半导体厂GAS系统基础知识

半导体厂GAS系统基础的学习知识半导体厂GAS系统基础的学习知识44/44半导体厂GAS系统基础的学习知识合用标准文案GAS系统基础知识优异文档/合用标准文案归纳HOOK-UP专业认知一、厂务系统HOOKUP定义HOOKUP乃是藉由连结以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。HOOKUP是将厂务供给的UTILITIES(如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连结点(PORTORSTICK),藉由管路及电缆线连结至机台及其隶属设施(SUBUNITS)。机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或荒弃物(如废水,废气等),经由管路连结至系统预留接点,再传达到厂务回收系统或废水废气办理系统。HOOKUP项目主要包括∶CAD，MOVEIN，COREDRILL，SEISMIC，VACUU，GAS，CHEMICAL，D.I,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC,DRAIN.二、GASHOOK-UP专业知识的基本认识在半导体厂，所谓气体管路的Hook-up（配管连结）以BuckGas（一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，优异文档/合用标准文案自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（MainPiping）至次主管线（Sub-MainPiping）之TakeOff点称为一次配（SP1Hook-up），自TakeOff出口点至机台（Tool）或设施（Equipment）的入口点，谓之二次配（SP2Hook-up）。以SpecialtyGas（特别性气体如：腐化性、毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其供气源为气柜（GasCabinet）。自G/C出口点至VMB（ValveMainfoldBox.多功能阀箱）或VMP（ValveMainfoldPanel多功能阀盘）之一次测（Primary）入口点，称为一次配（SP1Hook-up），由VMB或VMPStick之二次侧（Secondary）出口点至机台入口点谓之二次配（SP2Hook-up）。优异文档/合用标准文案GAS简单知识基本掌握第一章气体归纳由于制程上的需要，在半导体工厂使用了好多种类的气体，一般我们皆依气体特点来区分，可分为一般气体（BULKGAS）与特别气体（SPECIALTYGAS）两大类。前者为使用量较大之气体，如N2、CDA等，因用量较大，一般气体常以大宗气体称之。后者为使用量较小之气体?一般指用量小,极少用量便会对人体造成生命威胁的气体，如SiH4、NF3等1.1BulkGas介绍半导体厂所使用的大宗气体，一般有：CDA、GN2、PN2、PAr、PO2、PH2、PHe等七种。1．大宗气体的制造：CDA/IA(CleanDryAir/InstrumentAir)：CDA之本源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及炭氢化合物以供给无尘室CDA/IA(CleanDryAir)。GN2(Nitrogen)：利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经过触媒转变器，将CO反响成CO2，将H2反响成H2O，再由分子筛吸附CO2、H2O，再经分溜分别O2&CnHm。N2=-195.6℃，O2=-183℃。PN2(Nitrogen)：将GN2经由纯化器(Purifier)纯化办理，产生高纯度的氮气。一般液态氮气纯度约为99.9999﹪，含小数点后共6个9。经纯化器纯化过的氮气纯度约为99.9999999﹪，含小数点后共9个9。PO2(Oxygen)：优异文档/合用标准文案利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获取99.0﹪以上纯度之氧，再除去N2、Ar、CnHm。其他可由水电解方式解离H2＆O2，产品液化后易于运送储存。PAr(Argon)：利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获取99.0﹪以上纯度之氩气，因氩气在空气中含量仅0.93﹪，生产成实情对较高。PH2(Hydrogen)：利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获取99.0﹪以上纯度之氢气。