厦门天马微电子项目废气排放处理的系统操作手册

1、厦门天马微电子项目废气排放处理的系统操作手册厦门天马微电子项目废气排放处理系统操作手册废气系统网络架构1、风机本地操作说明2、滤波器本地手自动操作3、循环泵本地手自动操作5、风门本地手自动操作4、补水阀本地手自动操作7、排水阀本地手自动操作8、风机远程上位及HMI操作10、消防阀本地手自动操作9、加药机本地手自动操作6、厦门天马微电子项目废气排放处理系统操作手册上位和触摸屏操作对应表11、供药系统操作说明12、冷凝器系统操作说明13、主站 PLC状态指示PLC通讯地址，故障时会报警中控室电脑第一章、 废气系统PLC网络架构状态无尘室PLC 站点SEX/CVD PLC 站点GEX/AEX/STR

2、/ORG PLC 站点SEX/CVD HMI 站点GEX/AEX/STR/ORG HMI 站点从站 PLC状态指示第二章、 废气控制系统风机操作（本地）电压表电流表变频器操作面板本地/切换开关谐波滤波器手/自动选择开关入口风门手/自动选择开关风机手动启动按钮风机手动停止按钮入口风门手动开启按钮入口风门手动关闭按钮谐波滤波器手动关闭按钮谐波滤波器手动开启按钮风机变频器故障指示风机散热风扇故障指示第二章、 废气控制系统风机操作（本地）1、风机本地启停控制：（1）开启风机动力盘柜的主电源开关和风机动力电源开关，以及控制回路电源开关。（2）操作模式选择开关置于“本地”，点击“风机启动”按钮，风机气动，

3、按下“风机停止”按钮，风机停止。风机动力盘总开关风机动力开关操作模式开关风机启动按钮风机停止按钮第二章、 废气控制系统风机操作（本地）2、风机本地频率给定：（1）风机手动开启后，通过变频器操作面板上的上，下，左，右键来设定变频器的频率值。上键（增加频率值）左键（移动频率数值位数）上键（降低频率值）右键（移动频率数值位数）第三章、 废气控制系统谐波滤波器操作1、谐波滤波器手动控制：（1）谐波滤波器手/自动选择开关置于“手动”位置，按下“谐波滤波器启动“按钮，谐波滤波器投入，按下“谐波滤波器停止“按钮，谐波滤波器撤出。（1）谐波滤波器手/自动选择开关置于“自动”位置，风机启动，谐波滤波器投入，风机

4、停止，谐波滤波器撤出。谐波滤波器手/自动选择开关谐波滤波器手动启动按钮谐波滤波器手动停止按钮2、谐波滤波器自动控制：第四章、 废气控制系统入口气动风门操作1、入口气动风门手动控制：（1）入口气动风门手/自动选择开关置于“手动”位置，按下“入口气动风门开启“按钮，入口气动风门开启，按下“入口气动风门关闭“按钮，入口气动风门关闭。（1）入口气动风门手/自动选择开关置于“自动”位置，风机启动，频率到达15HZ以上，入口气动风门开启，风机停止，频率到达15HZ以下，入口气动风门关闭。入口气动风门手/自动选择开关入口气动风门手动开启按钮入口气动风门手动关闭按钮2、入口气动风门开启自动控制：第五章、 废气

5、控制系统循环泵操作1、循环泵手动控制：（2）循环泵手/自动选择开关置于“手动”位置，按下“循环泵开启“按钮，循环泵启动，按下“循环泵停止“按钮，循环泵停止。（1）循环泵手/自动选择开关置于“自动”位置，风机启动且洗涤塔液位高于低液位，循环泵启动，风机停止或洗涤塔液位低于超低液位，循环泵停止。洗涤塔控制盘总开关循环泵马达保护器循环泵选择开关2、循环泵自动控制：（1）开启洗涤塔控制盘主电源和控制电源，以及循环泵的马达断路器。（2）循环泵手/自动选择开关置于“自动”位置，循环泵-A过载或者选择开关不在自动位置，循环泵-B启动。反之依然。循环泵手动启动按钮循环泵手动停止按钮循环泵过载指示第六章、 废气

