108561009 三、 项目节能措施 PAGEREF _Toc108561009 h 64 HYPERLINK l _Toc108561010 四、 节能综合评价 PAGEREF _Toc108561010 h 66 HYPERLINK l _Toc108561011 第十二章 人力资源配置 PAGEREF _Toc108561011 h 67 HYPERLINK l _Toc108561012 一、 人力资源配置 PAGEREF _Toc108561012 h 67 HYPERLINK l _Toc108561013 劳动定员一览表 PAGEREF

16、 _Toc108561013 h 67 HYPERLINK l _Toc108561014 二、 员工技能培训 PAGEREF _Toc108561014 h 67 HYPERLINK l _Toc108561015 第十三章 进度计划方案 PAGEREF _Toc108561015 h 70 HYPERLINK l _Toc108561016 一、 项目进度安排 PAGEREF _Toc108561016 h 70 HYPERLINK l _Toc108561017 项目实施进度计划一览表 PAGEREF _Toc108561017 h 70 HYPERLINK l _Toc10856101

17、8 二、 项目实施保障措施 PAGEREF _Toc108561018 h 71 HYPERLINK l _Toc108561019 第十四章 投资方案分析 PAGEREF _Toc108561019 h 72 HYPERLINK l _Toc108561020 一、 投资估算的编制说明 PAGEREF _Toc108561020 h 72 HYPERLINK l _Toc108561021 二、 建设投资估算 PAGEREF _Toc108561021 h 72 HYPERLINK l _Toc108561022 建设投资估算表 PAGEREF _Toc108561022 h 74 HYPE

18、RLINK l _Toc108561023 三、 建设期利息 PAGEREF _Toc108561023 h 74 HYPERLINK l _Toc108561024 建设期利息估算表 PAGEREF _Toc108561024 h 75 HYPERLINK l _Toc108561025 四、 流动资金 PAGEREF _Toc108561025 h 76 HYPERLINK l _Toc108561026 流动资金估算表 PAGEREF _Toc108561026 h 76 HYPERLINK l _Toc108561027 五、 项目总投资 PAGEREF _Toc108561027 h

19、 77 HYPERLINK l _Toc108561028 总投资及构成一览表 PAGEREF _Toc108561028 h 77 HYPERLINK l _Toc108561029 六、 资金筹措与投资计划 PAGEREF _Toc108561029 h 78 HYPERLINK l _Toc108561030 项目投资计划与资金筹措一览表 PAGEREF _Toc108561030 h 79 HYPERLINK l _Toc108561031 第十五章 经济效益分析 PAGEREF _Toc108561031 h 81 HYPERLINK l _Toc108561032 一、 基本假设及

20、基础参数选取 PAGEREF _Toc108561032 h 81 HYPERLINK l _Toc108561033 二、 经济评价财务测算 PAGEREF _Toc108561033 h 81 HYPERLINK l _Toc108561034 营业收入、税金及附加和增值税估算表 PAGEREF _Toc108561034 h 81 HYPERLINK l _Toc108561035 综合总成本费用估算表 PAGEREF _Toc108561035 h 83 HYPERLINK l _Toc108561036 利润及利润分配表 PAGEREF _Toc108561036 h 85 HYPE

21、RLINK l _Toc108561037 三、 项目盈利能力分析 PAGEREF _Toc108561037 h 86 HYPERLINK l _Toc108561038 项目投资现金流量表 PAGEREF _Toc108561038 h 87 HYPERLINK l _Toc108561039 四、 财务生存能力分析 PAGEREF _Toc108561039 h 89 HYPERLINK l _Toc108561040 五、 偿债能力分析 PAGEREF _Toc108561040 h 89 HYPERLINK l _Toc108561041 借款还本付息计划表 PAGEREF _Toc

