(管理制度)ESD管理办法

1、治理制度ESD 治理办法静电产生过程:在工业生产中常见的静电产生物理过程包括:固体静电产生包含: 接触带电.金性属与高分固体的接触带及断裂. 压电效应.热电效应. 剥离. 电解等)。粉体起电。液体起电。静电现象: 是电荷的产生和消逝的过程中产生的静电现象的总称。静电之优缺点:静电具有双重性,即能为人类造福. 即为利用静电应用技术制造出静电复印. 静电涂敷.静电除尘等, 但是.在电子工业制造中也存在静电危害, 现正在日益表露出来并渐渐受人们所重视. 其在电子工业领域的静电危害形式如下:静电吸附静电放电引起的器件击穿(硬击穿. 软击穿) 静电感应.静电放电时产生的电磁脉冲敏感组件:电子组件在电子产

2、品制造业上最为普遍, 最严峻的是静电危害.即电子组件在预处理. 焊接. 清洗.单板测试. 组装, 调试.直到包装,贮存,发送等工序时,由于接触- 分别- 摩擦- 感应等作用, 都会使操作人员.工具.工作台面, 电子组件,电子组件包装容器等产生静电, 同时会随时对电子组件造成静电损害. 因此. 此类电子组件为静电敏感组件( 如 IC. 晶体等), 总称“ 敏感组件“。静电释放:ESD(ELECTROSTATICDISCHARGE) 一种突然产生的静电重安排, 这对敏感组件或装置会造成损坏。静电(ESD) 防护安全距离: 为能使简洁受静电破坏之产品. 敏感组件得到有效安全的保护. 设立 1 米(3

3、 尺) 保护范围的安全距离。3.5ESD 稽核员: 对静电防护的产品. 工作区域. 敏感组件等进展技术性之量测和处理之专业稽核检查人员。特定工作人员: 指正规受训过并考试合格之 ESD 稽核员和主管级以上干部。自我检查:表示工作区域内之全部人员每日上班前对自己工作区域内静电防护检查。保护接地:将电气设备. 装置不带电的金属局部与接地体( 地壤直接接触的导电金属体)之间作良好的金属连接。外表阻抗:表示物体之外表局部与接地线之间的绝缘电阻阻抗数值,通常用奥姆( )表示。静电电压:表示物体外表过剩或缺乏的静止电荷量. 用电压伏(Voltage)表示。防静电屏蔽袋: 用防静电材料之包装袋进展成品或半成

4、品包装( 适用于客户要求)。导体容器:用于存放防静电成品, 半成品之导电体容器。有线静电手环: 为防止人体接触敏感组件而造成静电破坏,佩带于手(脚)上的防静电物品, 并用一根导线连接接到大。. 要求: 手环上之电阻在8.0 1010 范围内. 佩带手环之紧度要接触皮肤为准. 静电手环又俗称“ 静电手腕” 。静电手套:为防止人手触摸敏感组件, 使其上汗. 油污并造成静电破坏和腐蚀,特佩带防静电的材料制作成的手套, 并要求静电阻抗为1010 , 范围内, 静电电压为 100 伏特以下。防静电周转箱: 为使简洁受静电敏感之成品. 半成品,存放于用防静电材料制作的容器内, 进展储存或运输. 并要求用防

5、静电材料制作之隔板进行隔离。检定: 即用标准器对被量测之仪器进展比对. 检定值是否超出误差范围。内校: 利用现有的可追溯到国家或国际之标准器, 校正检定公司内之仪器。校正失效:用标准器对厂内仪器进展量测比对,被量测之仪器示值超出最大允许误差范围, 则判定为校正不合格. 即为校正失效。校验周期:仪器设备视其使用频繁程度,规定其每年进展校验检定次数。即为校验周期。权责:仪校中心负责静电(ESD) 把握技术指标. 制订静电防护方法, 以及工作之提倡。品保单位. 制造单位.SMT 单位. 实施静电防护工作. 并每日进展自我检查, 提报不良状况。资材部实施静电保护工作. 并对敏感之组件和成品. 半成品妥

6、当之保存和防护。生技课 ESD 工程师负责对全厂内静电防护单位和个人进展ESD 技术性之把握. 量测.稽核和处理改善。程序内容:静电(ESD)防护流程图作业说明:训练:对进员工, 必需进展静电防护 (ESD) 之教育训练. 受训时间不低于 4 小时。无受过静电防护(ESD) 训练培训者, 不行上线静电防护区域或接触敏感组件。特定人员. 静电防护组织成员, 稽核小组必需定期受训。据打算稽核小组组长拟订 教育训练打算表( 附件一) 并根表对全厂员工受训, 受训时必需作出教育训练记录。 5.2.1.5受训过静电防护的人员, 必需有静电防护识别标示( 如以下图一所示), 分期对人员进展受训。受训后人员

