PCBIDF工序质量分析

1、IDF工序缺陷判断及质量数据分析SYE QE 08.02.25培训目的的了解IDF工序现阶段质质量监控控点、主主要质量量问题、缺陷形形态、可可能产生生原因了解IDF工序序主要质质量数据据和指标标了解IDF工序序质量数数据分析析、改善善及效果果评估一、IDF工序主要质量量问题、缺陷形形态、可可能产生生原因、现阶段段质量监监控点纲要：1、IDF工序序现阶段段主要质质量监控控点及监监控参数数；2、流程程查核；一、IDF工序主要质量量问题、缺陷形形态、可可能产生生原因、现阶段段质量监监控点1、IDF工序序现阶段段主要质质量监控控点：具体见附附件一、IDF工序主要质量量问题、缺陷形形态、可可能产生生原因

2、、现阶段段质量监监控点2、主要参参数及质质量监控控点：前处理：1、速度（2.0-2.7m/min）2、烘干干温度（45-55）3、微蚀蚀量：0.8-1.6um贴膜：1、贴膜温温度/压力（11010、kg/cm2）2、预热温温度（805）、贴膜膜速度：电镀板板（2.0-2.m/min），其它它 （3.0-3.m/min）3、贴膜后后静止时时间（15-1440min）曝光：1、曝光级级数（干干膜：7-8、湿膜：6.5-7.5、MASK2:4-5） 、能量均匀匀性（10%）、真空空度（25-30inHg）2、曝光时时间（15s） 、温温湿度（201、46-54%RH）、曝光后静静止时间间（15-14

3、40min）一、IDF工序主要质量量问题、缺陷形形态、可可能产生生原因、现阶段段质量监监控点湿油：1、速度（2.0-3.5m/min）2、油墨墨粘度（40-62sec）3、膜厚厚：9-13um4、洁净净度：涂涂膜室1000 grade菲林制作作及使用用：1、菲林剖剖出至使使用最小小时间：4H2、保护护膜贴膜膜速度：1.5-2刻刻度3、存放放条件：温湿度（201、46-54%RH）一、IDF工序主要质量量问题、缺陷形形态、可可能产生生原因、现阶段段质量监监控点3、工序序查核（1）日日常查核核（2）专专项查核核二、IDF工序序主要质质量指标标纲要：1、报废废率2、PONC3、一次次合格率率4、RT

4、V5、重点点客户/型号二、IDF工序序主要质质量指标标工序主要要质量数数据：质量控制项目目标数据来源频率主要影响缺陷一次合格率65%、77%、80%、85%ERPERP日报、周报、月报开路缺口、曝光不良、残铜、凸起报废率普通板4.3MRBERP日报、周报、月报AOI开路缺口、短路、擦花HDI板4.3PONC185万/月QEPONC月报膜碎开路缺口、短路、擦花ET合格率内短1.1%ETERP日报、月报开路缺口、短路、残铜内开0.3大点0.3客户投诉DPPM内层开路20QSQS月报表内层开路缺口、短路内层短路10二、IDF工序序主要质质量指标标1、普通通板及HDI板板报废率率：A、曝光光房每周周普

5、通板板报废率率趋势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05合格面积ft2 37684.56377048.3401362.3406714.9382405.7开路缺口报废面积 ft2 5223.566705.946520.665816.787362.13开路缺口报废率 % 1.751.421.781.621.431.93曝光不良报废面积 ft2 684.9916.85522.93341.94713.31曝光不良报废率 % 0.150.190.240.130.080.19重合度报废面积 ft2 66.0285.0548.77196.2475.51重合

6、度报废率 % 0.050.020.020.010.050.02二、IDF工序序主要质质量指标标曝光房每每周普通通板报废废率趋势势：报废率率是工序序最重要要的质量量指标！二、IDF工序序主要质质量指标标B、DES每每周普通通板报废废率趋势势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05合格面积ft2 37684.56377048.3401362.3406714.9382405.7AOI残铜报废面积 ft2 294.16182.65141.14163.61180.49AOI残铜报废率 % 0.050.080.050.040.040.05蚀刻过度报废面积