22、108561041 h 90 HYPERLINK l _Toc108561042 六、 经济评价结论 PAGEREF _Toc108561042 h 91 HYPERLINK l _Toc108561043 第十六章 项目招标方案 PAGEREF _Toc108561043 h 92 HYPERLINK l _Toc108561044 一、 项目招标依据 PAGEREF _Toc108561044 h 92 HYPERLINK l _Toc108561045 二、 项目招标范围 PAGEREF _Toc108561045 h 92 HYPERLINK l _Toc108561046 三、 招标

23、要求 PAGEREF _Toc108561046 h 93 HYPERLINK l _Toc108561047 四、 招标组织方式 PAGEREF _Toc108561047 h 95 HYPERLINK l _Toc108561048 五、 招标信息发布 PAGEREF _Toc108561048 h 95 HYPERLINK l _Toc108561049 第十七章 风险评估分析 PAGEREF _Toc108561049 h 97 HYPERLINK l _Toc108561050 一、 项目风险分析 PAGEREF _Toc108561050 h 97 HYPERLINK l _Toc

24、108561051 二、 项目风险对策 PAGEREF _Toc108561051 h 99 HYPERLINK l _Toc108561052 第十八章 总结 PAGEREF _Toc108561052 h 102 HYPERLINK l _Toc108561053 第十九章 附表附件 PAGEREF _Toc108561053 h 104 HYPERLINK l _Toc108561054 建设投资估算表 PAGEREF _Toc108561054 h 104 HYPERLINK l _Toc108561055 建设期利息估算表 PAGEREF _Toc108561055 h 104 HY

25、PERLINK l _Toc108561056 固定资产投资估算表 PAGEREF _Toc108561056 h 105 HYPERLINK l _Toc108561057 流动资金估算表 PAGEREF _Toc108561057 h 106 HYPERLINK l _Toc108561058 总投资及构成一览表 PAGEREF _Toc108561058 h 107 HYPERLINK l _Toc108561059 项目投资计划与资金筹措一览表 PAGEREF _Toc108561059 h 108 HYPERLINK l _Toc108561060 营业收入、税金及附加和增值税估算表

26、 PAGEREF _Toc108561060 h 109 HYPERLINK l _Toc108561061 综合总成本费用估算表 PAGEREF _Toc108561061 h 110 HYPERLINK l _Toc108561062 固定资产折旧费估算表 PAGEREF _Toc108561062 h 111 HYPERLINK l _Toc108561063 无形资产和其他资产摊销估算表 PAGEREF _Toc108561063 h 112 HYPERLINK l _Toc108561064 利润及利润分配表 PAGEREF _Toc108561064 h 112 HYPERLINK

27、 l _Toc108561065 项目投资现金流量表 PAGEREF _Toc108561065 h 113总论项目名称及项目单位项目名称：延安机械设备项目项目单位：xxx（集团）有限公司项目建设地点本期项目选址位于xx（以选址意见书为准），占地面积约95.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。可行性研究范围依据国家产业发展政策和有关部门的行业发展规划以及项目承办单位的实际情况，按照项目的建设要求，对项目的实施在技术、经济、社会和环境保护等领域的科学性、合理性和可行性进行研究论证。研究、分析和预测国内外市场供需情况与建设

28、规模，并提出主要技术经济指标，对项目能否实施做出一个比较科学的评价，其主要内容包括如下几个方面:1、确定建设条件与项目选址。2、确定企业组织机构及劳动定员。3、项目实施进度建议。4、分析技术、经济、投资估算和资金筹措情况。5、预测项目的经济效益和社会效益及国民经济评价。编制依据和技术原则（一）编制依据1、本期工程的项目建议书。2、相关部门对本期工程项目建议书的批复。3、项目建设地相关产业发展规划。4、项目承办单位可行性研究报告的委托书。5、项目承办单位提供的其他有关资料。（二）技术原则1、政策符合性原则：报告的内容应符合国家产业政策、技术政策和行业规划。2、循环经济原则：树立和落实科学发展观、

