平面度测量与评定形位公差

1、公差之二集团标准化工作小组Q8QX9QT-X8QQB8Q8-NQ8QJ8-M8QMN平面度误差的测量和评定方法1、平面度公差：被测平面对理想平面的允许变动量。2、平面度公差带：距离为公差值t的两平行平面之间的区域。3、平面度误差的测量方法1）直接方法（1）间隙法：刀口尺、平尺等（2）指示表法：调整被测表面与平板平行（即确定理想平面的位置），一般有两种方法：A、对角线法（四点法）：调整支撑使被测表面两端点等高，即1点与2点等高，3点与4点等高（结果唯一但是不符合最小4b、三点法：b调整支撑使被测表面最远三点等高（结果不唯一且不符合最小条件，实测结果偏1按一定的布点测量被测表面，同时记录*值，一般

2、可用指 示表的最大读数与最小读数之差近似地做为被测平面的平面度误差。必要时可根据记录的示值用计算法（图解法）按最小条件计 算平面度误差。（3）光轴法：自准直仪将反射镜放在被测表面上，并把自准值仪调整到与被测表 面平行，沿对角线按一定布点测量、重复上述方法分别测量另一 条对角线和被测表面上其他各直线上的各布点。把各点示值换算 成线值，记录在图表上，通过中心点建立参考平面，由计算法（图解法）按对角线法计算平面度误差。必要时按最小条件计算 平面度误差。标准27页（4）干涉法：平晶将平晶放在被测表面上，观测它们之间的干涉条纹。平面度误差 为：对于封闭环形:平面度误差等于干涉条 .一.I_纹数x光波波

3、长之半（图a），即f = n x 2对于不封闭图形:平面度误差等于条纹的弯曲度与相邻两条纹间距之比再乘以光波波 长之半（图b）2）间接方法（1）布点形式矩形平面的布点形式：网格布点、对角线布点园形平面的布点形式：网格布点、对角线布点园环形平面的布点形式：对于较宽的环形平面，其圆环测 量线不得少于两圈，对于较窄的环形平面，可采用单圈测量线的 形式。3）水平仪法4）斑点法4、平面度误差的评定方法1）最小包容区域法；对被测平面的偏差进行旋转和平移，不改变被测平面的平面 度评定结果，是以构成平面度最小包容区域的两平行平面之一作为理想 平面。最小包容区域面的判定准则A、三角形准则有三个高极点（极点是实际

4、被测平面与最小包容区域面 的接触点）与一个极低点，或相反有三个低极点与一个高极+1+2+4+3+54)三远点平面法+4-1:适用于低精度的中小平面，评定结果不唯一。点，其中的那个低极点（或高极点）位于三个高极点（或低 极点）构成的三角形内或位于三角形的一条边上。这种情况 说明被测平面是凹面或凸面。B、交叉准则有两个高极点和两个低极点，其各自的连线成互相交叉的形 式。C、直线准则有两个高（低）极点与一个低（高）极点成直线排列，且那 个低（高）极点在两个高（低）极点之间。2）.最小二乘法3）对角线平面法：适用于中、高精度的较大平面。基准平面经过被测实际面的一条对角线，且平行于 另一条对角线，实际面上距离该基准面的最高点与最低点的代数 差即为该平面的平面度误差。f=5-(-1)=6um基准平面通过被测实际平面上相距最远且不在一条直线上的三点（通常为3个角点），实际面上距此基准平面的最高点f=7-(-与最低点的代数差近似为该平面的平面度误差。+1+3+7+2+5+2m+1-33)=10u5、平面度误差的数据处理1-6-1-5+1+2-3+16)=8um对角2+ 1 线法+-3+2-6-2 02-(-+1+1-2+11-6-1-5+1+2-3+15)=7um+1-3+2+20/-5f=2w+1+1-40对直