7、ft2 68.87126.8893.86209.3372.55蚀刻过度报废率 % 0.030.020.030.020.050.02蚀刻不净报废面积 ft2 93.1675.1593.75195.02213.32蚀刻不净报废率 % 0.050.030.020.020.050.06叠/卡板报废面积 ft2 153.77204.91104.76176.51150.5叠/卡板报废率 % 0.050.040.050.030.040.04阻值超标报废面积 ft2 25.224.319.167.2111.99阻值超标报废率 % 0.020.020.0030.010.010.01特阻抗不合格报废面积 ft2

8、1.262.1511.286.126.12特性阻抗不合格报废率 % 0.01000.010.010.01二、IDF工序序主要质质量指标标DES每每周普通通板报废废率趋势势：报废率率是工序序最重要要的质量量指标！二、IDF工序序主要质质量指标标C、AOI每周普通通板报废废率趋势势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05内层余数合格面积 ft2 37684.56377048.3401362.3406714.9382405.7内层余数报废面积 ft2 947.11684.4893.32630.24826.98内层余数报废率 % 0.20.260.17

9、0.220.150.22普通板RTV合格面积 ft2109664.75118578.1106612.66111578.1991139.66内层短路报废面积 ft2 1151.161182.961039.431043.58845.45内层短路报废率 % 1.11.030.980.960.920.91内层开路报废面积 ft2 315.58342.75259.11355.33253.01内层开路报废率 % 0.30.280.280.240.310.27大点内短报废面积 ft2 470.68464.88355.18351.66285.59大点内短报废率 % 0.30.420.380.330.310.3

10、1二、IDF工序序主要质质量指标标AOI每周普通通板报废率趋势势：报废率率是工序序最重要要的质量量指标！二、IDF工序序主要质质量指标标D、曝光光房每周周HDI报废率率趋势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05T/C合格面面ft2 23976.216460.1318264.8816928.613068.4T/C开路缺口报废面积 ft2 96.75100.552.3369.8455.65T/C开路缺口报废率 % 0.20.40.60.280.410.42T/C曝光不良报废面积 ft2 56.8829.0835.3814.120.85T/C曝光不

11、良报废率 % 0.030.240.170.190.080.16电镀子板合格面面ft2 21183.7916371.2117937.4017177.9112757.86电镀子开路缺口报废面积 ft2 218.09307.01382.89527.93258.14电镀子开路缺口报废率 % 1.41.031.882.133.072.02电镀子曝光不良报废面积 ft2 13.9840.7442.5421.039.97电镀子曝光不良报废率 % 0.150.070.250.240.120.08电镀子崩孔报废面积 ft2 39.269.0952.7550.6926.6电镀子崩孔报废率 % 0.10.190.4

12、20.290.300.21二、IDF工序序主要质质量指标标曝光房每每周HDI报废废率趋势势：报废率率是工序序最重要要的质量量指标！二、IDF工序序主要质质量指标标E、DES每周周HDI板报废废率趋势势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05T/C合格面积ft2 23976.216460.1318264.8816928.613068.4T/CAOI残铜报废面积 ft2 9.76.990.221.030.96T/C AOI残铜报废率 % 0.030.040.0400.010.01T/C蚀刻过度报废面积 ft2 8.712.2420.222.212.

