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文档简介

1、东南大学材料科学与工程实验报告学生姓名 班级学号 实验日期201495 批改教师课程名称批改日期实验名称报告成绩一、实验目的：掌握测试薄膜厚度原理和方法，了解台阶仪操作技术。二、实验原理：LVDT是线性差动变压器的缩写，为机电转换器的一种。利用细探针扫描样品表面，当检测到 一个高度差别则探针做上下起伏之变化，此变化在仪器内部的螺旋管先圈内造成磁通量的变化，再 有内部电子电路转换成电压讯号，进而求出膜厚。LVDT线性位置感应器，可测量的位移量小到几 万分之一英寸至几英寸。LVDT的工作原理是由振荡器产生一高频的参考电磁场，并内建一支可动的铁磁主轴以及两组 感应线圈，当主轴移动造成强度改变由感应线

2、圈感应出两电压值，相比较后即可推算出移动量。三、实验步骤：（1）开机准备（2）放置样品（3）参数设置（4）扫描结果分析（5）数据保存四、实验内容：Si基底上沉积金属Cr薄膜的厚度的测量五、实验结果与分析：样品：硅片上镀铬薄膜；实验参数：长度1000 m m；持续时间40s；针压力3mg；表面轮廓是Hills and Valleys.由实验曲线及数据，可得薄膜厚度约为(868.8-617.0) =251.8 “m。六、思考题：1、对于用台阶仪对非完美薄膜的厚度测量，Step Hight的M和R Cursor点的选择？两个点分别选在图线中的拐点处，这样倾斜的曲线会水平，比较容易得到薄膜的厚度2、怎么样才能得到一个比较shape的台阶？在制备时在衬底上覆盖一个形状规则比如长方形的陪

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