其他可由水电解方式解离H2＆O2，制程廉价但危险性高易触发爆炸，液化后易于运送储蓄。PHe(Helium)：由稀有富含氦气之天然气中提炼，其主要产地为美国及俄罗斯。利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，易由分溜获取。Helium=-268.9℃，Methane=-161.4℃。2．大宗气体在半导体厂的用途：CDA：CDA主要供给FAB内气动设施动力气源及吹净(purge)，LocalScrubber助燃。IA主要供给厂务系统气动设施动力气源及吹净。N2：主要供给部分气动设施气源或供给吹净、稀释、惰性气体环境及化学品输送压力本源。O2：供给ETCH制程氧化剂所需及CPCVD制程中供给氧化制程用，供给O3Generator优异文档/合用标准文案所需之氧气供给及其他制程所需。Ar：供给Sputter制程，离子溅镀热传导介质，Chamber稀释及惰性气体环境。H2：供给炉管设施燃烧造成湿氧环境，POLY制程中做H2BAKE之用，W-PLUG制程中作为WF6之还原反响气体及其他制程所需。He：供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却。3.BULKGAS的供给系统Methods:GASProducedon-siteStorageContainerTrailerBundleCompressTYPtankorCDAON2OOO2OOAr-OH2O-OOO-He--OOO-BulkGasSupplySystembeforeFab优异文档/合用标准文案BulkGasSupplySysteminFab大宗气体(BULKGAS)诚然不像特别气体(SPECIALITYGAS)，有的拥有强烈的毒性、腐化性。但是我们使用大宗气体时，依旧要注意安全。GN2、PN2、PAr、PHe拥有窒息性的危险，这些气体无臭、无色、无味，如大量泄出而相对致空气中含氧量（一般为21﹪）减少至16﹪以下时，即有头痛与恶心现象。当氧气含量少至10﹪时，将令人坠入意识不清状态，6﹪以下刹时昏倒，无法呼吸，6分钟以内即死优异文档/合用标准文案亡。PH2因泄漏或混入，其自己之度只要在H2之爆炸范(4%－75%)内（如空气），只要一有火源，此气体乃会因相混而燃。PO2会使物易于氧化生燃，造成火灾的不幸事件。因此，身在半体工厂工作的我，在上、施工中，如何防范泄漏、如何防患，是我努力的工作之一。特别气体特点及系介半体厂所使用的特别气体种众多，有四五十种，依危性可区分以下数：易燃性气体FlammableGas毒性气体ToxicGas腐性气体CorrosiveGas低性/保温气体HeatGas惰性气体InertGas特别气体特点介易燃性气体:燃点低,一泄漏与其他气体相混,便易引起爆炸及燃如SIH4,PH3,H2,⋯.*毒性气体:反性极,烈危害人体功能,如CO,NO,CLF3,⋯.腐性气体:易与水份起反而生酸性物,有刺鼻,腐,破歹人体的危性如NH3,SIF4,CL2,⋯.*低性/保温气体:属粘稠性液气体,需包加及保温棉,将管内的温度高升以使其气化,才能充分供优异文档/合用标准文案气体,如WF6,BCL3,DCS,⋯.*惰性气体:又称窒息性气体,当泄漏出的量使空气中含氧量减少至16%~6%以下,便会影响人体,甚至死亡,如SF6,C4F8,N2O,⋯.2.供系介*GC（GasCabinet）气瓶柜*GR（GasRack）气瓶架*BSGSSystem（BulkSepcialgassupplysystem）特别气体大量供系*Y-Cylinder,Bundle集束瓶*Trailer槽*VDB主箱/VDP主（ValveDistributionBox/Panel）*VMB箱/VMP(ValveManifoldBox/Panel)SpecialtyGasSupplySystemSpecialtyGasSupplySystem-Equipmentineveryfloor优异文档/合用标准文案我们不除去这些气领悟对我们有不良影响。身在半导体工厂的我们，在设计上、施工中，如何防范泄漏、如何防患，则是我们努力的工作之一。优异文档/合用标准文案第二章一次配管和二次配管半体厂的气体管路，我一般区分一次配管（SP1）及二次配管（SP2，又称Hookup）。SP1：由气体的初步流出点（Gasyard/Gascabinet）至无室中的TakeoffValve或VMB（Valvemanifoldbox）/VMP（Valvemanifoldpanel）。SP2：由TakeoffValve或VMB/VMP开始至活力台止（Hookup）。所使用管材以1/4”、3/8”、1/2”、3/4”主。Piping之配合气体型考量，一般分BulkGas及SpecialityGas两大。