13、35T/C蚀刻过度报废率 % 0.010.040.010.110.010.02T/C蚀刻不净报废面积 ft2 0.632.372.710.910.89T/C蚀刻不净报废率 % 0.0200.010.010.010.01电镀子板合格面积ft2 21183.7916371.2117937.4017177.9112757.86电镀子板AOI残铜报废面积 ft2 19.0210.3815.9719.5816.45电镀子板AOI残铜报废率 % 0.10.0600.030.110.13电镀子板蚀刻过度报废面积 ft2 12.530.615.026.570电镀子板蚀刻过度报废率 % 0.050.0600.0

14、30.040电镀子板蚀刻不净报废面积 ft2 6.248.694.997.9223.10电镀子板蚀刻不净报废率 % 0.200.030.050.030.050.18二、IDF工序序主要质质量指标标DES每每周HDI报废废率趋势势：报废率率是工序序最重要要的质量量指标！二、IDF工序序主要质质量指标标F、AOI每周HDI板报报废率趋趋势：缺陷目标04/01-0704/08-1404/15-2104/22-2804/29-05HDI板RTV合格面积 ft2109664.75118578.1106612.66111578.1991139.66内层短路报废面积 ft2 1151.161182.9610

15、39.431043.58845.45内层短路报废率 % 1.11.030.980.960.920.91内层开路报废面积 ft2 315.58342.75259.11355.33253.01内层开路报废率 % 0.30.280.280.240.310.27大点内短报废面积 ft2 470.68464.88355.18351.66285.59大点内短报废率 % 0.30.420.380.330.310.31二、IDF工序序主要质质量指标标AOI每每周HDI报废废率趋势势：报废率率是工序序最重要要的质量量指标！4/01-074/08-4/144/15-214/22-4/284/29-5/05MRB报

16、废率MRB报废率MRB报废率MRB报废率MRB报废率开路缺口5223.51.426706.541.786520.661.625816.781.437362.131.93曝光不良684.90.19916.850.24522.930.13341.940.08713.310.1966.020.03885.050.0248.770.01196.240.0575.710.02重合度残铜叠卡板294.160.08182.650.05141.140.04163.610.04180.490.05153.770.04204.910.05104.760.03176.510.04150.50.04二、IDF工序序主

17、要质质量指标标普通板主主要缺陷陷柏拉图图：主要缺陷陷近期报报废趋势势：二、IDF工序序主要质质量指标标2）、PONC值：PONC（Price of Nonconformance）：不符合要要求的代代价-指当质量量不符合合要求时时产生的的额外的的费用。包括返返工、返返修、赶赶工、报报废、库库存过多多、客户户抱怨及及索赔等等。 工序序PONC=Internal MRBPonc+ ProcessPonc（内部报报废产生生的PONC）（返返工产生生的PONC）PONC是公司内内部除报报废率、一次合合格率之之外衡量量质量状状况的另另一重要要质量数数据。PS：具体见见QA38-质量成本本控制二、IDF工序

18、序主要质质量指标标各工序PONC的具体体计算方方法：各小组列列出影响响工序的的各项不不合格所所引起的的资源的的浪费（包括人人数、时时间、返返工数量量、机器器水流量量、机器器功率、单位时时间平均均人工、单位物物料消耗耗代价、水单价价、电单单价、单单位时间间机器折折旧等）；根据公式式计算：1）人人工费用用人数数时间间单位位时间平平均人工工2）物料料费用实际返返工数量量/面积积单位位数量/面积消消耗物料料代价3）机器器费用时间单位时时间机器器折旧4）水的的费用时间机器平平均水流流量水水单价5）电的的费用时间机器功功率电电单价工序PONCMRBPONCProcessPONCMRBPONC工工序报废废面

19、积单位面面积消耗耗所有资资源总和和Process PONC返工数数量返返工生产产单元面面积消耗耗的所有有资源总总和二、IDF工序序主要质质量指标标07年各各月份IDF工工序PONC目目标及实实际达成成情况：MRBPONC07/01 实际07/02 实际07/03 实际07年5月份目标07年4月实际07/01 实际07/02 实际07/03 实际07/04 目标07年4月实际07年5月目标IDFT/C3.593.162.642.502.31167.697.7152.5185142.1185RTV2.151.921.881.801.75总计5.735.074.524.304.06T/C1.141.