29、构建节约型社会。以当地的资源优势为基础，通过对本项目的工艺技术方案、产品方案、建设规模进行合理规划，提高资源利用率，减少生产过程的资源和能源消耗延长生产技术链，减少生产过程的污染排放，走出一条有市场、科技含量高、经济效益好、资源消耗低、环境污染少、资源优势得到充分发挥的新型工业化路子，实现可持续发展。3、工艺先进性原则：按照“工艺先进、技术成熟、装置可靠、经济运行合理”的原则，积极应用当今的各项先进工艺技术、环境技术和安全技术，能耗低、三废排放少、产品质量好、经济效益明显。4、提高劳动生产率原则：近一步提高信息化水平，切实达到提高产品的质量、降低成本、减轻工人劳动强度、降低工厂定员、保证安全生

30、产、提高劳动生产率的目的。5、产品差异化原则：认真分析市场需求、了解市场的区域性差别、针对产品的差异化要求、区异化的特点，来设计不同品种、不同的规格、不同质量的产品以满足不同用户的不同要求，以此来扩大市场占有率，寻求经济效益最大化，提高企业在国内外的知名度。建设背景、规模（一）项目背景以硅片上的原子层刻蚀为例，首先，氯气被导入刻蚀腔，氯气分子吸附于硅材料的表面，形成一个氯化层。这一步改性步骤具有自限制性：表面一旦饱和，反应立即停止。紧接着清楚刻蚀腔中过量的氯气，并引入氩离子。使这些离子轰击硅片，物理性去除硅-氯反应后产生的氯化层，进而留下下层未经改性的硅表面。这种去除过程仍然依靠自限制性，在氯

31、化层被全部去除后，过程中止。以上两个步骤完成后，一层极薄的材料就能被精准的从硅片上去除。半导体设备市场快速发展，刻蚀设备价值量可观（二）建设规模及产品方案该项目总占地面积63333.00（折合约95.00亩），预计场区规划总建筑面积111878.05。其中：生产工程71295.22，仓储工程20147.50，行政办公及生活服务设施13640.96，公共工程6794.37。项目建成后，形成年产xx套机械设备的生产能力。项目建设进度结合该项目建设的实际工作情况，xxx（集团）有限公司将项目工程的建设周期确定为12个月，其工作内容包括：项目前期准备、工程勘察与设计、土建工程施工、设备采购、设备安装调

32、试、试车投产等。环境影响本项目符合国家产业政策，符合宜规划要求，项目所在区域环境质量良好，项目在运营过程应严格遵守国家和地方的有关环保法规，采取切实可行的环境保护措施，各项污染物都能达标排放，将环境管理纳入日常生产管理渠道，项目正常运营对周围环境产生的影响较小，不会引起区域环境质量的改变，从环境影响角度考虑，本评价认为该项目建设是可行的。建设投资估算（一）项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资40981.18万元，其中：建设投资31849.07万元，占项目总投资的77.72%；建设期利息401.74万元，占项目总投资的0.98%；流动资

33、金8730.37万元，占项目总投资的21.30%。（二）建设投资构成本期项目建设投资31849.07万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用27565.46万元，工程建设其他费用3552.68万元，预备费730.93万元。项目主要技术经济指标（一）财务效益分析根据谨慎财务测算，项目达产后每年营业收入79900.00万元，综合总成本费用62017.61万元，纳税总额8441.95万元，净利润13083.88万元，财务内部收益率24.42%，财务净现值28771.78万元，全部投资回收期5.30年。（二）主要数据及技术指标表主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积633

34、33.00约95.00亩1.1总建筑面积111878.051.2基底面积37999.801.3投资强度万元/亩317.182总投资万元40981.182.1建设投资万元31849.072.1.1工程费用万元27565.462.1.2其他费用万元3552.682.1.3预备费万元730.932.2建设期利息万元401.742.3流动资金万元8730.373资金筹措万元40981.183.1自筹资金万元24583.833.2银行贷款万元16397.354营业收入万元79900.00正常运营年份5总成本费用万元62017.616利润总额万元17445.187净利润万元13083.888所得税万元43

