防静电技术要求

1、防静电技术要求主题内容及适用范围本标准规定了电子设备研制生产全过程中，对静电放电危害的防护技术基本要求，静电敏感器件的采购、检测、储存、运输、装配过程中的防静电操作要求，对防静电工作区的管理以及人员教育培训等内容。本标准适用于研制、生产、维修电子设备的部门及采购、储运、检测电子元器 件，也适用于其它任何涉及静电敏感元器件的部门。术语静电：物体外表过剩或不足的静止电荷。静电放电：静电电场的能量到达一定程度后，击穿其间介质而进行放电的现象。 英文缩写 ESD。静电敏感度：元器件所能承受的静电放电电压值。静电放电敏感的英文缩写 ESDS。静电敏感器件：承受静电放电电压较低的器件对静电放电敏感的器件。

2、泄放：将静电荷安全传导到地。中和：利用导性电荷异性离子使静电消失。静电导体：外表电阻率在105108范围内的物体。接地：电气连接到能提供或接受大量电荷物体上。如大地、舰船或运载工具金属外壳。接地连接点英文缩写： EBP。防静电工作区：用各种防静电设施、器件及明确区域的界限形成的工作场地。用必要的防静电防护材料和设备建立和装备起来有明显标志的区域能防护静电损 害。英文缩写：EPA。静电放电保护材料具备以下特征：生摩擦起电。电场的影响。带电人体或带电物体接触而产生直接放电。静电放电损伤：由静电放电造成的电子元器件性能退化或功能失效。静电耗散材料：其外表电阻率等于或大于1*10 51012 或体积电

3、阻1041011的材料。静电放电造成电子元器件失效及对静电放电敏感性分类静电放电造成电子元器件失效：静电放电对电子元器件的损伤可造成功能失效和损伤。失效的主要机理有：a热二次击穿b金属镀层融熔c介质击穿d 气弧放电e外表击穿f 体击穿电子元器件易遭受静电放电损伤的敏感结构见附录A参考件附 录 A对ESD敏感的元器件组成部分兀器件组成部分元器件类别失效机理失效标志MOS结构MOSFET 分力的MOS集成电路有金属跨接的半导体器件数字集成电路双极和MOS线性集成电路双极和MOSMOS阻容器混合电路线性集成电路电压引起的介质击 穿和接着发生的大 电流现象短路漏赶大半导体二极管PN、PIN、肖特基双极

4、晶体管结型场效应晶体管可控硅数字、线性双极集成电路、输入保护电路：用于分力MOS场效应管和MOS集成电路由过剩能量和过热 引起的微等离了体 二次击穿的微扩散由SI和AL的扩散 引起电流束的增大电热迁移薄膜电阻器混合集成电路：厚膜电阻薄膜电阻单片集成电路： 薄膜电阻器密封薄膜电阻器介质击穿、与电压 有关的电流通路， 与焦耳能量有关的 微电流通路的破坏电阻漂移金属化条混合集成电路 单片集成电路 梳状覆盖式晶体管与焦耳热能量有关 的金属烧毁开路场效应结构和非 导电性盖板采用非导电石英或陶瓷封盖板 的集成电路和存储器，特别是EPROM由于ESD使正离 子在外表积垒。引 起外表反型或栅阀 值电压漂移工作

5、性能退化压电晶体晶体振荡器声外表波器件当所加电压过大时 由于机械力使晶体 破裂工作性能退化电极间的间距较 小部位声外表波器件无钝化层覆盖的薄膜金属无保 护的半导体器件和微电路电弧放电使电极材 料熔融工作性能退化静电放电敏感器件的分类：按敏感度电压被分级为：1级：损坏敏感的放电电压从0V1999V。2级：损坏敏感的放电电压从2000V3999V。见附录B参考件静电放电敏感电子元器件分类参考件I级静电敏感度的元器件11999V序号元器件类别条件及说明1微波器件包括肖特基一极管、点接触二极管、工作频率大于1GHZ的检测二极管2分力MOS场效应晶体管包括 VMOS 及VDMOS 管等3外表声波SAW器

6、件4结型场效应晶体管5电荷藕合器件6精密稳压二极管7运算放大器包括双极型工艺及 MOS工艺8超高速集成电路包括 ECL、HCMOS、FAST 等上 29其他集成电路包括 CMOS、PMOS、NMOS、TTL 等10薄膜电阻器11混合电路使用I级静电敏感元器件组装的混合电路12可控硅Ta=1000CIoII级静电敏感度的元器件2000 3999V序号元器件类别条件及说明1分力MOS场效应晶体管包括 VMOS , VDMOS 等2结型场效应晶体管3运算放大器包括双极工艺和MOS工艺4超高速集成电路5其他集成电路包括 CMOS、PMOS、NMOS、TTL 等6精密电阻网络包括 ECL、HCMOS、F