2.1Material介认识半体气体工程的配管，和管路，必先认识资料（Material）资料区分：1.TUBE&PIPE（管件）（配件）（件）（）5.CHECKVALVE（逆止）（器）7.VACUUMGENERATOR（真空生器）其他料依照：气体种,气体特点*影响资料使用的等–AP/BA/EP/V+V/⋯.主需求及算有无指定厂牌或格?依机台所需用量及自己接点定料件尺寸优异文档/合用标准文案*影响资料使用的尺寸–?”/?”/15A/⋯⋯.依机台所需力及流量不相同资料型式使劲范适合或流量吻合之件面装料件接型式*VCR/SWG/Welding/Flange⋯..2.1.3TUBE&PIPE管件：?1.定:*Pipe:,以公称内径(ID)配合壁厚作量度之尺寸.Tube:以外径(OD)及壁厚作量度之尺寸.格:6M/stickor4M/stickor100M/roll2.常用材:SS304/SS304L&SS316/SS316L&VIM+VAR&HC-22⋯3.表面理等:BA–BrightAnneal表面研磨EP–ElectroPolish表面研磨+解研磨?4.等:*BulkGas一般使用316LBA或316LEP等*SpecialtyGas:易燃性/惰性气体–316LEP毒性–双套管(304AP+316LEP)/管316LEP腐性气体–VIM+VAR低性气体--316LEP+HeaterLine+WarmCover2.1.4FITTINGS配件：1.材同管件?2.常用种优异文档/合用标准文案⋯?3.型式及格:一般可分VCR/SWG/WELDING/螺牙接/FLANGE尺寸从1/8“~1”(VCR/SWG)及1/4“~300A(WELD/FLANGE)皆有,又分短接SCM(micro)or接SCL(long)&SCF(以Kitz作明):ProductNameSizeSizeforothersideTypeSpecificationMaterialSCM40EEPLESCM：表示BANKEN公司FITTING的分，是属于短接型式。：表示尺寸1/4”。：表示另一端尺寸同前，1/4”。E：表示此料件型式ELBOW。EP：表示料件表面理等极EP。LE：表示此料件VIM+VAR等的EP?4.常用厂牌:KITZ/HAM-LET/IHARASWAGELOK/FUJIKIN⋯.?5.其他大部分FITTING又分三种不相同格，分一般Type；UnionType及ReducingType。一般型即平所之接型式，Union型接型式（即直接以GLAND+NUT），Reducing型似一般型，唯其两端（三端）尺寸不相同。一般所用接有两种，分VCR及SWG，其中VCR需1/8圈，SWG需11/4圈(1/4”以下需3/4圈)，方能有效。大部分的气体使用之GASKETNi材，CONi具侵性*CO&O3–GasketmustbeSUS.。优异文档/合用标准文案2.1.5VALVE阀件：1.材质同管件?2.常用种类:手动阀(ManualValve)a.BallValve球阀b.BellowsValve涟漪管阀c.DiaphragmValve膜片阀*气动阀(AirValve)*逆止阀(CheckValve)CHECKVALVE采用主要依照其尺寸及两端接头型式决定。CrackingPressure为CheckValve赌气体经过之最小压力。平常采用3psig以下之型式。NH3必需使用特别之CheckValve，*NH3–CheckvalvemustbeAFLAStype.。优异文档/合用标准文案其他3.常用厂牌:KITZ/OHNO/IHARA/MOTOYAMA/NUPRO⋯.?4.注:*高/低--依使用所不相同来两通/三通/四通/⋯..:依需求来,注意流向2.1.6REGULATOR：?1.材同管件?2.Seat材:PCTFE,SS316L,Kel-F81⋯*N2O–SeatmaterialmustbeVespel.?3.常用种:*高/低/一般力*2P无表/3Por4P表或双表*VCR/SWG/Flange4.REGULATOR一般分高与低取，但还有高流量型式可供取，其他可依表（Gauge）需求加以搭配。?(以KITZ例)BulkGas一般使用316LBA或316LEP等/VCR或SWG1/4”-R25系列3/8”-R35系列1/2”-RH1系列*SpecialtyGas:毒性/易燃性/惰性气体–316LEP-L25orR25系列优异文档/合用标准文案腐化性气体–VIM+VAR-L25SVA系列低压性气体–需选择可调负压的type-L96SSA系列(-30”Hg~0~30psi)2.1.7aboutPressureGauge&Transducer1.常用种类差别:*PressureGauge(PG)压力表头,指针式,C122*PressureSwitch(PS)压力开关,指针式,带传输线,IPS122*DigitalPressureGauge(PID)电子式压力表头*PressureTransducer(PT)压力传达器优异文档/合用标准文案2.