35、61.309增值税万元3643.4410税金及附加万元437.2111纳税总额万元8441.9512工业增加值万元28537.4113盈亏平衡点万元28942.84产值14回收期年5.3015内部收益率24.42%所得税后16财务净现值万元28771.78所得税后主要结论及建议本项目生产线设备技术先进，即提高了产品质量，又增加了产品附加值，具有良好的社会效益和经济效益。本项目生产所需原料立足于本地资源优势，主要原材料从本地市场采购，保证了项目实施后的正常生产经营。综上所述，项目的实施将对实现节能降耗、环境保护具有重要意义，本期项目的建设，是十分必要和可行的。项目建设背景及必要性分析等离子体刻蚀

36、面临的问题随着当前先进芯片关键尺寸的不断减小以及FinFET与3DNAND等三维结构的出现，不同尺寸的结构在刻蚀中的速率差异将影响刻蚀速率，对于高深宽比的图形窗口来说，化学刻蚀剂难以进入，反应生成物难以排出。另外，薄膜堆栈一般由多层材料组成，不同材料的刻蚀速率不同，很多刻蚀工艺都要求具有极高的选择比。第三个问题在于当达到期望深度之后，等离子体中的高能离子可能会导致硅片表面粗糙或底层材料损伤。干法刻蚀通常不能提供对下一层材料足够高的刻蚀选择比。在这种情况下，一个等离子体刻蚀机应装上一个终点检测系统，使得在造成最小的过刻蚀时停止刻蚀过程。当下一层材料正好露出来时，重点检测器会触发刻蚀机控制器而停止

37、刻蚀。高密度等离子体刻蚀在先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。根据产生等离子体方法的不同，等离子体刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀（CCP）、电感性等离子体刻蚀(ICP)、电子回旋加速震荡（ECR）和双等离子体源。电子回旋加速震荡（ECR）反应器是最早商用化的高密度等离子体反应器之一，它是1984年前后日本日立公司最早研究的，第一次使用是在20世纪80年代初。它在现代硅片制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸图形的刻蚀。ECR反应器的一个关键是磁场平行于反应剂的流动方向，这使自由电子由于磁力作用做螺旋形运动。增加了电子碰撞的可能性，从而产生高密

38、度的等离子体。优点在于能产生高的各向异性刻蚀图形，缺点是设备复杂度较高。耦合等离子体刻蚀机包括电容耦合（CCP）与电感耦合（ICP），相比ECR结构简单且成本低。电容耦合等离子体刻蚀机（CCP）通过电容产生等离子体，而电感耦合等离子体刻蚀机（ICP）通过螺旋线圈产生等离子体。硅片基底为加装有低功率射频偏置发生器的电源电极，用来控制轰击硅片表面离子的能量，从而使得整个装置能够分离控制离子的能量与浓度。电容性等离子体刻蚀（CCP）主要是以高能离子在较硬的介质材料上，刻蚀高深宽比的深孔、深沟等微观结构；而电感性等离子体刻蚀（ICP）主要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的和较薄的材料。这两

39、种刻蚀设备涵盖了主要的刻蚀应用。双等离子体源刻蚀机主要由源功率单元、上腔体、下腔体和可移动电极四部分组成。这一系统中用到了两个RF功率源。位于上部的射频功率源通过电感线圈将能量传递给等离子体从而增加离子密度，但是离子浓度增加的同时离子能量也随之增加。下部加装的偏置射频电源通过电容结构能够降低轰击在硅表面离子的能量而不影响离子浓度，从而能够更好地控制刻蚀速率与选择比。干法刻蚀是芯片制造的主流技术刻蚀设备处于半导体产业链上游环节。半导体产业链的上游由为设计、制造和封测环节提供软件及知识产权、硬件设备、原材料等生产资料的核心产业组成。半导体产业链的中游可以分为半导体芯片设计环节、制造环节和封装测试环