6、控制系统加药机操作1、加药机手动控制：（2）加药机手/自动选择开关置于“手动”位置，按下“加药机开启“按钮，加药机启动，按下“加药机停止“按钮，加药机停止。（1）加药机手/自动选择开关置于“自动”位置，循环泵启动且排水阀关闭且PH控制器到达设定动作值，加药机启动，循环泵停止或排水阀开启或PH控制器到达设定停止值，加药机停止。PH控制器加药机选择开关2、加药机自动控制：（1）开启洗涤塔控制盘主电源和控制电源，以及加药机的马达断路器。（2）加药机手/自动选择开关置于“自动”位置，加药机-A过载或者选择开关不在自动位置，加药机-B启动。反之依然。加药机手动启动按钮加药机手动停止按钮加药机过载指示第七

7、章、 废气控制系统补水阀操作1、补水阀手动控制：（1）补水阀手/自动选择开关置于“手动”位置，补水阀开启，补水阀手/自动选择开关置于“关闭”位置，补水阀关闭。（1）补水阀手/自动选择开关置于“自动”位置，排水阀关闭且洗涤塔液位低于低液位，补水阀开启，排水阀开启或洗涤塔液位高于高液位，补水阀关闭。补水阀选择开关2、补水阀自动控制：洗涤塔液位显示补水阀开启灯第八章、 废气控制系统排水阀操作1、排水阀手动控制：（1）排水阀手/自动选择开关置于“手动”位置，排水阀开启，排水阀手/自动选择开关置于“关闭”位置，排水阀关闭。（1）排水阀手/自动选择开关置于“自动”位置，补水阀关闭且洗涤塔液位高于低液位且电

8、导度控制器到达动作点，排水阀开启，补水阀开启或洗涤塔液位低于高低液位或电导度控制器到达停止点，排水阀关闭。排水阀选择开关2、排水阀自动控制：电导度控制器排水阀开启灯第九章、 废气控制系统消防阀操作1、消防阀手动控制：（1）消防阀手/自动选择开关置于“手动”位置，消防阀开启，消防阀手/自动选择开关置于“关闭”位置，消防阀关闭。（1）消防阀手/自动选择开关置于“自动”位置，温度控制器到达动作点，消防阀开启，温度控制器到达停止点，消防阀关闭。消防阀选择开关2、消防阀自动控制：温度控制器消防阀开启灯第十章、 废气控制系统风机操作（远程）点击此界面进入废气系统监控画面1、上位电脑开机画面：（1）开启中控

9、电脑，运行INTOUCH运行系统，出现开机画面。第十章、 废气控制系统风机操作（远程）2、废气系统总监控画面：（1）点击”M1制程废气系统“按钮，进入到废气系统总监控画面。静压显示值及风机运行状态风机运行状态风机运行频率风机运行模式入口气动风门开关状态当前日期和时间图片树区即时报警区系统功能栏FMCS系统首页工作区系统切换栏第十章、 废气控制系统风机操作（远程）3、无尘室末端支管静压监控画面：（1）点击系统功能栏中”L10 PIPE LAYOUT“按钮，进入到无尘室末端支管静压监控画面。各废气处理系统末端静压显示值第十章、 废气控制系统风机操作（远程）4、功能显示区大实时报警画面：（1）点击系

10、统功能栏中”即时报警“按钮，进入到大实时报警监控画面。信息行消息列表按钮，点击后图片树区停止闪烁，报警消除后，图片树区变成灰色正常报警信息的前半部分，包括报警信息产生的日期，时间以及优先级。报警信息的后半部分，包括产生报警信息标签名以及此报警信息的进一步描述。报警状态信息说明第十章、 废气控制系统风机操作（远程）5、功能显示区历史报警画面：（1）点击系统功能栏中”历史报警“按钮，进入到历史报警监控画面。信息行选择报警类别开始日期输入开始时间输入结束日期输入结束时间输入查询按钮第十章、 废气控制系统风机操作（远程）1.消息类型消息的类型 故障消息 系统的设备故障信息，如设备热过载跳脱、变频器故障

