电镀铜工序工艺规程

1、惠州市顺盈科技实业HUIZHOUSUNYOUNGTECHNICALINDUSTRIALCO.,LTD惠州市顺盈科技实业HUIZHOUSUNYOUNGTECHNICALINDUSTRIALCO.,LTD工作文件工作文件文件名称电镀铜工序工艺规程文件编号SYQC13修 订 码A0生效日期2022.01.01页数1/5拟制审核批准页 次修订码全部A版日 期2022.01.01修订内 容第一次发行修订确认分发部门/工序 治理者代表、行政部、工程部、生产部、电镀铜工序、品管部目的电镀铜工序工艺规程SYQC13生效日期A0页码2022.01.012/5为标准电镀铜操作，确保产品生产品质范围单面、双面及多层

2、板均适应职责操作执行：生产部药水化验：品管部设备维护保养：生产部设备修理：工程部、设备供给商材料、设备和工具材料ST401DP、SPS设备、工具铜缸、整流器、过滤机、摇摆机、空气搅拌机无工艺规程工艺流程工序上挂具温度无时间无打气无除油30-354-6无水洗(1)室温5-20适中水洗(2)室温5-20适中微蚀25-3060-90适中水洗(3)室温5-20适中水洗(4)室温5-20适中酸浸室温1-10无镀铜183010-20适中下挂具无无无流程说明上挂具：上挂具时双手戴干净的白纱手套,锁板时夹住板的周边,不要进入线路图形部位,管位螺丝适当拧紧即可。除油：去除板面上的油污及指纹,为下一步均匀微蚀作预

3、备。微蚀：清洁粗化铜面,除掉板面氧化物及杂物,使之得到一个化学清洁的微观粗糙的外表,提高电镀铜与基材铜的结合力。浸酸：除掉铜面上的氧化膜及活化铜外表,并能削减杂质的带入量,防止铜缸污染。515um牢靠性。电镀铜工序工艺规程文件编号槽液成份及操作条件SYQC13A0页2022.01.013/5缸名开缸成份把握范围温度操作条件时间换槽频率除油500LST401D4：10%HSO：5%8-12%4-6%30-354-6化验添加200/次微蚀(500L)242 28：2%2460-90g/L1-3%Cu230g/L25-3060-90当 Cu2+ 浸酸(500L)HSO：6%245-8%1-10槽一起

4、更换CuSO：75g/L185-20分钟ST404DP： 1000/活性铜缸HSO4 200g/L 30阴极摇摆：300ml/碳处理一次24电流15-20次/分1000A/H(2600L)CL：60ppm40-80PPM连续过滤，连ST404DP：42-530ASF续空气搅拌一次操作规程生产前先检查各水阀是否处于正常状态，各槽液位是否足够。取样分析各槽液成份，依据化验结果调整至标准范围。检查过滤机、摇摆、空气搅拌装置是否运作正常。上槽前先擦洗阴、阳极杆，保证导电良好。产制作单要求执行。8以防腐蚀性药液灼伤皮肤。每天上班时检查整流器，过滤器，摇摆机、空气搅拌装置是否正常，觉察故障准时修理。122

5、05ASF50A每周清洗过滤棉芯一次，2 个月更换/次。3-5%的稀硫酸浸泡10阳极袋口需高出液面 3-5cm，如有破损准时更换。每两个月对槽液进展一次活性碳过滤，并对阳极进展清洗，活性碳过滤后更换的棉芯，5% HSO 浸泡 1524每半年对槽液进展一次活性碳大处理。电镀铜工序工艺规程文件编号相关记录表格/调配通知单SYQC13A0页2022.01.014/5惠 州 市 顺 盈 科 技 实 业 有 限 公 司槽液分析/调配通知单试验工程：生产线：通知单号：日期：槽号成份含量要求值 结论补充药品数量单位调配者备注化验员：校对：工艺工程师：9.2药水添加更换记录表药水添加更换记录表日期药水品名添加量添加人备注电镀铜工序工艺规程9.3SYQC13A0页2022.01.015/5部门：惠州市顺盈科技实业设备日常维护记录工序：序号：设备型号设备编号年月日名称工程安全装置器油、过滤传动滑动防锈