40、节。半导体产业链的下游为半导体终端产品以及其衍生的应用、系统等。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确的复制掩模图形。刻蚀是指使用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，并保证有图形的光刻胶在刻蚀中不受到腐蚀源显著的侵蚀。常用来代表刻蚀效率的参数主要有：刻蚀速率、刻蚀剖面、刻蚀偏差和选择比等。刻蚀速率指刻蚀过程中去除硅片表面材料的速度；刻蚀剖面指的是刻蚀图形的侧壁形状，通常分为各向同性和各向异性剖面；刻蚀偏差指的是线宽或关键尺寸间距的变化，通常由横向钻蚀引起；选择比指的是同一刻蚀条件下两种材料刻蚀速率比，高选择比意味着不需要的材料会被刻除。刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀和干法刻蚀

41、，其中干法刻蚀是最主要的用来去除表面材料的刻蚀方法，湿法刻蚀主要包括化学刻蚀和电解刻蚀。由于在湿法刻蚀技术中使用液体试剂，相对于干法刻蚀，容易导致边侧形成斜坡、要求冲洗或干燥等步骤。因此干法刻蚀被普遍应用于先进制程的小特征尺寸精细刻蚀中，并在刻蚀率、微粒损伤等方面具有较大的优势。目前先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。一个等离子体刻蚀机的基本部件包括发生刻蚀反应的反应腔、产生等离子体气的射频电源、气体流量控制系统、去除生成物的真空系统。刻蚀中会用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅，氯和氟刻蚀铝，氯、氟和溴刻蚀硅，氧去除光刻胶。深入实施创

42、新驱动发展战略坚持围绕产业链部署创新链、围绕创新链布局产业链，促进科技与经济紧密结合、创新成果与产业发展密切对接，实现创新链、产业链、资金链、政策链有机融合，让创新成为驱动高质量发展的强大引擎。促进创新链与产业链深度融合。围绕产业链部署创新链，在能源采收转化能力提高、以苹果为主的农特产品种养技术和品质提升、文化旅游业态创新、服务业模式创新等领域推进技术提升、突破。围绕创新链布局产业链，深入推进重点实验室、产业创新中心、工程技术研究中心、院士工作站等高端创新载体建设，促进新技术的产业化、规模化应用，培育发展无人机、膜材料、新能源装备等高新技术产业集群。强化政府政策引导，整合全市科研经费集中投向重

43、点领域技术创新，实行科研项目“揭榜挂帅”和科研经费“包干制”等制度，推进科技计划、项目、资金等一体化配置，到2025年研发经费投入占生产总值比重达到1.5%以上。强化企业创新主体地位，推动能源骨干企业、农业龙头企业、大型文旅集团、服务业领军企业与国内外知名高等院校、科研院所、智库机构建立长期合作关系，促进产学研深度融合。建立创新型企业成长的持续推进机制和全程孵化体系，构建企业全生命周期梯度培育链条。设立离岸新型研发机构、研发创新平台、基地，支持企业牵头组建创新联合体，鼓励企业加大研发投入，集中攻克重点产业关键技术研发，衍生一批新产品和产业链，推动产业链上中下游、大中小企业融通创新，引领产业发展

44、迈向中高端。整合提升全市创新创业资源。通过政府引导、市场配置、模式创新、服务集成等方式，高标准组建延安市科技资源统筹中心，推动各县（市、区）建设科技资源统筹中心，促进全市各类科技资源共享利用。积极争取建设创新型城市和创新型县（市）。鼓励高校、医院、企业组建重点实验室、院士工作站。积极与中国西部科技创新港开展合作。发挥高新区对全市创新驱动发展的带动作用，推进新能源、新材料及储能重点实验室、工程技术中心和中试基地建设，积极争取在延设立国家未来产业技术研究院。推动全市各类园区提档升级，积极培育一批国家级、省级高新技术开发区和创业创新示范基地，支持洛川农业科技园区创建为国家级农业科技园区，到2025年