20、230.570.500.82子板4.553.302.362.002.69RTV1.841.191.861.801.65总计7.525.734.794.305.16二、IDF工序序主要质质量指标标07年各各月份IDF工工序PONC目目标及实实际达成成情况：具体见附附件二、IDF工序序主要质质量指标标3）、工工序一次次合格率率（线宽3.5mil） 日 期04/2204/2304/2404/2504/26一次合格率 86.2387.7391.4687.9087.59 主要缺陷缺陷率 开路缺口针孔6.737.635.777.437.63 残铜凸起间距小6.434.582.354.135.57 短路2.

21、051.360.691.321.2 曝光不良0.250.120.200.220.37二、IDF工工序主要要质量指指标4）、E-Test工工序内层层开短路路缺陷率率：说明：E-T工工序外层层开短路路数据的的分析更更适合于于型号分分析、而而且对数数据的分分析一定定要基于于对问题题板缺陷陷原因的的分析判判断上。 日 期05/0205/0305/0405/0505/06一次合格率 98.3698.597.9198.4398.56 主要缺陷缺陷率内层开路0.340.250.750.310.23内层短路1.061.081.161.070.98大点内短0.240.170.180.190.23二、IDF工序序

22、主要质质量指标标：5）、重重点客户户/型号号内层AOI数数据：A、内层层AOI数据包包括一次次合格率率、报废废率、以以及缺陷陷形态分分析；B、内层层AOI数据可可以在第第一时间间真实的的反映出出生产型型号的缺缺陷及质质量问题题，从而而根据这这些质量量数据/信息第第一时间间对工序序问题点点进行查查找和改改善；C、内层层常见缺陷陷图片：三、IDF工序序质量数数据分析析及改善善工序的的质量数数据分析析和改善善分为两两个方面面：1、工序序常规缺缺陷质量量数据分分析和改改善：常常规缺陷陷的数据据分析，根据工工序日常常质量数数据的变变化来进进行判断断、分析析、改善善和评价价；此类类项目的的分析多多数是通通

23、过表观观确认、切片确确认等方方法来确确认问题题点和改改善思路路。2、工序序异常/重要缺缺陷质量量问题的的分析和和改善：主要是是对于工工序异常常批量问问题和与与板可靠靠性有关关的重要要项目进进行的系系统的专专项实验验分析和和跟进；此类项项目的分分析通常常要借助助特殊的的质量监监控点和和物理/可靠性性测试方方法来对对实验结结果进行行确认。 三、IDF工序序质量数数据分析析及改善善故 障原 因解 决 方 法贴膜压力不够供气有问题;上下贴膜轮的空隙未调适当。检查供气系统;调校上下贴膜轮至适当的空隙。板进入贴膜轮有困难气压太高;上下贴膜轮的空隙太窄。调校至适当气压;调校上下贴膜轮至适当空隙。贴膜时气味浓

24、排气扇未启动;排气管堵塞;排气管与机身连接不良。启动排气扇;检查排气管; 重新接牢排气管。压膜后起皱膜过宽；上下膜不对称。更换合适的干膜尺寸；上膜时注意上下卷位置一致。显影后干膜面多砂孔干膜环境不清洁，尘埃多；曝光能量过低。注意保持干膜房清洁；重新调整曝光能量。 干膜跟板面附着力不够板面粗化不足或不均匀；贴膜前预热不足；贴膜温度或速度不适当；板面污染、氧化；压膜后静置时间不足；压膜热辊变形。调节微蚀量；调节预热温度；调校至适当的温度和速度；作水裂点实验检查；静置15min以上；更换热辊。有残胶贴膜温度过高产生聚合作用；压膜后或曝光后静置时间过长；静置时接近漏光区，产生光硬化；显影段喷嘴堵塞；曝光过强；显影液浓度低或显影速度太快。检查贴膜设定温度和实际温度；以不超过1日为限；远离漏光区；检查并清洁喷嘴、滤芯；调至适当的曝光量；检查显影液浓