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文档简介

1、实 验 预 习级：F0703028姓名：班学号：5070309025同组：指导教师：实验日期：2008.10.6真空获得与真空镀膜实验目的了解真空技术的基本知识；掌握低、高真空的获得和测量的基本原理及方法；了解真空镀膜的基本知识；学习掌握蒸发镀膜的基本原理和方法实验仪器1小型真空薄膜系统小型真空薄膜系统由真空镀膜室（钟罩）、真空系统以及镀膜时使电极加热、工件回转、电离轰击的电器系统等部分组成实验原理1、 真空度与气体压强真空度是对气体稀薄程度的一种客观度量，气体中的气体分子数越少，表明真空度越高，由于气体分子密度不易测量，通常真空度用气体压强来表示，压强越低真空度越高。按照国际2、 真空的获得

2、。制，压强的是/米的平方，成为。用来获得真空的设备称为真空泵，真空泵按照工作机理可以分为排气型和吸气性两大类。机械泵、扩散泵和分子泵等属于排气型，吸附泵、离子泵和低温泵属于吸气型。下面是机械泵的示意图，从示意图可以了解其工作原理下面是扩散泵的示意图，从中可以了解到其工作原理：而这个实验中个部分。用到的真空镀膜系统如下图所示，这个系统包括了得到真空和镀膜两3、 真空的测量测量真空度的装置称为真空计，常用的有热偶真空计和电离真空计，前者用来测量低真空，后者测量高真空。因此常常把两者复合起来组成复合真空计来使用。本实验适用的也是复合真空计。4、 蒸发镀膜蒸发镀膜就是在真空中通过电流加热、蒸发称为原子或分子，他们随即以较大的形成一层薄膜。轰击加热和激光加热等方法，使薄膜材料程度作直线运动，碰撞基片表面而凝结，本实验的装置中由一个真空镀膜室，里面有两对电阻加热电极，加热时有离子轰击电极，产生大量离子，撞击几篇表面与真空壁室，达到真空镀膜的作用。原始数据钟罩的漏气曲线时间 / s压强 /Pa时间 / s压强 / Pa0402424446468481050125214541656185

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