7、必需进展考试, 及格为 80 分。考试题目如(附件二)( 附件三) 所示。受训课程必需包含以下内容:静电之概念产生物理过程1H30静电之来源.对半导体组件的不良影响.0.5H30静电防护区域之化分及防护措施0.5H30保护静电之包装. 运输. 储存0.5H30静电防护的识别标示.0.5H30ESD 治理小组及工作职掌0.5H30自我检查的流程内容及实施0.5H30受训内容受训时间受训人数(不得超过)静电把握区域:凡对敏感组件会造成损害之区域必需用班玛带标贴“静电(ESD 防护安全距离“ 如以下图( 二) 所示。只能在其范围内组装和装置。有效距离为 1 米(3 尺) 内。静电防护在其把握作业中,

8、每周指派专人进展技术量测和稽核,并记录于【 ESD 稽核检查记录周报表】(PHG-Q4-PE39)内。每年必需对外包厂进展之评鉴一次以上, 记录于【外包厂ESD 评监报告】(PHG-Q4-PE42)内, 对不良状况提出改善意见和对策, 并定期进展追踪处理结果, 记录于【ESD 特别处理对策单】 (PHG-Q4-PE43)内。矫正措施:当静电电压超过 100V 时, 并对其进展隔离, 分析不良缘由,加以改善, 必需有 ESD 稽核员。ESD 工程师和 ESD 主任 3 人以上人员进展确认并记录于【 ESD 特别处理对策单】内。紧急事故处理:当在静电防护区域作业时, 发生意外事故时,应先考虑是否对

9、人身安全有危害, 并马上实行措施解决. 此后,再考虑解决是否对静电防护有破坏, 并加以改善。对外包厂商静电防护要求:外包厂商与公司有直接的业务来往, 为了质量的提升, 为降低不良的发生, 对其也要作静电防护的要求:生产工艺: 在生产制程过程中, 须作静电防护。包装: 对静电有敏感之组件(如:IC. 晶体等) 必需防静电胶带包装。运输: 必需把完成品存放于防静电屏蔽袋内而运输, 并标明静电防护标示。如下(图三) 所示。ESD治理组职:( 附件三).稽核组织成员:必需受过 ESD 正规的教育训练,是厂内 ESD 的技术参谋, 对静电防护进展技术的量测。检验和治理, 并制订受训打算和进展提倡, 稽核

10、组织成员工作职掌如(附件四)所示。静电防护成员:必需受过静电防护 (ESD) 正规训练,获得 ESD 资格, 对全厂内静电防护进展治理和推动实施。静电防护之成员必需是生产线班组长以上干部。工作职掌如( 附件四) 所示。静电(ESD) 检查:静电 ESD 每日自我检查:各静电防护(ESD) 单位之员工每日上班前进展静电防护自我检查。使用之有线静电环是否测试过。如有测试,是否记录于【静电环检查记录表】(PHG-Q4-PE45)内。在其工作区域内之静电台垫是否接地, 台面是否清洁,干凈。(袋等)。马上通知在其工作之工作台面上是否有产生静电物( 如: 塑料带仪器. 治具是否完全接地。员工本人使用之烙铁

11、是否 3Pin 之插头. 假设为 2Pin 应所在单位的负责人联络 ESD 工程师加以改善。检查自己是否有静电防护训练合格后, 所佩带的 ESD认别标示牌. 如上图( 一) 所示。每个员工进展自我检查后, 并记录于【ESD 每日自我检查记录表】(PHG-Q4-PE46)内. 经所在单位负责人确认前方能上线工作。稽核检查:为使静电防护得到彻底的推动执行和质量提升。能准时觉察不良现象,并得到有效之改善。特 ESD 稽核小组每月内派专人负责稽核检查, 每周依据稽核检查程序进展稽核检查一次。检查全部员工是否依据自我检查程序进展自我检查, 并有完整记录。量测工作台垫静电电压和阻抗的实际示值,静电电压和阻

12、抗是否分别为 100 伏特以下或510108 之间。量测静电防护区内静电电压是否超过 100 伏特。有线静电手环是否有不良现象, 如不良现象,有无改善措施和对策。静电安全区之仪器. 设备. 工具是否安全接地。每日上班前全部员工是否进展静电手环测试并记录于静电环检查记录表不允许没有带静电腕环( 或接地线)的人靠近你的静电安全区 1 米(3 尺)之内, 告知他们在你的区域要靠近和触摸, 任何对象之前的人,要带静电腕环( 或接线)才可进入, 而触摸元气件必需佩带静电手套。静电防护把握区域是否有状态标示( 如上图二所示). 是否划线列出管制。仪器. 治具是否超出 100 伏特。静电安全区域全部物品均是

13、否低于 100 伏特。5.3.2.10IC 房.湿度是否把握在 55%10%。检查静电防护工作区的接地线是否漏接,损坏或开路, 断线现象。检查工作区是否会产生静电物. 如未处理塑料袋. 箱子. 保力龙,胶带或个人用品, 最少离 ESD 敏感组件 1 米(3 尺) 之距离。检查全部的 ESD 敏感组件, 半成品.成品是否完全的放在导体容器(导静电篮子)内。确认装 ESD 敏感组件的导体容器( 导静电篮子) 内没有会产生静电物。确认全部保护容器在外边均有一成认的静电留意标志。如上( 图三) 所示。如任一检测工程失败的话, 则未受到保护,ESD 敏感组件不许搬动, 直到改善为止, 如执行者不能改善这