7、AST 等上 27混合电路使用II极静电敏感元器件组装的8低功率双极工2晶体管PTV100mW, ICV 100100 mA基本要求静电防护的基本原则：3抑制静电荷的积聚3迅速、安全有效地消除已经产生的静电荷。对静电放电进行有效地控制，以使电子元器件免受静电放电的危害。防止静电放电造成电子元器件、电子整机等产品功能失效与可靠性下降。具体要求如下：3防静电工作区场地：禁止直接使用木质地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板等。3.2选用静电导体材料构成的地面。如防静电活动地板或在普通地面铺设防静3.2选用静电导体材料构成的地面。如防静电活动地板或在普通地面铺设防静地垫，并有效接地。允许使用经特殊处理

8、过的水磨石地面。如事先敷设地线网，渗碳或在地面喷抗静电剂等。3接地：防静电系统必须有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10 ，埋设与检测方法符合SJ/T 10694-1996 的要求。防静电地线不得接在电源零线上，不得与防雷地线共用。使用三相五线制供电，其地线可以作为防静电地线。但零线，地线不得混接。防静电接地分系统也可利用故障保护地线或信号参考地线直流工作地 线作为接地母线。不允许交流线路的走线与直流地线紧贴或平行铺设，以防对直流信号造成干扰。各接地分系统的连线之间应相互隔离，使用带绝缘外皮的导线。3.7接地主干线截面积应不小于100mm 3.7接地主干线截面积应不小于100mm 2,支

9、干线截面积不小于6mm2,设备和工作台的接地线应采用截面积不小于mm和工作台的接地线应采用截面积不小于mm2的多股塑料导线，接地线颜色以黄绿色为宜。接地点符号如图1所示，其尺寸大小应在普通照明条件下用肉眼清楚识别,标记颜色为黄底黑色，防止使用红色。接地连接点符号式样地主干线的连接方式应采用钎焊、熔焊或压接连接件、卡箍等进行搭接连接。静电设备接地端子应用易装拆的各种夹式连接器，如鳄鱼夹、插头座等，但应确保电气连接可靠。3.3.3湿度、温度控制:3.3.3.1防静电工作区的环境相对湿度在45%75%或30%75%范围内。 3.3.3.2防静电工作区的环境温度在15 c35c范围内。3.3.3.3在

10、不对产品造成有害影响前提下允许使用增湿设备喷洒制剂或水， 以增加环境湿度。3区域界限：防静电工作区应标明区域界限，并在明显处悬挂警示标志。警示标志应符合GJB3007-97规定，EPA标记符号式样如图2所示，其最小尺寸为 300mm*150 mm ,标记颜色一般采用黄底黑色。一般可配置手模式静电泄放球应可靠接地。注 意防静电工作区ES口3产品应枭取防护措施图2 EPA标记符号式样3电荷源在防静电工作区内禁止使用及接触易产生静电荷的电荷源见表1。表1 电荷源类 另I电荷源工作台外表油漆或浸漆外表，普通外表塑料贴面，普通乙烯及树脂外表。工作服、鞋、帽普通涤纶、合成纤维及尼龙面料、塑料及普通胶底鞋。

11、地板塑料及普通地板革、抛光打蜡地板、普通乙烯树脂。操作工具及设备普通塑料盒、架、瓶、盘用品及纸制品，普通泡沫及一般电开工 具、压缩机、喷射设备、蒸发设备等。3.4防静电设施3静电安全工作台3.1静电安全工作台是防静电工作区的基本组成部分，所有装配调试人员，材料处理人员和接触静电敏感器件的检验人员、技术人员都必须在静电安全工 作台上操作。3.2静电安全工作台由工作台、防静电桌垫和大地线等组成。接地线应与大地有可靠连接。以保证静电荷安全泄放到地。防静电工作台地线应采用最小截面积不小于 1.25 mm 2的多股塑料导线，外皮颜色为黄绿色。防静电工作台面的外表电阻为106109的规定见附录C测试技术指

12、标。测试方法见第10.5.2.2条的规定。静电安全工作台上不允许堆放塑料盒片、橡皮、纸板、玻璃等易产生静电的杂物。图纸资料等应装入防静电文件袋内。防静电腕带直接接触静电敏感器件的人均应戴防静电腕带，腕带应与人体皮肤有良好的接触，腕带必须对人体皮肤无刺激，无过敏影响。腕带系统对地电阻应在106108范围内。测试方法见第.3条的规定。防静电容器在电子设备研制生产过程中一切储存、周转静电敏感器件的容器元件袋、周转箱、印制板架、元器件存放盒等应具备静电防护性能，不允许使用普通塑料容器。存放部件用的周转箱必要时应加装接地线。见附录 C防静电工作服进入防静电工作区或接触静电敏感器件的人员应穿防静电工作服，