45、，省级高新技术开发区达到5个，国家级、省级创新研发平台达到18个，市级工业园区创新平台、孵化器全覆盖。充分发挥众创空间、产业技术创新战略联盟等作用，发展“创新中心+孵化器+科创企业”型创新创业体系，打造“双创”升级版。建设科技创新成果展厅，大力弘扬科学精神和工匠精神，营造崇尚创新的社会氛围。市场分析离子束刻蚀离子束刻蚀（IBE）是具有较强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。他能对小尺寸图型产生各向异性刻蚀，等离子体通常是由电感耦合RF源或微波源产生的。热灯丝发射快速运动的电子。氩原子通过扩散筛进入等离子体腔内。电磁场环绕等离子体腔，磁场使电子在圆形轨道上运动，这种循环运动是的电子与氩原子产生多次

46、碰撞，从而产生大量的正氩离子，正氩离子被从带格栅电极的等离子体源中引出并用一套校准的电极来形成高密度束流。离子束刻蚀主要用于金、铂、铜等较难刻蚀的材料。优势在于硅片可以倾斜以获取不同的侧壁形状。但也面临低选择比和低刻蚀速率的问题。原子层刻蚀为未来技术发展方向随着国际上高端量产芯片从14nm-10nm阶段向7nm、5nm甚至更小的方向发展，当前市场普遍使用的沉浸式光刻机受光波长的限制，关键尺寸无法满足要求，必须采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸，使得刻蚀技术及相关设备的重要性进一步提升。制程升级背景下，刻蚀次数显著增加。随着半导体制程的不断缩小，受光波长限制，关键尺寸无法满足要求，必须

47、采用多重模板工艺，重复多次薄膜沉积和刻蚀工序以实现更小的线宽，使得薄膜沉积和刻蚀次数显著增加以及刻蚀设备在晶圆产线中价值比率不断上升，其中20纳米工艺需要的刻蚀步骤约为50次，而10纳米工艺和7纳米工艺所需刻蚀步骤则超过100次。以硅片上的原子层刻蚀为例，首先，氯气被导入刻蚀腔，氯气分子吸附于硅材料的表面，形成一个氯化层。这一步改性步骤具有自限制性：表面一旦饱和，反应立即停止。紧接着清楚刻蚀腔中过量的氯气，并引入氩离子。使这些离子轰击硅片，物理性去除硅-氯反应后产生的氯化层，进而留下下层未经改性的硅表面。这种去除过程仍然依靠自限制性，在氯化层被全部去除后，过程中止。以上两个步骤完成后，一层极薄

48、的材料就能被精准的从硅片上去除。半导体设备市场快速发展，刻蚀设备价值量可观半导体设备市场快速发展，2022有望再创新高。随着2013年以来全球半导体行业的整体发展，半导体设备行业市场规模也实现快速增长。根据SEMI统计，2013年到2020年间，全球半导体设备销售额由320亿美元提升至712亿美元，年复合增速达到12.10%。2021年全球半导体设备市场规模突破1000亿美元，达到历史新高的1026亿美元，同比大增44。根据SEMI预测，2022年全球半导体设备市场有望再创新高，达到1140亿美元。目前全球半导体设备的市场主要由国外厂商高度垄断。根据芯智讯发布的基于各公司财报统计数据显示，在未

49、剔除FPD设备及相关服务收入、以2021年度中间汇率为基准进行计算，2021年全球前十五大半导体设备厂商中仅有一家ASMPacificTechnology来自中国香港，2021年销售额为17.39亿美元，位列榜单第14位。整体来看目前全球半导体设备市场主要被外国市场垄断。刻蚀设备投资占比不断，成为半导体产业第一大设备。先进集成电路大规模生产线的投资可达100亿美元，75%以上是半导体设备投资，其中最关键、最大宗的设备是等离子体刻蚀设备。根据SEMI的统计数据，2018年晶圆加工设备价值构成中，刻蚀、光刻、CVD设备占比分别为22.14%、21.30%、16.48%，刻蚀设备成为半导体产业第一大