使用于:面及管路上?3.力范大体可分:高(0~3000psi)低(-30”Hg~0~30psi)(-30”Hg~0~160psi)?4.常用源:24VDC,4~20mADC2.1.8FILTER器：?1.功能:气体中的微粒子(Particle)?2.等,即径尺寸(particlesize),可分:?3.中心片(Medium)材:PTFE/SS316L/NI*CO–片材PTFE?4.流量考量(flowrate):分一般流量及大流量30slpm/100slpm/300slpm/1500slpm⋯.?5.Connectingtype:VCRorSWGorWelding?6.注意:一般常用片材(以Mykrolis例)*BulkGas–PTFE*SpecialtyGas:毒性/易燃性/惰性气体–PTFE系列腐性气体–PTFE,noSS316LforCO-PTFEtype优异文档/合用标准文案过滤效防漏性抓取率抗腐化效PTFE(F)好不好N/ASS316L很好好很差很好很好好2.1.9VACUUMGENERATOR真空产生器：装于G/C/G/R/VMB/VMP作为Vent抽气使用VACUUMGENERATOR的采用主要在于其接头的尺寸及型式。Ventout1/2”GN2in?”2.1.10其他：（1）氩气：纯度99.999以上，每个钢瓶6立方公尺或7立方公尺，平常一瓶每组可使用2~3天。（2）C型钢：制作支撑架用，有高低脚、双并、有孔等型式。（3）电工管夹：将管材固定于C型钢上，最大可使用至5/8”之管子。（4）管束：分单立、双立、P型等型式，固定管子用。（5）牙条：悬挂、固定型钢用。（6）型钢垫片：配合牙条、悬挂型钢用。（7）弹簧螺帽：置于型钢槽内，锁螺丝或牙条用。优异文档/合用标准文案<符号认识:>优异文档/合用标准文案一次配管一次配管（SPI）2.2.1BULKGASSPI名词：MAIN主管SUBMAIN副主管TAKEOFFVALVE一次配与二次配连结的阀ISOLATIONVALVE隔断阀BOTTOMVALVE尾端阀1SCOPESP1：为由气体的初步流出点（Gasyard）至无尘室中的TakeoffValve·2管路形式BulkGas在SubFab中的供给系统按其形状能够分为鱼骨式和回路式两种。鱼骨式：MAIN和SubMain以鱼骨的形状分布回路式：MAIN和SubMain构成回路形式优异文档/合用标准文案这两种BULKGAS的供给形式各有自己的优缺点，鱼骨式成本比较低，但是由于气体在SubMain但方向供给的距离比较长，简单产生较大的压降，尾端部分的TAKEOFFVALVE简单产生压力不足的状况；回路式使用MAIN从两端向SUBMAIN供气的方式，很大程度上降低了压降带来的不良影响，但是由于延长了MAIN的长度，成本比较高。实质上，无论鱼骨式还是回路式，经过科学的计算，选择适合的压力和管径，都能够满足厂务的需求，选择哪一种方式，主要看业主的需要和选择。3阀件的选择该图为各种阀件在供给系统中的应用地址优异文档/合用标准文案选择的依照：阀的种类：依照气体的种类PurgePort：依照管路焊接时ArPurge（防范管路内部焊道氧化）的需求各地址阀的选择IsolationValve(OnMain/Submain)Weldingwith2purgeportBottomValve(OnMain/Submain)Weldingwith2purgeportTakeoffValve3/4",15AorlargerSize:useweldingwithoutletpurgeportvalve1/2"orsmallersize:useinletweldingoutletVCR(SWG)withNoportvalveWealsecanchooseVCR(SWG)valveastakeoffvalewithnopurgeportfollowingsupplyingstatus优异文档/合用标准文案2.2.2SPECIALTYGASSPI名词：GC—GasCabinet气瓶柜GR—GasRack气瓶架VMB—ValveManifoldBoxVMP—ValveManifoldPanelVDB—ValveDistributionBoxVDP—ValveDistributionPanel1SCOPE为由气体的初步流出点（GC/R）至无尘室中的VMB/P2气体设施的设计●设计流程介绍:1.客户提出需求设计建议案提出:Key-PointIntroductionFlowSheetDrawingMaterialQ’tyList箱体,盘面发包组立:MaterialChosenPanelLayoutDrawingBoxStructDrawing●GasCabinet/GasRack设计:1.