14、些错误, 则 ESD 主任须负责改善。各部门有责任将其自我检查及执行情形承受班组长之确认, 并将其结果完整记录送交稽核小组内存盘管制。ESD 工程师经常执行 ESD 稽核使 ESD 把握的标准化能落实。从他们对部门程序的了解,ESD 稽核员应每月一次执行稽核。执行每月 ESD 自我稽核时,需确认其程序书仍是可用的,及能使用正确的仪器、设备, 并须定期受校正检定。当觉察不符规定的事项能快速的实行改善措施。年度稽核在 11-12 月中进展。稽核检查结果应记录于 ESD 稽核检查记录表内。另: 稽核检查表及未列入表内以外的上述内容,如有不良现象发生,应出具【ESD 特别处理对策单】, 送出静电防护治

15、理组织相关人员进展对策和加以改善。量规仪器静电区域之管制:静电防护区域内之仪器.设备必需安全接地,其静电电压值不得超过 100Voltage,假设超出仪器设备必需进展隔离直至处理改善前方能再投入使用, 并记录【 ESD 特别处理对策单】内。每三个月仪校中心进展静电保护接地是否良好检查, 并记录于 ESD 季度接地检查记录表】(PHG-Q4-PE41)如内。接地电阻不得超过 3 。防静电用品. 装备之质量检验。防静电工作服和帽:外观质量: 防静电工作服.帽外观要求无破损.斑点.污物以及影响衣、帽上之性能缺陷. 构造设计要满足穿着轻松, 舒适便于解脱.服装上一般不得使用金属或橡胶佩件.如金属或橡胶

16、带静电之铭牌或商标等。静电量检验: 对防静电工作服和帽进展静电量测时. 先进展洗涤( 不包含购入未使用服装和帽), 其洗涤条件应符合( 表一), 并洗涤脱水自然晾干前方可量测. 静电电压不得超过 50 伏特。洗涤条件工程洗涤方式水温水溶量条件普洗40+3 30 升以上工程洗涤液浓度溶比条件2g/ 升1:30(表一)(注: 洗涤剂呈中性或微碱性 PH=7-8) 。防静电鞋:外观质量: 鞋底应无绝缘物, 无裂纹. 无开胶.无孔洞. 鞋面不得带有金属或其它带静电橡胶铭牌等。质量检验:鞋底电阻阻抗值应为 0.5 1010 范围内, 鞋面电压值不得超过 100 伏特。防静电工作台垫: 外表阻抗应为 10

17、10 范围内,鞋面静电值不得超过 100 伏特。防静电零件盒,周转箱. 胶带。外观质量: 应无裂纹, 破损. 不得有明显变形. 并要求盒箱外表光滑,且胶带必需松软、光滑。质量检验: 静电量不得超过 100 伏特。防静电手环:外观质量: 手环带应无毛刺. 裂迹和孔洞。质量检验: 用静电手环测试器测试是否为“GOOD“ 。或用 FLUKE5500A检定电阻值在 8.0 10-10 范围内,并且手环带引出线必需串接一只 10 电阻。注明:以上防静电用品测试不合格为 A 类不合格. 不行使用. 另外观不合格为 B 类不合格. 视其情形酌情考虑是否可使用之。5.6 防静电测试器之检验:防静电测试用之仪器

18、: 静电手环测试器. 外表阻抗测试器. 静电电压测试仪. 接地阻抗测试器, 依据【仪器设备管制打算表】(PHG-Q4-CC02)之“校验周期“.“ 打算校验日期“ 进展送出中国电子工业部第五争辩所 601 计量站国家级计量单位检定, 或依据厂内自身校正力量进展内校.检定失效或不合格则进展改善对策, 并记录于【标准器. 量规. 仪器校正失效记录表】(PHG-Q4-CC07)内。附件:进人员静电防护考试题( 附件一)进人员静电防护考试题( 附件二) 6.3ESD治理组职图(附件三)ESD治理组职工作职掌(附件四)ESD稽核检查记录周报表(PHG-Q4-PE39)外包厂. 协力厂 ESD 评鉴报告(PHG-Q4-PE42) 6.7ESD特别处理对策单 (PHG-Q4-PE43)6.8 静电环检查记录表(PHG-Q4-PE45) 6.9ESD每日自我检查记录表(PHG-Q4-PE46)ESD季度接地检查记录表 (PHG-Q4-PE41)仪器设备管制打算表 (PHG-Q4-CC02)标准器. 量规. 仪器校正失效记录表(PHG-Q4-CC07)相关文件:静电防护手册.静电根底理论附件三静电治理组职图附件四静电主任静电治理