50、设备。过去50年中，人类微观加工能力不断提升，从电子管计算机到现在的14纳米、7纳米器件，微观器件的基本单元面积缩小了一万亿倍。由于光的波长限制，20纳米以下微观结构的加工更多使用等离子体刻蚀和薄膜沉积的组合。集成电路芯片的制造工艺需要成百上千个步骤，其中等离子体刻蚀就需要几十到上百个步骤，是在制造过程中使用次数频多、加工过程非常复杂的重要加工技术。泛林半导体占据刻蚀设备半壁江山光刻机和刻蚀机作为产业的核心装备，占据了半导体设备投资中较大的份额。随着半导体技术进步中器件互连层数增多，介质刻蚀设备的使用量不断增大，泛林半导体利用其较低的设备成本和相对简单的设计，逐渐在65nm、45nm设备市场超

51、过TEL等企业，占据了全球大半个市场，成为行业龙头。根据Gartner的数据显示，目前全球刻蚀设备行业的龙头企业仍然为泛林半导体、东京电子和应用材料三家，从市占率情况来看，2020年三家企业的合计市场份额占到了全球刻蚀设备市场的90%以上，其中泛林半导体独占44.7%的市场份额。全球龙头持续投入，加强研发、外围并购维持竞争力。应用材料于2018年6月宣布成立材料工程技术推动中心（META中心），主要目标是加快客户获得新的芯片制造材料和工艺技术，从而在半导体性能、成本方面实现突破。泛林半导体依靠自身巨大的研发投入和强大的研发团队，自主研发核心技术，走在半导体设备的技术前沿，开创多个行业标准，如其

52、KIYO系列创造了业内最高生产力、选择比等多项记录，其ALTUSMaxE系列采用业界首款低氟钨ALD工艺，被视作钨原子层沉积的行业标杆。除此之外，泛林半导体首创ALE技术，实现了原子层级别的可变控制性和业内最高选择比。反应离子刻蚀反应离子刻蚀（RIE）是一种采用化学反应和物理离子轰击去除硅片表面材料的技术，是当前常用技术路径，属于物理和化学混合刻蚀。在传统的反应离子刻蚀机中，进入反应室的气体会被分解电离为等离子体，等离子体由反应正离子、自由基、反应原子等组成。反应正离子会轰击硅片表面形成物理刻蚀，同时被轰击的硅片表面化学活性被提高，之后硅片会与自由基和反应原子形成化学刻蚀。这个过程中由于离子轰

53、击带有方向性，RIE技术具有较好的各向异性。建筑工程技术方案项目工程设计总体要求（一）土建工程原则根据生产需要，本项目工程建设方案主要遵循如下原则：1、布局合理的原则。在平面布置上，充分利用好每寸土地，功能设施分区设置，人流、物流布置得当、有序，做到既利于生产经营，又方便交通。2、配套齐全、方便生产的原则。立足厂区现有基础条件，充分利用好现有功能设施，保证水、电供应设施齐全，厂区内外道路畅通，方便生产。在建筑结构设计，严格执行国家技术经济政策及环保、节能等有关要求。在满足工艺生产特性，设备布置安装、检修等前提下，土建设计要尽量做到技术先进、经济合理、安全适用和美观大方。建筑设计要简捷紧凑，组合

54、恰当、功能合理、方便生产、节约用地；结构设计要统一化、标准化、并因地制宜，就地取材，方便施工。（二）土建工程采用的标准为保证建筑物的质量，保证生产安全和长寿命使用，本项目建筑物严格按照相关标准进行施工建设。1、工业企业设计卫生标准2、公共建筑节能设计标准3、绿色建筑评价标准4、外墙外保温工程技术规程5、建筑照明设计标准6、建筑采光设计标准7、民用建筑电气设计规范8、民用建筑热工设计规范建设方案（一）结构方案1、设计采用的规范（1）由有关主导专业所提供的资料及要求；（2）国家及地方现行的有关建筑结构设计规范、规程及规定；（3）当地地形、地貌等自然条件。2、主要建筑物结构设计（1）车间与仓库：采用