功能设计可分为单钢/双钢(2Process)/三钢(2Process+1N2)气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：分别为单钢、双钢、三钢。单钢的设计平常使用于研究机构或实验室等。制程还没有有量产，气体使用量小，现场可随时协调停机进行钢瓶之更换，其优点节约空间、成本低、但需透过平常之管理与协调以优异文档/合用标准文案免中断制程造成损失。双钢与三钢常用于量产工厂，制程不相赞同停机状况，当一支钢瓶使用完后，另一支钢瓶standby会自动转为供气，此两种形式最大的差别是在purge管路的纯化氮气是以钢瓶或厂务端供给，当purge用的PN2一致由厂务端来供给时，所有特别气体供给系统无论可否相容，所有连结到同一个供给源，会有较高的风险值；万一中央供给系统的PN2中断，警报系统又损坏，恰巧两种不相容的气体同时使用purge，此时极有可能发生爆炸的事件发生，相同性质可使用同一瓶钢瓶来purge增加的成本及空间特别有限，是一种特别好的应变方式。三钢气柜成本不会差好多安全性会是最好的，只要空间赞同应最优先选择。2．操作性设计：一般气瓶柜都设计有两个特别气体钢瓶，需自动切换的功能以达到连续供给不气绝的目的，气态气体平常以压力感觉器来计算钢瓶的节余量，若是液态蒸气压气体则以电子磅秤来侦测节余量，当一瓶用完时会切换到另一瓶。操作上一般可分为全自动、半自动、手动三种方式平常换钢瓶时会执行以下几种Purge：(a)Pre-purge(换钢瓶前)第一将钢瓶阀关闭，测试可否相关紧，用真空产生器将特别气体抽出，再用PN2来稀释管壁内的特别气体，重复执行充吹的动作将管壁内的特别气体稀释干净，此时即可更换钢瓶。(b)Post-purge(换钢瓶后)平常以PN2来进行保压测试，测试钢瓶接头可否连结优异，再利用PN2重复执行充吹的动作来将钢瓶接头干净干净。(c)Processpurge(用特别气体)直接用特别气体来Purge管壁，主要的目的是要将PN2完满的除去让供气的质量更好，不会因更换钢瓶而供给质量碰到影响。(d)Hipressureleaktest(高压测漏)平常高压燃烧性气领悟建议使用高压测漏，由于经过高压测漏更能保证钢瓶接头连结没问题。一般钢瓶更换机会大体是节余10%的残留量，但实质上应以制程的需求来决定，这样才会获取最正确的更换时间。再者，钢瓶都有使用限时，操过使用限时由于部分特别气领悟对钢瓶造成为腐化，污染气源。优异文档/合用标准文案为到达上述1-4项的功能，其管件的设计就会比较复杂，建议顾客尽量使用自动的供给系统，若使用手动的方式进行，人员操作需要特其他小心谨慎，只要任何一项步骤有疏失极可能影响供给的质量，严重时有可能造成人员伤亡。即即是气瓶架也应该采用自动的供给系统，诚然没危险性，人员操作不当极有可能造成污染，毕竟要人员重复动作可能几十次，不仅要要耗好多的时间，人员也要集中好多精神来执行，风险等级也相对提高。气瓶柜管路设计：认识气瓶柜盘面上的一些设计，以下逐一介绍盘面上重要主件：气动阀气源：一般以GN2来进行控制，不建议使用CDA，因GN2的供给系统比较牢固，不会因停电或运转设施故障而中断，此气源是用于自动或半自动的气动阀件开关。手动控制阀：主要用于第二到防范作为第二次确认用，一般于供给气体的出口端。逆止阀：防范特气倒灌到干净用的PN2系统和抽气用的GN2系统。调压阀：用于调整供给系统的供给压力。压力传达器：是防范系统中特别重要的零件，透过它我们能够判断管路可否泄漏，相关阀件可否正常开关，同时亦可检知钢瓶的节余量。真空产生器：利用GN2快速流动产生吸力，将管路中的气体抽出，以到达抽气的目的。气体过滤器：一般在钢瓶出口端会装比较粗的过滤器，在出端会装比较细的过滤器，有效过滤气体中的粒子，过滤器较不易purge因此一般不建议装在常purge的管路中。过流量侦测器：对管路异常流量进行侦测，若是操过设定值，即判断管路上可能大量泄漏，进而关闭供给系统停止供气。限流孔：是一种简单又有效的过流量控制装置，用以限制大量气体流过，一般使用于vent处，其主要功用大量的特别气体排出，地域性的废气办理机无法办理的状况发生。气瓶柜在管路设计上应该特别注意的事项以下：1.不相容的气体purge管路不能相连在一起。优异文档/合用标准文案不相容的气体不能够装在同一个气瓶柜内，即使各自独立的供给系统也严重禁止。管路大小应依实质制程所需的压力流量来设计。钢瓶接头型号应早先由业主见告我们省得有接头无法接上的问题。小钢瓶会使用可调整的支撑架。阀件材质应依气体特点来选择。如有考虑扩大性可在出口端加装一个预留扩大阀。安全防范设施：气瓶柜防范设计，包括外箱的防火与防爆设计、抽风孔、火焰侦测器、消防洒水头、毒气侦测器、紧急遮断开关、过流量侦测器、温度侦测器、烟雾侦测器、vent限流孔、远端遮断等。