扫描电子显微镜实验室管理条例

1、扫描电子显微镜实验室管理条例1 目的 扫描电子显微镜和原子力显微镜为大型精密仪器设备，为保证设备安全及正常运行，加强对大型精密设备的管理，充分发挥其使用率、完好率，更好地服务于检验工作，结合公司实验室实际情况，特制定本管理条例。 范围适用于扫描电子显微镜实验室的管理。3 参考文件 设备管理程序 SEM标准作业指导书AFM测试标准作业指导书4 定义 SEM:扫描电子显微镜AFM：原子力显微镜5 职责5.1 实验室主管工程师 a) 负责仪器工艺的验收、协助设备工程师建档；b) 负责建立仪器用具清单，定期检查；c) 监控作业人员是否按要求操作，纠正作业人员的错误操作；d) 测试数据记录或报告的审核发

2、送；e) 及时跟进处理异常。5.2 实验人员 a) 负责仪器的规范操作，样品的测试，结果记录或报告的发送； b) 一般常用的用具和测试辅料的领用申请；c) 日常维护保养（清洁、除尘）；c) 操作时如出现异常必须及时反馈给实验室主管工程师和设备工程师。5.3 设备工程师 负责仪器的建档，设备异常的处理和定期状态检查、维护。6 资历与训练6.1 实验室作业人员 须掌握SEM和AFM的基本知识, 系统掌握测试方法和各来样的测试标准条件，了解测试过程。须经过专门的培训且操作技术合格并获得部门负责人授权者才能操作仪器，未经授权者擅用仪器将依据公司相关条例进行处罚。7 作业内容7.1 实验室管理制度 7.

3、1.1 仪器管理7.1.1.1 实验室贵重仪器（SEM、EDS、AFM）由实验室主管工程师和设备工程师按照设备管理程序分别进行工艺、设备的验收，设备工程师依据设备验收建档清单 建立仪器档案。7.1.1.2 对所领用的专用仪器用具要加强管理，建立仪器用具清单，实验室主管工程师每月底进行检查，如有损坏、丢失，必须上报主管领导研究处理。对已超过规定使用年限、损坏严重无法修理的仪器、用具，实验室统一上报，按照设备管理程序要求进行妥善处理，任何人不得擅自拆改拿用。7.1.1.3 一般常用的用具（剪刀、烧杯、镊子等）和测试辅料如擦拭纸等的领用由实验人员填写领用单，主管工程师审核，分管领导批准后领用，任何人

4、不得将实验室任何物品携带出实验室。7.1.1.4 仪器做到每月底检查、并进行日常维护保养，精密仪器不得随意移动，若有损坏不得私自拆动，应及时报告通知设备工程师和分管领导，确定维修方案。7.1.1.5 实验人员使用仪器时，应严格按SEM标准作业指导书和AFM测试标准作业指导书进行，对违反操作规程和因保管不善致使仪器、器械损坏，要追究当事人责任，并按仪器使用登记表进行登记。7.1.1.6 一切仪器设备用具未经部门主管同意，不得外借。7.1.1.7 SEM每周固定开机一次（每次开启GUN电压需稳定2H左右方可进行测试），每次工作2天。若有特殊情况申请开机测试，需填写SEM开机测试特别工作申请单，经公

5、司分管领导批准后方可开机使用。7.1.2 安全管理a) 禁止实验室用具另做其他功能使用。b) 严禁用湿手去开启电闸和电器开关，凡漏电仪器不要使用，以免触电。c) 消防器材要放在明显位置，严禁将消防器材移作别用。d) 使用仪器设备前要记录设备开机相关参数并对照以往的参数，符合要求后方可使用。e) 更换样品时，一定要检查样品高度，样品高度不得超过30mm，以防止样品碰到极靴，禁止在扫描电镜下观察有腐蚀性的化学试剂，液态及强磁性样品。 f) 禁止在主控计算机上安装其它软件，实验结果和数据须由专用移动硬盘和优盘（无病毒）。 g) 注意安全，发生意外必须立即切断电源，严格保持现场，不得擅自处理。h） 门

