无尘室基础知识课件

1、 无尘室基础知识目录一无尘室之定义二无尘室之分类三无尘室之运行什么是无尘室(CleanRoom）？一 洁净室之定义无尘室(CleanRoom),也称为洁净室。 无尘室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需求范围内，而给予特别设计的房间。 因此，无尘室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要求。 空气洁净度分级标准： ISO14644-1 （国际标准）空气洁净度等级（N） 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） 0.1 um 0

2、.2 um 0.3 um 0.5um 1um 5 um ISO Class 1 102 ISO Class 2 10024104ISO Class 3 1 000 237102358ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 35283ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 83229ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293ISO Class 7 352 000 83 200 2 930 ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300 ISO

3、Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000 注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平洁净度等级标准一般微粒粒径对比0.3m 微尘粒径人类头发 (15m)肉眼可视 (5m)感性认知1,00010,000外大气层大气层田园地带街市区10,000,0001,000,000100,000工业地带一般自然界气体等级感性认知1.乱流式非单方向流方式空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。 优点：

4、构造简单、系统建造成本低，洁净室扩充比较容易缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲需达到设定要求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。二 洁净室之形式乱流式典型结构形式适用洁净等级1,000-100,000级2.层流式层流式气流运动成一均匀直线形，经过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙回风，适用于洁净室等级需求较高之环境，一般洁净室等级为Class 1100。可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要求，稳定运

5、转。 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 (2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。垂直单方向流方式FFU3.复合式混流方式复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道：以高效过滤器将工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以

6、避免机器维修时影响了工作及品质。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室：将洁净室等10,000100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为101000级以上。复合式典型结构形式适用洁净等级10-100000级三 洁净室之运行（一）过滤器的基本知识过滤器是无尘室的主要净化设备，是空气净化的

7、主要手段。A、过滤器的分类 按过滤器的性能划分，通常划分成粗效、中效、高中效、亚高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）。B、过滤器的使用、更换粗效是作为预过滤器使用，一般是设置在空调箱内，其作用是过滤大颗粒的粒子，以保护其后的空调设备和中效以及更高级过滤器。一般粗效不能作为终端过滤器。它除去的是5.0m的粒子中效设在空调箱的正压段，作用是保护亚高效、高效等终端过滤器。它除去的是1.0m的中小粒子。高效和超高效都做为净化系统的终端过滤器。高效除去的是0.5m的粒子无尘室运行(二)、洁净室的发尘源和洁净室的清扫：1、洁净室的发尘源 洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净

8、室内生产工艺设备和生产过程的产尘。 洁净室内作业人员的产尘。一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，人员的产尘量为3.55105个/人分（0.5m）。是洁净室内的最主要的发尘源； 洁净室围护和室内表面的产尘； 生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系；无尘室运行2、洁净室的清扫 人工擦拭法：即人用洁净室专用擦布和纯水对洁净室的地、墙、顶以及家具和设备表面进行擦拭。这种清扫方法较为彻底。 分散式真空吸尘法：一般此方法只适用于低级别（1000级、10000级、100,000级）乱流洁净室。方法简单、灵活、方便，每天下班后均可采用此方法清扫。洁净室的清扫制度在一般情况

9、下，每班（每天）小清扫一次；每周中清扫一次，每月大清扫一次。并且要设专人负责管理、监督和检查。还要有一定的培训制度。无尘室运行（三）洁净室的空气品质：1、洁净室内的新鲜空气量洁净厂房设计规范50073-2001中规定“保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。”新鲜空气量太小不利于洁净室内作业人员的健康，若新鲜空气量太大，运行能耗太大，运行费用太高不经济。但最小不低于40m3 /人h。2、洁净室空气的含氧量大气中氧气的含量大约占21%，氮气大约占79%，而洁净室是一个密封的空间，往往在洁净室内作业的人员会感觉不舒服、闷气、头痛等等，是不是洁净室内空气中的氧气含量少了呢？经卫生部门测

10、试：洁净室内的氧气含量占20%左右，基本正常，但洁净室空气中含有一些其他化学污染物和气味，使人感觉不舒服。 无尘室运行（四）洁净工作服及其管理：1、洁净工作服的衣料 洁净工作服的衣料多为长纤维防静电的尼龙或聚脂材料。2、洁净工作服的型式：a、连体型 b、分体型 c、大褂型3，洁净工作服的洗涤用去离子水或纯水和中性洗涤剂清洗后在洁净环境下晾干。全厂统一管理，统一清洗，但成本很高。这是最好的情况。用普通自来水和一般洗涤剂，在一般条件下晾干。这种情况也较多。最差的是将洁净工作服交给职工拿回家去洗。普通洗衣机、普通自来水、一般洗衣粉、晾在室外。洗完后看上去很白、很“干净”，但由于洗涤不规范，洗后的洁净

11、工作服的产尘比洗涤前还多，这也不能称作洁净工作服了。 无尘室运行（五）洁净室的自净时间单向流洁净室的净化原理是活塞原理，换气次数很高，一般400600次/时（610次/分）将污染空气由送风侧挤压到回风侧。 （六）、风淋室的吹淋效果：1、风淋室的作用第一，是用高速度（25m/s）的洁净气流吹向人和物的表面，吹掉和抖掉人员和物品表面上附着的灰尘粒子。为达此目的，必须有一定的吹淋风速和一定的吹淋时间。一般按生产的企业标准吹淋风速U25m/s；吹淋时间T = 20 40秒。第二是精神教育和警示，提示进入洁净区的任何人员要注意，经过吹淋以后就进入洁净区了，在洁净区内必须遵守洁净室的规定，不能擅自乱跑乱动

12、。第三个作用是隔断作用，吹淋室是洁净区和非洁净区的屏障和隔断。保护洁净室不受非洁净区的污染。为达此目的，吹淋室必须设有不能同时开启的两道门（互锁）使用洁净区和非洁净区的空气不能直接相通，才能起到隔断的作用。 无尘室运行（八），洁净室的静电和静电的消除：1，静电的危害a、静电产生电场能击穿电子和微电子产品造成废品；静电放电产生电磁波会引起电子仪器（计算机和控制设备）的误动作，放电产生火花可使感光材料曝光。b、洁净室内静电的带电体，灰尘会依附在其表面，成为洁净室的污染源，影响洁净室的洁净度。c、洁净室的静电聚集放电会诱发引起火灾和爆炸影响洁净室的安全。因为洁净室内生产会使用大量的易燃易爆的气体，溶剂和有机物，洁净室封闭性很强，人员疏散较困难造成火灾，损失更大。无尘室运行3、防静电措施a、洁净室围护的防静电：即用高导电率材料来建造洁净室的围