11、等。 报警or警告消息 系统的报警信息，如变量的高高警告，低低警告；设备开启或关闭反馈报警 等。根据消息的当前状态（“来的”或“去的”）和确认状态（“已确认”或“未确认”）来划分消息状态。“来的”和“去的”消息状态是指触发消息的事件是否还在，如触发消息的事件还在，即消息的引起原因还在，则为“来的”消息，如若触发消息的事件已经消失，则为“去的”消息。消息的状态类型有以下四种：“来/且未确认”消息“来/已确认”消息“已去/未确认”消息“已去/已被确认”消息2.消息状态第十章、 废气控制系统风机操作（远程）6、功能显示区实时/历史曲线画面：（1）点击需要显示曲线的变量，进入到对应的系统画面，点击其数

12、据，后点击”R按钮，清除所有曲线，按下“+”，点击系统功能栏中”实时曲线“按钮，进入到实时曲线监控画面。变量前打勾，点击“刷新”按钮，即看到变量的曲线。操作者可在登陆窗口中输入正确的用户名和密码，执行用户登陆。或注销登陆输入框（2）点击需要显示曲线的变量，进入到对应的系统画面，点击其数据，后点击”R按钮，清除所有曲线，按下“+”，点击系统功能栏中”历史曲线“按钮，进入到历史曲线监控画面。变量前打勾，点击“刷新”按钮，即看到变量的曲线。第十章、 废气控制系统风机操作（远程）打开即时报警屏幕打印按钮用户登录状态信息打开历史报警创建/打开即时曲线PLC状态显示报警全部确认用户登录/退出创建/打开历史

13、趋势报警单个确认数据刷新按钮曲线打印按钮删除曲线按钮历史/实时曲线勾选框第十章、 废气控制系统风机操作（远程）7、压差传讯器报警设定画面：（1）点击系统功能栏中”登入“按钮，输入用户名，密码，确认进入权限。静压传讯器代码（2）点击需要设定静压传讯器的变量，进入到对应的系统画面，点击其数据，弹出设定画面。静压值超高点报警设定超低点报警设定第十章、 废气控制系统风机操作（远程）8、以碱排系统为例，介绍风机远程画面操作步骤：（1）点击右侧树形目录中”AEX系统“按钮，右上角的系统切换树，出现酸排的系统功能切换按钮，点击对应的按钮，进入到AEX系统不同的功能画面，现先简单介绍监视画面，后介绍风机自动操

14、作画面。（2）点击“M1_S8_AEX_PID按钮，进入到AEX系统废气处理总流程画面。风机状态日用药桶液位状态塔内压差值仪表数据循环泵状态加药机状态风门状态主管静压值该画面按钮第十章、 废气控制系统风机操作（远程）风机、水泵及加药泵及阀门：绿色代表运行，红色代表停止，黄色代表故障或过载1、图标和颜色的定义2、数值设定定义：补水及排水阀门：绿色代表开启，红色代表关闭风机风门：绿色代表开启，红色代表关闭，灰色代表未开关到位数值设定：通过可点击功能框实现，在登录的状况下，点击后，方可进行数值更改。第十章、 废气控制系统风机操作（远程）（3）点击“M1_S8_AEX_SCR1按钮，进入到AEX-1系

15、统废气处理洗涤塔及风机的详细流程画面。风机状态日用药桶液位状态塔内压差值仪表数据循环泵状态加药机状态风门状态主管静压值该画面按钮消防阀状态排水阀状态补水阀状态第十章、 废气控制系统风机操作（远程）（4）点击“M1_S8_AEX_COL按钮，进入到AEX-1系统废气处理洗涤塔及风机的风机远程操作画面。切机静压及频率功能选择实时静压值选择开关风机控制模式切机静压及时间设定风机，风门状态PID设定/显示值末端支管静压值PID状态切机频率及时间设定风机远程手/自动状态手动频率设定PID控制手动/自动选择P，I值设定风机自动排序PID输出频率值第十章、 废气控制系统风机操作（远程）”远程“模式。（5）风