其中消防洒水头在气瓶柜内的温度操过65℃时，玻璃会自动破裂洒水，但要注意有些腐化性气领悟与水产生强烈反响，建议不安装消防洒水头。在气体房内也需装烟雾侦测器及洒水头，以防范气瓶柜以外的地方有火灾，所有系统应该与中央监控系统连线，并与广播系统连线，一有警报马上分别相关人员，由厂区紧急应变小组来进行办理，省得发生危险。这些相关防范设施在规划时应特别考虑其摆放地址及其合用，如紧急遮断按钮除气柜上需要外，在气体房外或中央监控系统亦需架设，防范气体外泄人员无法进入关闭源泉的钢瓶；其他警报警示灯与警报声响亦需在气体房外面明显的地址架设，以利人员紧急办理时的鉴别，并规划相关防范器具，如更换钢瓶时所使用的空气面罩。为防范地震会在气瓶柜的底部打上膨胀螺丝固定，使其在地震时不至于位移，地震仪的安装平常有三个感觉器，分别装于厂区的三个角落，可防范当有外力的干扰时(如施工)即造成误动作，一般执行地震切断系统功能，平常会设定两个地震仪动作才会执行此功能，且设定地震等级为五级。另一项比较特其他就是紧急的废气办理设施合用于燃烧性气体，一般时抽风量只有一半，当特别气体外泄时，抽风量会全数运转，需与侦测器配合使用，但受空间限制一般以吸附一瓶特别气的量作为设计，由于其体积特别大。但因价格昂贵目前还没有普及。优异文档/合用标准文案优异文档/合用标准文案依气体特点来面功能:forexample:smicfab2SPECIFICATIONGASTypeCYLINDERSIZEAUTOFIRESMOKEZ-PURGEPRVHC-22HP-FHP-NiAFLASEFSL/CDPSDPGSPLI.TEMP.UV/IREMOESVEMSODPS2SWITCHDAMPERCl247LYNYNNYYYYYYYYYOptionYYYSiH2Cl247LYNYNNYYYYYYYYYOptionYYYSiH447LYNYNNYNYYYYYYYOptionYYYWF647LYNYNNYYYYYYYYYOptionYYY安全功能:ShutBoy瓶,UV/IR火焰器,Sprinker洒水,EMO急停气按,DPS/DPG泄漏器⋯⋯优异文档/合用标准文案GCFLOWSHEETDRAWING优异文档/合用标准文案VMB/VMP的设计：VMB内气体种类配置的设计基本上有两种方式：一种以供给机台为主，另一种以气体种类进行分类，前者较少用也比较不好，诚然它有空间上的优点，但不相容气体装于同一个箱子内万一泄漏或人员误动作极有可能强烈反响严重甚至爆炸，相对侦测器的点数会增加，造成成本的负担，未来扩大性也较差，后者的设计是目前最宽泛采用的方式，诚然无法集中，操作可能比较不方便，但气体侦测点少，安全性高，VMB设计及操作简单，扩大性佳。基本上VMB与气瓶柜的设计是迥然不相同的，只要气瓶柜有的功能在VMB亦能够做，但由于经费的问题一般功能不会做那么好，以手动为主加一个气动阀可做紧急遮断用。一般VMB不常会去操作或动到因此发生泄漏的机率比较低，设计一般以节约成本为主。VMB一般是以业主实质上的需求来设计2、3、4、5或其他点数的数量，同时供给数台机台，亦可加调压阀做二次调压让压力更加的牢固，设定上下警报讯号做更有效的供给控制。*Function&Future:1.2sticks~10sticksProcessLines–forcustomer依操作方式可分为“自动”及“手动”3.With1Pn2purgelineand1vacuumline来干净管路及相关阀件(vacuumline可省略而经由机台pump来抽气)优异文档/合用标准文案依制程需求可再次调压5.Mainline扩大阀/Stick扩大阀,视需求可供未来扩大之电控箱藉由GIS集中控制,并与厂务中控系统连结*VMB/VMP之Safety:1.ProcessLine供气状况经PLC(option)与中控系统连线,如有紧急状况可自动切气绝源所有阀件接点及焊道均在箱内,可经由Damper抽风功能来减少气体外漏之危险3．VMBforFlammableorPyrophoricgaseshasUVDetector(option)4.LocalShutDownButton(forVMB)防爆钢丝玻璃配置门锁以防不当操作二次配管（SPII/Hookup）·1SCOPE为由TakeoffValve或VMB/VMP开始至生产机台设施处为止（Hookup）·2Hookup配管之设计：1、种类：1)草图：依业主供给之基本资料（厂务需求单，机台、VMB/P、TAKE-OFF、LAYOUT优异文档/合用标准文案图面等），简单绘制之图面。施工图：依照草图协调Hookup事宜，经确认无误后绘制而成。发至现场施工小组，即可依图施工。竣工图：施工达成，现场负责人会将现场施工图面回收。依现场施工修正之施工图，绘制竣工图。2、工作程序及方法：先期工作：以建立所需之BLOCK为主。