13、防静电服面料应符合GB12014防静电工作服规定。在相对湿度大于50%的环境中防静电工作服允许选用纯棉制品。防静电烙铁防静电烙铁台应可靠接地，焊头部位应用多股铜芯线1mm2直接接地，从焊头到接地系统的电阻应不大于2 Q。防静电手套、手指应用静电耗散材料制作，电阻值在 1051010Qo防静电器材基本配制：各种防静电器件基本配置见表2。表 2 防静电器件基本配置表部位器、材、目 名元器件待验元器件库房元器件预处 *设计工艺实 验室装 配调试维 修外场维修运输防静电兀件存放架静电识别标签防静电元件盒袋防静电桌垫防静电周转箱000防静电工作服0防静电腕带防静电工作手套0防静电烙铁防静电吸锡器防静电印

14、制板架0防静电海绵泡沫0000防静电接大地线带防静电工作区标志牌00防静电文件袋0注：表示必须配置项目。表示需要时配置项目或局部区域配置项目操作标准：人员培训凡与防静电工作区EPA的人员，均需经过基本防静电知识的培训，操作人员应掌握各种器具的使用技能和操作规则与方法。静电防护操作的基本原则：5所有静电敏感器件及其部件的操作都必须在静电安全工作台上进行。5进入防静电工作区的所有电子元器件都必须视为静电敏感器件对待。5储存、运输静电敏感器件及其部件时，应妥善进行防静电包装。静电源控制凡易产生摩擦静电的材料，例如普通塑料、橡胶、合成纤维等，在防静电工作区内不准使用。人体防护5凡进入防静电工作区的人员

15、必须穿戴防静电工作服、防静电工作帽。5凡与静电敏感ESDS的器件产品接触人员，包括操作人员、工程技术或管理人员、参观人员等需佩带防静电腕带，并应保持其与人体、与接地系统接触可靠。必要时，应佩带防静电手套或指套进行操作。文件资料的防护在防静电工作区内使用的图纸或工艺文件资料，切忌将纸质文件资料与静电敏感ESDS的器件产品放在一起，必要时应将文件资料装在透明防静电包装袋内。拒绝接收未包装在静电防护容器里的静电敏感器件及其部件。当需要把静电敏感器件及其部件从静电防护容器或防静电袋中取出时，必须在静电安全台上进行，并遵守以下注意事项：5操作人员必须穿防静电工作服。5戴上防静电腕带，腕带必须与皮肤有良好

16、的接触并将腕带接入可靠的防静电接地系统中。手拿静电敏感器件时，应防止接触其引线和接线处。清洗静电敏感器件时，不得使用塑料刷。不得在任何非防静电物质外表滑动静电敏感器件。操作时应尽量减少对静电敏感器件及其部件的接触次数。静电敏感器件的引脚，印制板插脚需要清洗时应用浸沾酒精或中性洗净剂的棉球擦洗。装联电子设备时，应使用有接地线的低压直流电动起子。防止使用一般电动起子。50在焊接时应采用防静电低压恒温烙铁，并接地良好。非防静电恒温电烙铁头必须接有地线并接地良好，烙铁头到接地的电阻应不大于20。焊接 GBJ1649规定的I类静电敏感器件敏感电压范围1-1999V具体见附录 B时，还应在拔掉电烙铁电源插

17、头后进行。I类静电敏感元器件类型:敏感电压范围1-1999Va.微波器件肖特基势垒二极管，点接触二极管和其它工作频率大于1GHC的检测二极管b.离散型M0S场效应晶体管c.声外表波SAM器件d.结型场效应晶体管 JEETSe.电荷藕合器件CCDSf.精密稳压二极管线或加载电压稳定0.5%g.运算放大器OPAMPS0h.薄膜电阻器、集成电路。i.使用I级元器件的混合电路，超高速集成电路环境温度100C时，I。/的晶体闸流管SCRS。51禁止回收利用双列直插器件包装管来包装静电敏感器件。52在任何场合均不允许未采取防静电措施人员接触静电敏感器件及其零部件。53生产过程中应使用的成型机、插件机、波峰

