洁净室外气空调箱特性与节能之研究课件

1、洁净室外气空调箱特性与节能之研究课件洁净室外气空调箱特性与节能之研究课件大綱 冰水系統概述 無塵室理論概述 無塵室空調控制 一般區域空調控制大綱 冰水系統概述中央空調系統流程圖中央空調系統流程圖冰水系統架構冰水系統架構5冰水系統控制5冰水系統控制9冰水系統控制9冰水系統控制冷卻水塔控制冷卻水塔控制溫水系統冰機熱回收出水溫度溫水氣動閥狀態溫水系統冰機熱回收出水溫度溫水氣動閥狀態溫水系統熱回收控制溫水系統熱回收控制製程冷卻水系統製程冷卻水系統何謂無塵室無塵室是一個能夠控制微塵粒子的房間，並且其是採用將引進及產生的污染微塵粒子數降至最低的原則來建造及使用，而且包含其它相關參數（溫度、溼度、壓力、照度

2、、噪音、地板導電度等）皆必須加以控制在必要之範圍。何謂無塵室無塵室是一個能夠控制微塵粒子的房間，並且其是採無塵室應用工業潔淨室（ICR）所注重的是Particle的控制生化潔淨室（BCR）所注重的是微生物的抑制無塵室應用工業潔淨室（ICR）無塵室應用產業產品電子業電腦、電子元件、液晶螢幕半導體業電腦記憶體與控制等的IC生產製造精密機械業迴轉儀、精密軸承、CD播放器光學工業透鏡、照相軟片、雷射設備生物科技業抗生素產品、遺傳學工程製藥業無菌製藥、無菌處理醫學設備人工心臟瓣膜、心導管系統食品飲料工業釀造業、無菌包裝食品及飲料無塵室應用產業產品電子業電腦、電子元件、液晶螢幕半導體業電腦無塵室等級定義藉

3、著量測每立方英呎之空氣中所含有小於或等於 0.5m粒徑的微塵粒子數。例所謂class 100的潔淨室是指每立方英呎之空氣中所含有0.5m粒徑的微塵粒子數應小於100個。無塵室等級定義藉著量測每立方英呎之空氣中所含有小於或等於FS209DParticle/ft等級 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um1357.531NA10350753010NA100NA750300100NA1000NANANA1000710,000NANANA10,00070100,000NANANA100,000700FS209DParticle/ft等級 0.1um 0FS 209 D 需求條件 Cla

4、sssize粒子數目壓差溫度 風速照度luxParticles/ft3mmAq範圍推薦值誤差值10.5 11.2519.42522.22.8層流式0.350.55 m/s1,0801,6201010100100溼度1K1K453010亂流式20 次/hr10K10K100K100KFS 209 D 需求條件 Classsize粒子數目壓差溫Clean room 相關法規比較ISO/TC209Fed.std.209E微塵粒子上限英制SI0.1 /m30.5 /ft30.5 /m3M710,000,000ISO 8100,000M6.5100,0003,530,000M61,000,000ISO

5、710,000M5.510,000353,000M5100,000ISO 61,000M4.51,000,0001,00035,300M410,000ISO 5100M3.5100,0001003,530M31,000ISO 410M2.510,00010353M2100ISO 31M1.51000135M110ISO 210003ISO 11000 Clean room 相關法規比較ISO/Fed.std.2無塵室風側流程圖無塵室風側流程圖外氣空調箱控制外氣空調箱控制各段閥體控制各段閥體控制外氣空調箱概述MAU: Make up Air Unit(正壓空調箱&新鮮空氣空調箱) OAC: Ou

6、tside Air Conditioner (外氣空調箱)說明:無塵室必須保持室內達到潔淨度之要求，為防止外界較髒空氣滲入無塵室，影響無塵室之潔淨度，基本上保持室內正壓是必要的條件，如何保持正壓呢 ? 則是利用外氣輸入無塵室，但輸入無塵室的空氣對室內溫濕度與潔淨度又不能有影響，因此外氣空調箱對無塵室的重要性便不可言喻。目的：外氣量之設計方面，其補充量有下列考量： 1.維持無塵室內之正壓，外氣量應比排氣量高約10%左右。 2.去除外氣之不純物質與塵埃， 維持無塵室內之健康環境。 3.保持外氣進入無塵室為一定之溫溼度條件,並避免對無塵室內負 荷變動太大。外氣空調箱概述MAU: Make up Ai

7、r Unit(正外氣空調箱功用壓力控制: 根據COMMON CHAMBER或室內之靜壓，調整變頻器輸 出頻率做PID控制。溫溼度控制: 根據外氣條件,出風溫溼度或室內溫溼度利用冰水盤管，加 熱器，熱水盤管，加濕器.等設備達到預設值輸出。外氣微塵粒之預處理: 空氣經由空調箱多道濾網或室內濾網控制逹到潔淨度之需求氣態分子之控制: 空氣經由 Air washer 洗滌，化學濾網或特殊處理將有害的 氣態分子分離處理後輸送至室內。外氣空調箱功用壓力控制:2456除濕模式夏季2.Pre-cooling Coil4.Dehumidify Coil5.Reheating Coil6.DCCDry Cool C

8、oilPre-cooling Coil(2)Pre-heat Coil (1)Air Washer (3)Reheating(5)Dehumidify Coil(4)1OAROOM CONDITION2456除濕模式夏季2.Pre-cooling Coil1345加濕模式冬季61.Preheating Coil3.Air Washer4.Dehumidify Coil5.Reheating Coil6.DCCDry Cool CoilPre-cooling Coil (2)Dehumidify Coil(4)Pre-heat Coil(1)Air Washer(3)Reheating Coil

9、(5)OAROOM CONDITION1345加濕模式冬季61.Preheating CoilTCWP SYSTEMTCWP SYSTEMTCWP CONTROLTCWP CONTROLTT/HT SENEOR TT/HT SENEOR Dry coil 閥體控制Dry coil 閥體控制AHU一般控制AHU一般控制AHU 恆溫恆濕控制AHU 恆溫恆濕控制AHU 區域及日夜間節能控制AHU 區域及日夜間節能控制VAV箱體作動原理說明VAV終端風箱因氣流通過，使得風壓開關測得風壓。測得風壓訊號傳至驅動器，由驅動器可程式換算流過VAV終端風箱風量。此時驅動器可程式得到流過VAV終端風箱風量，與驅動器設定風量比較，使流過VAV終端風箱風量維持在設定下。溫控器感測室內溫度，通知驅動器開關風門，保持室溫維持恆定。SH = C Q T 改變T：定風量系統改變 Q ：變風量系統 同時改變T及Q，容易產生控制之追逐現象(HUNTING)，控制邏輯上不採用，但可分階段以