对绘图而言，底图是重要且必需的参照依照，同时也希望业主能够供给。至于如何做分区、界定，则与客户厂务工程师协调后，再进行底图之切割及最后之图档管理。工作进行中：以业主供给之Hookup图面及资料，进行统合及绘制草图的工作。原则上草图的统合，是由现场负责人负责－包括资料汇整、地址及水、气、化、电的点数确认，手绘草图的工作等等。再与设计人员进行实质的电脑绘图工作。电脑绘图达成之草图，经现场负责人确认后，交予客户相关之设施及厂务工程师。协调相关之厂商负责人及客户相关之设施或厂务工程师，至现场实质套图。为求图面正确性高，则希望业主供给做为参照之图面及资料能愈详细愈好，以做为最后确认草图的重要依照。若业主供给的图面及资料有更正时，马上进行更正以利达成工作任务。协调、更正后经业主相关设施或厂务工程师确认之图面，即为施工图，可发至现场施工。后期工作：现场施工小组依图面施工，施工路径与施工图有异时，施工小组将在图面上作修正。竣工后，依现场施工小组修正之图面，绘制竣工图。现场负责人与设计人员依竣工图至现场核对，修正后达成竣工图面。Hookup工程，人员及设施之需求视现场实质需要而分派。比方人员工作量之负荷，可否进驻现场，上下班状况等等，皆须配合业主之要求及预定Schedule之时程。所有以正确达成工作为原则。优异文档/合用标准文案客户所需供给之图面及资料（以下为参照资料，实质需求以工程为主）一、图面：1、客户厂区LAYOUT（最好各楼层皆有）2、GAS：TAKE-OFF，DP，VMB/PLAYOUT3、CHEMICAL：TEE-BOX，V-BOXLAYOUT4、WATERDPLAYOUT5、EXHAUSTLAYOUT6、ELECTRICPOWERDISTRIBUTIONLAYOUT二、DATA：1、EQUIPMENTDETAILLIST（机台设施详细资料）1）I.DNUMBER2）TOOLNUMBER3）INLETPOINT，SIZE，FLOW，PRESSURE2、各机台使用之BULKGASTAKE-OFF点3、各机台使用之VMB/P优异文档/合用标准文案三．S．G气体使用地域：氣體種類危害性使用區域GasType氧化性易燃性毒性腐蝕性窒息性CVDPVDDIFFIMPETCHPHOTONF3vvvvvvCl2vvHBrvvvSiF4vvvF2/Kr/NevvF2/Ar/NevvC5F8vvBCl3vvvNOvvvvWF6vvv优异文档/合用标准文案氣體種類危害性使用區域GasType氧化性易燃性毒性腐蝕性窒息性CVDPVDDIFFIMPETCHPHOTOCH2F2vvvCH3FvvvCOvvvC4F6vvv优异文档/合用标准文案四．B．G使用地域：CDA：T/FPHOTODIFFETCHCMPIMPGN2；T/FDIFFETCHCMPIMPLABPN2：T/FPHOTODIFFETCHCMPIMPHPCDA：PHOTO五．S．G合用机台及制程：气体种类合用机台及制程5%H2/HEAMTENDURA-SEEDLAYER(CU)(SPUTTER)F2/KR/NESCANNERKR/NEAR/H2/O2AMTENDURA-SPUTTERCO2NOVELLUSVECTOR-CU；DNSFC3000WETBENCH-STCLEAN、BCLEAN；DNSSCRUBBER-WAFERSCRUBBER、WAFERRECYCLEH2/CL2/HBRKE(Z-III)-STARTOXIDE；TELALPHA3031-GATEOXIDE、PAD/SACOXIDE；SIH4/WF6AMATECP(CU)-CUECP；NOVELLUSALTUS-WPLUGDEP；AMTRTP-RTA(IMP)HE/SF6/NF3AMTPRODUCER-NOSI、PESN(COSIX、CU)、BD(CU)、BPTEOS、PETEOS、PEOX；CF4/SF6/HCLAMTRTP-RTA(CVD)、RTA(IMP)；AMTENDURA-METALSPUTTER(CVD/TIN)；TELALPHA3031-LPTEOSN2OAMTPRODUCER；AMTRTP；TELALPHA3031-LPNITRIDE、GATEOXIDE；NOVELLUSPH3/HEVECTOR-SIC(CU)、FSG(CU)DCSNO/SIH4TELALPHA3031-GATEOXIDECL2O2/DCS/NF3KEZ(III)-FLOW/REFLOW、POLYCURING、PAD/SACOXIDE、STARTOXIDE；HBRTELALPHA3031-GATEOXIDE；DNSFC3000-BCLEAN、STDCLEAN；NOVELLUSVECTOR-PEFSG、FSG(CU)、SIC(CU)、PEOX/PESN；AMTRTP-RTA(IMP)现场配管施工优异文档/合用标准文案一、概说：1、Hookup配管的范围：1-1、Bulkgas：由Takeoffvalve至机台点。