16、机远程手动启停操作：2.上位机画面中，风机操作模式置于”手动“，按下”启动“按钮，风机启动。风机操作模式置于”手动“，按下”停止“按钮，风机停止。1.上位画面中，手动输入要运行的频率值。（6）风机远程手动频率给定操作：”远程“模式。（7）风机远程自动启停操作：2.上位机画面中，风机操作模式置于”自动“操作模式置于”自动“，风机排序为2，风机-B启动。1.上位画面中，风机PID选择开关，置于手动位置。手动输入运行的频率值，风机更具此值运转。（8）风机远程PID手动频率给定操作：1.上位画面中，风机PID选择开关，置于自动位置。输入PID设定值。选择末端静压参考值，末端静压分手动和自动选择两种模式

17、，在手动模式下，手动点击1或者2.自动模式下，系统采集静压大的值为静压参考值。风机根据PID运算输出的频率值运转。（9）风机远程PID自动频率给定操作：第十一章、 上位机和触摸屏功能对应：第十一章、 上位机和触摸屏功能对应：第十一章、 上位机和触摸屏功能对应：（1）触摸屏画面名称：（2）上位机画面名称：12.PID PV输出第十二章、 供药系统上位机操作碱排系统补药阀状态STR系统补药阀状态碱排系统日用槽液位STR系统日用槽液位硫酸输送泵状态硫酸回流阀状态硫酸排液阀状态硫酸贮存槽液位防冻模式切换开关第十二章、 供药系统上位机操作碱排系统补药阀状态STR系统补药阀状态碱排系统日用槽液位STR系统

18、日用槽液位硫酸输送泵状态硫酸回流阀状态硫酸排液阀状态硫酸贮存槽液位防冻模式切换开关第十二章、 供药系统上位机操作第十二章、 供药系统上位机操作1、硫酸输送泵手动控制：（2）硫酸输送泵手/自动选择开关置于“手动”位置，按下“硫酸输送泵开启“按钮，硫酸输送泵启动，按下“硫酸输送泵停止“按钮，硫酸输送泵停止。（1）硫酸输送泵手/自动选择开关置于“自动”位置，硫酸供药桶液位高于超低液位且碱系统或STR系统日用药桶液位低于低液位，硫酸输送泵启动，硫酸供药桶液位低于超低液位且碱系统或STR系统日用药桶液位高于高液位，硫酸输送泵停止。2、硫酸输送泵自动控制：（1）开启供药控制盘主电源和控制电源，以及硫酸输送

19、泵的马达断路器。（2）硫酸输送泵手/自动选择开关置于“自动”位置，硫酸输送泵-A过载或者选择开关不在自动位置，硫酸输送泵-B启动。反之依然。第十二章、 供药系统上位机操作硫酸输送泵手/自动选择硫酸输送泵启动按钮硫酸输送泵停止按钮硫酸输送泵过载指示供药系统总空开输送泵马达保护器第十二章、 供药系统上位机操作1、硫酸加药阀门手动控制：（2）登录权限，输入用户名和密码，默认直接点击进入。（3）点击H2SO4补药系统中，1#补药阀中，“手动”按钮，点击“ON,阀门开启。点击“OFF,阀门关闭。2#补药阀和回流阀一样的操作。（1）点击触摸屏画面中”H2SO4系统按钮，进入到硫酸供药流程图，点击1#补药阀，弹出补药阀的操作画面。2、硫酸加药阀门自动控制：（2）登录权限，输入用户名和密码，默认直接点击进入。（3）点击H2SO4补药系统中，1#补药阀中，“自动”按钮，如果碱排日用桶槽液位在低液位一下且供药桶硫酸液位在超低液位以上，1#阀开启，硫酸输送泵启动。2#补药阀中，“自动”按钮，如果STR排日用桶槽液位在低液位一下且供药桶硫酸液位在超低液位以上，2#阀开启，硫酸输送泵启动。回流阀中，“自动”按钮，如果如果防冻模式开启，1#/2#补药阀关闭且供药