18、焊机、贴片机、清洗机、浸锡机 或锡锅炉、电脑等设备必须具备防静电性能必须接地良好。安全警告在接通电源的电子设备上工作时，必须遵守有关安全操作标准。如果接触带电体，具有1M 电阻值腕带不能提供有效安全保证。包装及标志电子设备的防静电包装及标志应符合标准9.3条规定。防静电工作区维护与检查要求对防静电工作区 EPA的各项技术要求，必须经常性地进行检查、监测，以维护其各项性能符合本要求的规定，检查频次如表3所示，其检查记录表见附录Do表 3 EPA性能检查频次检查 频 次项目名称检查方式每日一次环境温度测量相对湿度测量佩戴腕带情况下人体对地电阻测量防静电服装穿戴情况目视防静电腕带佩戴情况目视电烙铁接

19、地情况P目视每卧-次防护工作台面接地情况目视系统接地情况目视每季，次标记情况目视1工作台面外表点对点电阻测量周转容器外表点对点电阻测量存放器外表点对点电阻一测量一系统接地电阻测量关联部门责任采购、检验、入库人员应具备静电敏感器件一般保护常识。遵守静电防护操作标准。6拒绝采购未采取防静电措施生产的及未采用防静电包装静电敏感器件及部 件。6拒绝接收未包装在防静电容器盒、袋中的敏感器件及其部件。6检验人员应熟悉静电敏感器件类型、品种及正确试验检测常识，并能熟练操 作。6检查硬件标记及包装标志符合本标准第9.1条的规定。6对静电敏感器件及其组件计数时，尽可能不要移出防静电包装。6某些工作必须将静电敏感

20、器件及其组件移出包装时例如检测，则必须在防静电安全工作台上进行，操作人员应遵守基本操作规程，工作后应立即将静电敏感 器件、组件装回防静电包装内。储存6元器件库房管理员应掌握静电敏感器件的一般保护常识。6库房必须是静电安全工作区。防静电基本设施见表2。6静电敏感器件入库、出库都必须装在防静电包装内。并遵守防静电基本操作 规程。运输在厂内运输静电敏感器件及其组件时，应将其放入防静电包装内进行。转运时应使用防静电周转箱等，器件应置于防静电包装中。调试调试部件、整件、整机技术指标时操作人员应遵守本标准中的有关规定。设计研制6应把防静电意识贯穿于新产品设计研制全过程中。6设计电路时应尽量选择不易受到静电

21、损害的元器件，并把它们安装在受静电放 电保护的地方或尽可能采用静电抑制技术。例如开关接地、涂导电涂料等。6委托研制元器件时，应向承制方提出元器件防静电要求。售后维修6维修用的静电敏感器件及其部件应妥善装在防静电包装内。6维修中应遵守本标准有关操作规程。6外出维修时，按防静电要求操作使用防静电恒温烙铁或普通烙铁必须接地, 手戴防静电腕带并接地良好。进行维修。防静电标志防静电标志图案：见图 3到图55-10 cm。5-10 cm。见器材上标志见图4或图图3。防静电容器、防静电运输箱、防静电元件盒、元件架等5,标志应置于明显且不受到摩擦损害的位置。图3:图3:防静电工作区域标志图4、图5:防静电标志

22、防静电标志应符合GJB 10649 的规定，如图 4和图5所示。防静电系统测试方法测试依据：ST/T10694-1996 电子产品制造防静电系统测试方法。测试条件：全部测试均在生产场地内进行，环境温度20 c25 C,相对湿度在40 % 60%。测试仪器：非接触式静电电压表、地电阻测量仪、500VDC兆欧表、万用表、腕带测试仪、外表电阻测试仪 ESD333、人体符合电阻测试仪所使用的仪器精度 不低于2.5级，均应在计量检定有效期内。测试技术指标见附录Co测试方法8摩擦起电电压测试使用非接触式静电电压表测量。测试时手持干燥布料选用纯棉或防静电面料，以频数约 120次/min ,手掌适当施加压力，

23、单向摩擦被测件某一部位20次，按静电电压表使用方法立即接近摩擦部位，观察仪表显示数值。对生产场地防静电设施进行摩擦起电电压总体效果测试，包括：工作台台面、台垫、货架、工位器具、物流传递器具、包装袋盒、工作服工作帽、手套等。电阻测试防静电地极1连接方法按图 6所示。EP班电省而不收EP班电省而不收图6:防静电地极接地电阻测试2测试步骤：a、将被测地极用导线接于仪器端子上。b、在相同直线方向20米、40米潮湿土地处分别插入地位探针及电流探测针，各接于仪器端子P、C上。c、设置“倍率盘”倍数。d、自缓至快摇动仪器手柄到达约120r/min ,调整测量标度盘，指针指于零位时，读数乘以倍率标度，即为接地电阻值。e、按测试步骤c、d反复测3、5次，取平均值。工作台、台面台垫按图9所示方法测试其工作台、台面台垫的外表电阻，使其符合附录C表中的规定要求。图9:工作台、台面台垫的外表电