1-2、Specialtygas：由VMB/P各stick出口端至机台点。1-3、Hookup配管常用的资料：1-4、1-5、tubeandfitting：一般常用尺寸为：1/4〞、3/8〞、1/2〞、3/4〞，常用材质为：AP、BA、EP。1-6、DP盘（distributionpanel）：一般常用尺寸为：1/4〞、3/8〞1/2〞、3/4〞；组合阀件常有有：手动阀、调压阀（regulator）；接头形式有：VCR、swagelok、welding。2、确定机台需求：设计人员依业主供给之机台需求单，包括机台名称、地址、气体需求数据、气源点（takeoffvalve及VMB/P）编号，绘制草图。3、核对现场及机台：3-1、将legend图与现场状况核对，如气源点、管路路径、上洞点、盘面、门型架、地板开孔及隶属机台地址等。3-2、待机台定位后，需再确认上述2-1项、机台地址、门型架高度，及机台上各接点气体名称、接头尺寸、点数等（※在某些设施工程师为新进人员或机台为首次使用的状况下，经常无法供给完满的机台需求）。4、谈论事项：管路在气源点与机台间可否安装盘面、相同气体之各接点（或pump）可否共享盘面、盘面高度及如何固定等问题，均需与业主早先充分谈论，省得竣工后再次更正。5、确认legend图及layout图：将定稿之legend图及layout图，交业主审察无误（或更正）后，再交工程人员备料施工。6、绘制竣工图：现场竣工后，设计人员需再次核对legend图及layout图与现场状况可否吻合，修正后绘制竣工图一份送交业主、一份存查。7、HOOKUP配管施工8、确认legend图：自设计人员处获取legend图，至现场确认图内各项资料是否吻合，如气源点、管路路径、上洞点等。优异文档/合用标准文案9、备料：依legend图计算所需资料，备妥待用。9-1、施工：9-2、规划管路排列序次：依各气源点与机台的相关地址、盘面地址、配管路径及机台接点等，排列管路序次（能绘制立体图者尤佳）。9-3、安装盘面：在指定的高架地板下，依管路排列序次，将相同气体的盘面集中摆设。9-4、安装门型架：将指定的高架地板，依需求尺寸开孔后，安装门型架。9-5、配管：所排列管路序次施工。9-6、注意事项：6-9-1、配管时使用弯管器或焊接elbow；弯管器使用几倍弯；或部分使用弯管部分焊接elbow，均需早先认识。6-9-2、某些机台的隶属机台较为复杂，或摆设地址较远，施工前均需仔细确认。优异文档/合用标准文案现场施工规范一高层３Ｆ盘底到高架地板标高１７０ＭＭ。如现场无法架盘，盘底标高５０ＭＭ。2.２Ｆ天花板往下６５０ＭＭ是ＨＯＯＫＵＰ高层；现场CABLERAY,管路爬高至天花板；不得穿越CABLETRAY。3．2FＶＭＢ／Ｐ上方弯管为ＶＭＢ／Ｐ底盘上平面向上３９０ＭＭ，弯长８０ＭＭ，高２０ＭＭ，角度＋-15度。1FSUPPORT上方１００处弯管，ＢＡＬＬＡＬＶＥ底端与ＰＣＷ尾端相平。气体标签ＧＡＳ气体标签有左右方向，不能够混用（只有箭头方向正确，是不合规范的）。气体标签要贴正，贴牢管路标示贴纸其方向、字体、种类需正确不能马虎了事。黏贴样式依业主要求不相同的管径选择不相同尺寸的管路标示贴纸及粘贴距离。各式SWG及VCR接头不能先行锁紧，仅需略加施力，省得损坏管材。管路施工，水平垂直误差应小于5%，如有不符，即需重新施作。附表则为管路支撑及标示间距表。NOSIZEDISTANCE1<1/2＂2M215A-50A3M3>50A4M三、资料类、ＦＩＴＴＩＮＧ类施工耗费要≤2﹪。2、要按规定使用，不能够乱用现场有疑问要与监工联系。3、组要用各组自己领的料，不得乱用别组的料。4、组要用各组自己领的料，不得乱用别组的料。5、场所用ＳＵＰＰＯＲＴ现只有两种规格３００ＭＭ优异文档/合用标准文案和６００ＭＭ。四、配管及焊接1．现场焊接的焊工要经过认证，有焊工证的才可进行焊接动作。弯管要用５倍或１０倍弯管器，如现场有特别状况.（不要随意施工）。盘面要按图架,管路到３Ｆ上洞要按图上的上洞点上洞（不要随意施工）。切管时不前进刀过快。切管，倒角，修端面应让被修端向下。弯管的质量必定平顺，无划伤，压扁，严重变形等状况。禁止在焊道处作弯管动作。优异文档/合用标准文案现场测试部分气体管路的QC指的是要保证管路的外观及管内的各项测试都吻合客户要求的标准并保证我们的产品的质量达到必然的水平。一、测试前确实认与检查：图面确认当管路施工达成时，QA、QC人员要确认图面可否有依照工程图施工，以及施工气体管路种类和数量可否正确，及takeoff使用可否正确。若不正确，应马上要求下包厂商更正。2.外观确实认阀件使用可否正确，管子尺寸可否正确，管路路径可否整齐雅观，Gas名称标示可否有贴错气体名称，及可否依规定贴置，如有问体,马上要求下包商马上更正。3.焊道确认QA/QC人员检查焊道