6、禁只允许部门负责人指定的人员开通，其他人员禁止开通电镜室门禁。7.1.3 作业人员要求 7.1.3.1 遵守实验室制度，工作时要坚守岗位，配合主管加强对实验室的安全管理工作。7.1.3.2 实验室人员要保持实验室的环境卫生，进入实验室必须戴好口罩、手套,使用的仪器要经常洗涤、擦拭，做到台面整洁，放置有序，标志分明，使用方便。SEM定期用吸尘器清理样品腔,不能用具有挥发性的液体拭擦腔壁。7.1.3.3 做好测试前的一切准备工作（包括仪器，设备，实验材料，实验用具，样品等），并保证达到测试要求。7.1.3.4 进行高压工作时，实验人员不得擅离现场，认真观察仪器参数。 7.1.3.5 使用中要严格遵

7、守操作手册上的规程，并认真填写仪器使用登记表。7.1.3.6 在实验过程中如果仪器出现异常现象和问题，实验人员应立即停止使用，并将情况记录在仪器使用登记表上，并向主管实验室人员通报。 7.1.3.7 实验人员要本着节约精神，严格控制实验中各类用品的使用量，不得随意浪费。7.1.3.8 完成上级主管交给的其他任务。 7.2 SEM测试流程7.2.1 SEM测试申请及样品提供 扫描电镜测试前送样人要弄清楚样品材质，样品导电性，样品尺寸大小等，并认真填写SEM/AFM测试申请表，注明测试项目（如SEM照片、EDS能谱分析），告知测试样品是否保留。每周五下班前送到的申请表可于下周测试时间段安排测试，而

8、周五下班后至测试日间送到的申请单则顺延至下一测试时间段。7.2.2 申请审批 SEM/AFM测试申请表先由实验主管工程师审核，确定样品是否可以进行测试，再交由部门领导批准同意，方可进行测试。 7.2.3 电镜测试前检查 电镜测试前，实验人员要认真检查样品，要求样品的高度不超过30mm（以防止样品碰到极靴），样品需外形规则、表面干净无杂质、无强磁性、干燥无水分、以及不能具有挥发性成分并确定仪器的工作状态是否稳定（Gun vacc5*10-9mBa及Sys vacc6*10-5mBa）。每次使用时记录Fil I、Extractor V和Extractor I的数值，抽真空的时间。N2不能超过0.3

9、Bar，否则对EDX探头造成损伤。在停机一天之后，必须对Gun腔室进行真空烘烤（烘烤的必要条件：Gun真空和系统真空相差两个真空级别），烘烤过程中用锡纸包住电缆头和孔头；7.2.4 电镜测试7.2.4.1 实验人员进行电镜测试时，原则上是不允许公司集团外的送样人到现场，若是特殊情况需到实验室一同测试的，要向公司分管领导申请，待同意后才能进入；s7.2.4.2 实验人员进行电镜测试时要严格按照SEM标准作业指导书上的规范来操作， 牢记操作手册上的禁止和注意事项，做到规范操作；7.2.4.3 实验过程中若仪器遇到异常现象和问题，实验人员应立即停止使用，按下紧急停止按钮，然后向实验室主管工程师和设备

10、工程师汇报，实验室主管工程师根据仪器的状态和异常情况，判断是否需要设备的维修，如不需要，主管工程师处理异常后在仪器使用登记表上详细记载异常及处理，如需要，上报分管领导，并通知设备工程师处理；7.2.4.4 实验人员在测试过程中要专注测试工作，时刻注意仪器上的参数显示信息，不得做与测试工作无关的事情。7.2.5 结果记录 测试结果由实验人员用专用U盘从电脑上拷贝，然后根据各送样人的不同要求，以邮件或其他形式发给送样人。 7.2.6 测试完样品的处理 测试完的样品会有不同程度的污染，一般是做废物处理，若送样人填写测试申请的时候提到样品的处理，则根据送样人的要求处理测试完的样品。7.2.7 测试完成仪器的关机以及工具的放置 a) 实验人员在测试完之后，让它处于待机状态，只要将测试时的高压及GUN电压关闭即可，并记录关机前的相关参数。 b) 实验人员在测试完成之后应该将用过的工具放回原位，以便下次使用，并整理桌面，做到整洁有序。7.3 AFM测试流程7.3.1作业流程具体操作参照AFM测试标准作业指导书。由于长时间工作会造成某些元件短路，每周四17点30到周五早上8：30关闭AFM控制器，由实验室工程师进行开关维护，如有紧急测试，AFM关闭时间可以调整到其他空闲时间。7.3.2 异常处理实验过程中若仪器遇到异常现象和问题，实验人员应立即停止使用，然后