55、现浇钢筋混凝土结构，砖砌外墙作围护结构，基础采用浅基础及地梁拉接，并在适当位置设置伸缩缝。（2）综合楼、办公楼:采用现浇钢筋砼框架结构，（二）建筑立面设计为使建筑物整体风格具有时代特征，更加具有强烈的视觉效果，更加耐人寻味、引人入胜。建筑外形设计时尽可能简洁明了，重点把握个体与部分之间的比例美与逻辑美，并注意各线、面、形之间的相互关系，充分利用方向、形体、质感、虚实等多方位的建筑处理手法。建筑工程建设指标本期项目建筑面积111878.05，其中：生产工程71295.22，仓储工程20147.50，行政办公及生活服务设施13640.96，公共工程6794.37。建筑工程投资一览表单位：、万元序号

56、工程类别占地面积建筑面积投资金额备注1生产工程22419.8871295.229657.511.11#生产车间6725.9621388.572897.251.22#生产车间5604.9717823.812414.381.33#生产车间5380.7717110.852317.801.44#生产车间4708.1714972.002028.082仓储工程8359.9620147.502342.552.11#仓库2507.996044.25702.762.22#仓库2089.995036.88585.642.33#仓库2006.394835.40562.212.44#仓库1755.594230.974

57、91.943办公生活配套2633.3913640.962138.233.1行政办公楼1711.708866.621389.853.2宿舍及食堂921.694774.34748.384公共工程4559.986794.37639.48辅助用房等5绿化工程9151.62177.75绿化率14.45%6其他工程16181.5843.307合计63333.00111878.0514998.82项目选址可行性分析项目选址原则1、符合城乡建设总体规划，应符合当地工业项目占地使用规划的要求，并与大气污染防治、水资源和自然生态保护相一致。2、项目选址应避开自然保护区、风景名胜区、生活饮用水源地和其它特别需要保护

58、的敏感性目标。3、节约土地资源，充分利用空闲地、非耕地或荒地，尽可能不占良田或少占耕地。4、项目选址选择应提供足够的场地以满足工艺及辅助生产设施的建设需要。5、项目选址应具备良好的生产基础条件，水源、电力、运输等生产要素供应充裕，能源供应有可靠的保障。6、项目选址应靠近交通主干道，具备便利的交通条件，有利于原料和产成品的运输。通讯便捷，有利于及时反馈市场信息。7、地势平缓，便于排除雨水和生产、生活废水。8、应与居民区及环境污染敏感点有足够的防护距离。建设区基本情况延安，陕西省辖地级市，位于陕西省北部，地处黄河中游，黄土高原的中南地区，省会西安以北371千米。北连榆林，南接关中咸阳、铜川、渭南三

59、市，东隔黄河与山西临汾、吕梁相望，西邻甘肃庆阳。全市总面积3.7万平方公里，被誉为“三秦锁钥，五路襟喉”。根据第七次人口普查数据，截至2020年11月1日零时，延安市常住人口为2282581人。延安古称肤施、延州，是中华民族重要的发祥地，人文始祖黄帝曾居住在这一带，是天下第一陵中华民族始祖黄帝的陵寝：黄帝陵所在地，是民族圣地、中国革命圣地，首批公布的国家历史文化名城。延安是“双拥运动”发祥地，中国优秀旅游城市，有着“中国革命博物馆城”的美誉。境内有各类文物遗址点8545处，其中革命遗址445处。经济综合实力大幅跃升，地区生产总值较2020年翻一番，人均生产总值达到中等发达国家水平，创新能力不断

60、增强，经济增长的质量和效益显著提升，力争跻身全国百强市。经过五年努力，特色资源优势、后发优势得到充分彰显，生态环境整体脆弱明显制约得到显著改善，人民福祉明显提升，高质量发展取得实质性进展，为到2035年基本实现社会主义现代化目标奠定坚实基础。扩大有效投资发挥投资对优化供给结构的关键作用，深入实施项目带动战略，始终将重大项目建设作为推动高质量发展的总抓手。重点推进基础工业、高端能化、新能源、现代农业、文化旅游、现代服务、新型基础设施、新型城镇化、重大交通水利、生态环境、教育设施、医疗基础设施、健康体育等13个领域1439个、总投资2万亿元重大项目建设，保持投资合理增长。加快标志性重大工程建设，聚